【技术实现步骤摘要】
本公开涉及图像识别，特别是涉及一种立体图像获取方法、装置、检测系统及介质。
技术介绍
1、随着集成电路制造工艺的快速发展，市场对半导体产品的性能及质量的要求越来越高。在芯片制程的重要工艺步骤中，需要利用专门的摄像装置获取芯片的扫描图像，经由分析扫描图像来判断芯片是否存在缺陷，进而反馈到改进对应的工艺步骤来改善芯片缺陷。
2、然而，由于芯片内部结构十分复杂，且有一定纵深结构，如果摄像装置拍摄图像的质量或精度不够，导致获取的图像在微观尺度下遗漏多维细节特征，对半导体工艺问题分析判断不准确，严重影响半导体产品的性能及可靠性。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种立体图像获取方法、装置、检测系统及介质，能够有效获取包括拍摄目标对象的全视场角多维细节信息的高质量图像，提高对拍摄目标对象深度三维结构信息的获取感知能力。
2、根据本公开的各种实施例，第一方面提供一种立体图像获取方法，包括：在拍摄光场满足预设视场亮度检测规则要求的情况下，获取第一摄像模组拍摄目标对象的第一初始图像，及第二摄像模组以预设焦距在不同拍摄条件下拍摄目标对象的第二初始图像，第二摄像模组的光轴与第一摄像模组的光轴成第一预设锐角；根据预设侧面图像合成规则对第二初始图像进行像素级融合处理，得到侧面融合图像；根据第一初始图像、侧面融合图像获取目标立体图像。
3、上述实施例中的立体图像获取方法，在拍摄光场满足预设视场亮度检测规则要求的情况下，获取第一摄像模组拍摄目标对象正面的第一初始图像，并获
4、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下执行预设视场亮度检测规则的步骤：若拍摄光场的实时光强位于预设光强范围内，则判定拍摄光场亮度满足要求，控制第一摄像模组拍摄目标对象的第一初始图像及第二摄像模组以预设焦距拍摄目标对象的第二初始图像；若拍摄光场的实时光强位于预设光强范围外或拍摄进程延迟，则触发预设亮暗自适应调节规则至拍摄光场亮度满足要求。
5、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下执行预设亮暗自适应调节规则的步骤：控制自适应调节装置执行调整光圈动作、调整光强动作及调整曝光时间动作中的至少一种；控制第二摄像模组以预设焦距拍摄目标对象的实时图像；若实时图像的清晰度满足预设要求，则输出第二初始图像；反之，则继续执行预设亮暗自适应调节规则。
6、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下控制第二摄像模组拍摄目标对象的实时图像的步骤：控制自动调焦装置自动调焦到第一焦距后，再控制第二摄像模组拍摄目标对象的实时图像；控制自动调焦装置自动调焦到第二焦距后，再控制第二摄像模组拍摄目标对象的实时图像；控制自动调焦装置自动调焦到第三焦距后，再控制第二摄像模组拍摄目标对象的实时图像；第二焦距为最佳焦距f，第一焦距为负焦距-1/3f～-1/4f，第三焦距为正焦距1/4f～1/3f。
7、根据一些实施例，第二初始图像包括第一子初始图像、第二子初始图像及第三子初始图像；立体图像获取方法还包括如下控制第二摄像模组拍摄目标对象的实时图像的步骤：在控制自动调焦装置自动调焦到第一焦距后，控制第二摄像模组以第一曝光时间拍摄目标对象的多张第一子初始图像；在控制自动调焦装置自动调焦到第二焦距后，控制第二摄像模组以第二曝光时间拍摄目标对象的一张第二子初始图像；在控制自动调焦装置自动调焦到第三焦距后，控制第二摄像模组以第三曝光时间拍摄目标对象的多张第三子初始图像；第一曝光时间>第二曝光时间>第三曝光时间。
8、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下执行预设侧面图像合成规则的步骤：获取包括目标对象的图像特征最多的第三子初始图像作为短时曝光图像；采用预设画质提升算法或预设图像深度融合算法对第一子初始图像、第二子初始图像进行像素级选择对比融合，得到长时曝光图像，及对短时曝光图像及长时曝光图像进行像素级选择对比融合，得到侧面融合图像。
9、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下执行预设图像深度融合算法的步骤：采用预设图像降噪算法对长时曝光图像、短时曝光图像进行预处理，得到降噪后图像；以第一摄像模组拍摄第一初始图像的坐标系为基坐标系，获取第二摄像模组拍摄第二初始图像的坐标系与基坐标系之间的转换矩阵；根据转换矩阵获取降噪后图像对第一初始图像的配准图像；对配准图像分别进行均值滤波处理，并根据预设权重设定规则对分解得到的像素点分配权重；根据权重对配准图像的低频轮廓、中频层次及高频细节进行加权融合，得到侧面融合图像。
10、根据一些实施例，立体图像获取方法还包括如下执行预设权重设定规则的步骤：
11、根据如下公式获取像素点(i，j)的权重wk：
12、dk＝αgk+(1-α)gavg；
13、ik＝β1gl，(i，j)+β2gs，(i，j)；
14、wk＝dk*ik*sk；
15、上式中，dk为第k幅图像的局部清晰度参数，α为增强因子，gk为第k幅图像的灰度图对比度值，gavg为通过均值滤波处理后的灰度图对比度值，ik为第k幅图像的曝光时长，sk为第k幅图像的图像饱和度参数，gl，(i，j)为所述长时曝光图像中的细节像素点，gs，(i，j)为所述短时曝光图像中的细节像素点，β1、β2为比例系数，β1+β2＝1。
16、根据一些实施例，第一预设锐角为15°-30°。
17、根据一些实施例，第二摄像模组包括深度相机；第一摄像模组包括投影模块；立体图像获取方法还包括：控制投影模块将格雷码或相移条纹投影到目标对象上；获取目标对象的深度图像；根据深度图像获取目标对象的深度结构信息。
