【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜生产机械，具体涉及一种翻板阀。
技术介绍
1、在真空镀膜设备中由于镀膜的工艺需求是要在真空环境下进行，所以所有腔体内部必须一直保持在高真空的状态。由于腔体内部真空度高，腔体外面的气体就很容易进去，外面气体进入腔体会造成腔体内部的真空度波动以及外部气体会携带污染物对腔体内部造成污染，这样会对镀膜效果产生很大的影响，造成镀膜产品不合格。由于在镀膜过程中，产品有进有出，所以腔体不能完全做成封闭的，必须要有能容纳产品进出的开口，因为腔体有开口，所以在产品从开口进入腔体内部后，需要对腔体的开口进行密封。对于常见的一些非真空设备腔体开口，只需要用一块可以开合的门板把开口遮住即可。但由于真空腔体内部真空度大且又需要一直保持稳定的真空度，所以此处所需要的阀板不仅要能把腔体开口遮住，还要能让腔体在开口处保持良好的密封。
2、现有相关技术通常在真空腔室上设置翻板阀进行密封，翻板阀通常包括阀板、主传动轴、连杆、枢轴、倾角调整装置以及旋转驱动机构，主传动轴通过轴承座与真空腔室转动连接，通过旋转驱动机构带动主传动轴转动，进而通过连杆带动阀板转动至与真空腔室的壁面上进行贴合密封，且通过倾角调整装置将阀板调整到和密封面平行的状态，使密封圈上各处压缩量一致，然而，由于阀板大且重，阀板的重量会通过连杆作用在主传动轴上，主传动轴又作用到轴承座上，因此主传动轴与轴承座接触区域会受很大的压力，该压力会使主传动轴在运动时与轴承座接触区域的摩擦力增大导致零件局部发热等问题，且还会消耗掉主传动轴上很大一部扭力，也会让主传动轴上发生受力不均现象而导致
技术实现思路
1、本技术提供了一种翻板阀，解决了现有的翻板阀中由于阀板的重量较大，使得主传动轴在运动时与轴承座接触区域的摩擦力较大导致零件局部发热，以及影响阀板与密封面的密封效果的技术问题。
2、有鉴于此，本技术提供的一种翻板阀，包括：
3、腔体；
4、转轴，沿竖直方向设置在所述腔体上，且通过多个固定座与所述腔体可转动连接；
5、阀板，沿竖直方向设置，且通过多个旋转臂与所述转轴连接，适于与所述腔体的板面贴合以对开口密封；
6、驱动机构，设置在所述腔体上，且动力输出端与所述转轴连接，适于驱动所述转轴转动；
7、支撑件，设置在所述固定座与所述旋转臂之间，适于对所述旋转臂进行支撑。
8、可选地，所述旋转臂和所述固定座沿所述转轴的轴向依次交替间隔设置；所述支撑件包括套设在所述转轴上的套筒；所述套筒的顶端与所述旋转臂抵接，底端与所述固定座抵接。
9、可选地，所述支撑件还包括推力球轴承，所述推力球轴承套设在所述转轴上，且设置在所述套筒的一端。
10、可选地，所述阀板与所述旋转臂可转动连接，所述阀板和所述旋转臂之间设置有角度调节机构，适于对所述阀板的角度进行调节。
11、可选地，所述阀板连接有翻板基座，所述翻板基座通过销钉与所述旋转臂可转动连接，所述角度调节机构设置在所述翻板基座和所述旋转臂之间。
12、可选地，所述角度调节机构包括两组沿水平方向对称设置的角度调节组件，所述角度调节组件包括调节螺钉和弹性件；所述旋转臂上设有调节孔；所述调节螺钉的一端与所述调节孔螺纹连接，另一端连接有所述弹性件；所述弹性件远离所述调节螺钉的一端与所述翻板基座连接。
13、可选地，所述驱动机构包括两个分别设置在所述转轴两端的气缸；所述气缸的气缸杆沿水平方向设置，且同轴连接有齿条；所述转轴的两端均套设有与所述齿条啮合的齿轮。
14、可选地，所述腔体上位于所述转轴的两端均设有保持架，所述保持架上位于所述齿条的两侧分别设有多个第一轴承，所述第一轴承的周侧与所述齿条的侧壁抵接。
15、可选地，所述保持架面向所述齿条的一侧凹设有开槽，所述开槽内设有第二轴承，所述第二轴承的周侧与所述齿条的背面抵接。
16、可选地，所述固定座上与所述转轴同轴设有轴套，适于与所述转轴转动配合。
17、本技术技术方案，具有如下优点：
18、本技术中，通过驱动机构驱动转轴在固定座上转动，进而转轴通过旋转臂带动阀板转动，使得阀板远离腔体的板面上的开口，或者使得阀板贴合腔体的板面以对开口进行密封，在转轴转动过程中，阀板通过旋转臂进行支撑，旋转臂通过与支撑件的接触把阀板的重力传递到固定座，通过支撑件配合固定座对旋转臂提供向上的支撑力，保证转轴受力均匀，避免由于阀板重量过大导致转轴受力不均而导致阀板关闭时与腔体接触区域的压力受力不均，保证了阀板与腔体的板面接触时的密封效果，减少转轴在运动时与固定座接触区域的摩擦力以防止零部件局部发热，提高了阀板转动过程中的流畅性。