18、根据本公开的各种实施例，本公开的第二方面提供一种立体图像获取装置，包括第一摄像模组、第二摄像模组及控制器，第二摄像模组的光轴与第一摄像模组的光轴成第一预设锐角；控制器与第一摄像模组、第二摄像模组均连接，被配置为执行本公开的第一方面的各实施例的立体图像获取方法，例如被配置为：在拍摄光场满足预设视场亮度检测规则要求的情况下，获取第一摄像模组拍摄目标对象的第一初始图像，及第二摄像模组以预设焦距在不同拍摄条件下拍摄目标对象的第二初始图像；根据预设侧面图像合成规则对第二初始图像进行像素级融合处理，得到侧面融合图像；根据第一初始图本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种立体图像获取方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行预设视场亮度检测规则的步骤：
3.根据权利要求2所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设亮暗自适应调节规则的步骤：
4.根据权利要求3所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下控制所述第二摄像模组拍摄所述目标对象的实时图像的步骤：
5.根据权利要求4所述的立体图像获取方法，其特征在于，所述第二初始图像包括第一子初始图像、第二子初始图像及第三子初始图像；所述方法还包括如下控制所述第二摄像模组拍摄所述目标对象的实时图像的步骤：
6.根据权利要求5所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设侧面图像合成规则的步骤：
7.根据权利要求6所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设图像深度融合算法的步骤：
8.根据权利要求7所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设权重设定规则的步骤：
9.根据权利要求1-8任一项所述
10.根据权利要求1-8任一项所述的立体图像获取方法，其特征在于，所述第二摄像模组包括深度相机；所述第一摄像模组包括投影模块；所述方法还包括：
11.一种立体图像获取装置，其特征在于，包括：
12.根据权利要求11所述的立体图像获取装置，其特征在于，还包括：
13.根据权利要求12所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述旋转组件包括：
14.根据权利要求13所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述第二摄像模组包括第一子摄像模组及第二子摄像模组；所述悬臂梁包括：
15.根据权利要求11-14任一项所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述控制器被配置为：
16.根据权利要求15所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述第二摄像模组还包括：
17.根据权利要求16所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述第二摄像模组包括：
18.根据权利要求11-14任一项所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述第二摄像模组包括与所述控制器连接的深度相机；
19.根据权利要求11-14任一项所述的立体图像获取装置，其特征在于，所述第二摄像模组包括：
20.一种检测系统，其特征在于，包括：
21.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-10任一项所述的方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种立体图像获取方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行预设视场亮度检测规则的步骤：
3.根据权利要求2所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设亮暗自适应调节规则的步骤：
4.根据权利要求3所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下控制所述第二摄像模组拍摄所述目标对象的实时图像的步骤：
5.根据权利要求4所述的立体图像获取方法，其特征在于，所述第二初始图像包括第一子初始图像、第二子初始图像及第三子初始图像；所述方法还包括如下控制所述第二摄像模组拍摄所述目标对象的实时图像的步骤：
6.根据权利要求5所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设侧面图像合成规则的步骤：
7.根据权利要求6所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设图像深度融合算法的步骤：
8.根据权利要求7所述的立体图像获取方法，其特征在于，还包括如下执行所述预设权重设定规则的步骤：
9.根据权利要求1-8任一项所述的立体图像获取方法，其特征在于，所述第一预设锐角为15°-30°。
10.根据权利要求1-8任一项所述的立体图像获取方法，其特征在于，所述第二摄像模组包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵自强，于泽龙，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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