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1.一种翻板阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述旋转臂(5)和所述固定座(3)沿所述转轴(2)的轴向依次交替间隔设置；所述支撑件包括套设在所述转轴(2)上的套筒(7)；所述套筒(7)的顶端与所述旋转臂(5)抵接，底端与所述固定座(3)抵接。
3.根据权利要求2所述的翻板阀，其特征在于，所述支撑件还包括推力球轴承(8)，所述推力球轴承(8)套设在所述转轴(2)上，且设置在所述套筒(7)的一端。
4.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述阀板(4)与所述旋转臂(5)可转动连接，所述阀板(4)和所述旋转臂(5)之间设置有角度调节机构，适于对所述阀板(4)的角度进行调节。
5.根据权利要求4所述的翻板阀，其特征在于，所述阀板(4)连接有翻板基座(13)，所述翻板基座(13)通过销钉(14)与所述旋转臂(5)可转动连接，所述角度调节机构设置在所述翻板基座(13)和所述旋转臂(5)之间。
6.根据权利要求5所述的翻板阀，其特征在于，所述角度调节机构包括两组沿水平方向对称设置的角度调节组件，所
7.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述驱动机构包括两个分别设置在所述转轴(2)两端的气缸(15)；所述气缸(15)的气缸杆沿水平方向设置，且同轴连接有齿条(16)；所述转轴(2)的两端均套设有与所述齿条(16)啮合的齿轮(17)。
8.根据权利要求7所述的翻板阀，其特征在于，所述腔体(1)上位于所述转轴(2)的两端均设有保持架(18)，所述保持架(18)上位于所述齿条(16)的两侧分别设有多个第一轴承(19)，所述第一轴承(19)的周侧与所述齿条(16)的侧壁抵接。
9.根据权利要求8所述的翻板阀，其特征在于，所述保持架(18)面向所述齿条(16)的一侧凹设有开槽(20)，所述开槽(20)内设有第二轴承(21)，所述第二轴承(21)的周侧与所述齿条(16)的背面抵接。
10.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述固定座(3)上与所述转轴(2)同轴设有轴套(9)，适于与所述转轴(2)转动配合。
...【技术特征摘要】
1.一种翻板阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述旋转臂(5)和所述固定座(3)沿所述转轴(2)的轴向依次交替间隔设置；所述支撑件包括套设在所述转轴(2)上的套筒(7)；所述套筒(7)的顶端与所述旋转臂(5)抵接，底端与所述固定座(3)抵接。
3.根据权利要求2所述的翻板阀，其特征在于，所述支撑件还包括推力球轴承(8)，所述推力球轴承(8)套设在所述转轴(2)上，且设置在所述套筒(7)的一端。
4.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述阀板(4)与所述旋转臂(5)可转动连接，所述阀板(4)和所述旋转臂(5)之间设置有角度调节机构，适于对所述阀板(4)的角度进行调节。
5.根据权利要求4所述的翻板阀，其特征在于，所述阀板(4)连接有翻板基座(13)，所述翻板基座(13)通过销钉(14)与所述旋转臂(5)可转动连接，所述角度调节机构设置在所述翻板基座(13)和所述旋转臂(5)之间。
6.根据权利要求5所述的翻板阀，其特征在于，所述角度调节机构包括两组沿水平方向对称设置的角度调节组件，所述角度调节组件包括调节螺钉(10)和弹性件(11)；所述旋转臂(...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨炬灿，黄金伟，宋光耀，江涛，边明前，彭建林，
申请(专利权)人：深圳市曼恩斯特科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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