【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀机，具体为功率半导体引脚形成用真空蒸镀机。
技术介绍
1、功率半导体是半导体的一种，可以分为功率ic和功率分立器件两大类，其中功率分立器件主要包括二极管、晶闸管、晶体管等产品。功率半导体和数字芯片，都是利用半导体单向导电的特性在工作，都是通过设计晶圆上的线路来实现某些功能，功率半导体上存在引脚结构，在进行生产加工的过程中需要通过真空蒸镀机进行加工。
2、现有专利技术cn202121473759.3中提出，现有技术的坩埚结构为一个，通常设置在真空蒸镀机的底板的中心处，该坩埚结构具有单穴或者多穴，尽管有多穴的结构，但是在镀膜的时候电子枪发出的电子束只能轰击一个穴(一个坩埚)里面的蒸镀材料，即一次只能蒸镀一种蒸镀材料，并基于此提出了一种具有双坩埚结构的真空蒸镀机，能够同时蒸镀两个穴(坩埚)里的蒸镀材料，并且能够控制两个坩埚内的蒸镀材料镀膜到被镀膜工件上的含量配比，降低成本。
3、但该真空蒸镀机在应用于功率半导体引脚形成中时仍然存在一定的不足，现有的真空蒸镀机在进行真空蒸镀的过程中，工作人员想要观察设备中的工作状况时，可透过观测窗口进行观察，但引脚的体积较小，单纯的依靠肉眼进行观察难度较高，无法精确的了解设备中的工作情况，为此，我们设计了一种功率半导体引脚形成用真空蒸镀机来解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术
3、进一步的，所述固定座上套装有位于监控摄像头两侧对称分布的喷射管，所述喷射管的外侧设置有均匀分布的喷头，且喷射管与风机组之间通过连通管连通，风机组工作时可制备风束，风束能够通过连通管输入喷射管中，并通过喷射管上的喷头喷出，作用于监控摄像头的外部，实现对监控摄像头外部的清洁。
4、进一步的，所述喷射管与固定座之间通过轴承活动连接，所述喷头的分布区域与监控摄像头的装配区域相对应，喷射管与固定座之间的轴承能够保证喷射管的旋转活动过程，喷头的分布区域与监控摄像头的装配区域对应能够保证对监控摄像头的清洁效果。
5、进一步的，所述固定座的顶端固定安装有双轴电机，所述双轴电机两端的驱动轴上均套装有伞齿轮，固定座顶端的双轴电机工作时可通过其驱动轴带动伞齿轮旋转，继而通过伞齿轮的传动改变喷射管上喷头的朝向，实现对喷头喷出的风束方向进行调节。
6、进一步的，所述喷射管的顶端固定连接有延伸至固定座上方的伞齿轮，所述喷射管顶端的伞齿轮与双轴电机的驱动轴上的伞齿轮之间相互啮合，双轴电机驱动轴上的伞齿轮旋转后，可通过伞齿轮之间的啮合带动喷射管顶端的伞齿轮旋转，继而带动喷射管在轴承的作用下偏转活动。
7、进一步的，所述固定座呈l形，所述喷射管的长度值与固定座的长度值相匹配，固定座呈l形结构能够便于固定座上其它结构的设置，为其它结构提供安装固定的空间，喷射管的长度值与固定座的长度值相匹配能够保证喷射管、喷头喷射的风束的作用范围。
8、进一步的，所述连通管的长度值与电动伸缩杆伸长后的长度值相匹配，所述控制器与风机组、显示器、监控摄像头之间均电性连接，连通管的长度值与电动伸缩杆的长度值匹配能够保证电动伸缩杆的活动范围，控制器与风机组、显示器、监控摄像头的电性连接能够保证结构之间自动化配合工作。
9、本技术提供了功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，具备以下有益效果：
10、1、该功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，通过电动伸缩杆和固定座以及监控摄像头和显示器的配合使用，使得该功率半导体引脚形成用真空蒸镀机在进行蒸镀加工时，电动伸缩杆可工作并将其驱动轴顶出，带动固定座和监控摄像头移动，监控摄像头移动至蒸镀机构的外侧，靠近引脚的放置位置，监控摄像头将蒸镀机构处的加工图像收集，并通过显示器进行显示，从而易于工作人员对真空蒸镀机中的工作情况进行观察。
11、2、该功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，通过双轴电机和伞齿轮以及监控摄像头和喷头的配合作用，使得该功率半导体引脚形成用真空蒸镀机需要对监控摄像头进行清洁时，风机组可工作并制备风束，风束通过连通管输入喷射管中，并通过喷射管上的喷头喷出，作用于监控摄像头的外部，实现对监控摄像头外部的清洁，保证监控摄像头的监测效果，引脚完成加工后，双轴电机可通过其驱动轴带动伞齿轮旋转，通过伞齿轮的传动带动喷射管偏转，使得喷头朝向引脚，易于风束对引脚进行冷却，便于产品加工后的快速收取。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，包括真空蒸镀机(1)，所述真空蒸镀机(1)中设置有蒸镀机构(7)，且真空蒸镀机(1)的外部活动套装有封闭门(2)，所述真空蒸镀机(1)的底端焊接有底板(8)，所述封闭门(2)的外侧装配有控制器(5)，其特征在于：所述封闭门(2)的外部套装有显示器(9)，且封闭门(2)的内侧固定安装有控制器(5)和电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)的驱动轴上套装有固定座(4)，且电动伸缩杆(10)位于控制器(5)的上方，所述固定座(4)上固定安装有监控摄像头(11)，所述监控摄像头(11)的安装位置与真空蒸镀机(1)中的蒸镀机构(7)位置相对应，所述封闭门(2)的顶端装配有风机组(3)。
2.根据权利要求1所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述固定座(4)上套装有位于监控摄像头(11)两侧对称分布的喷射管(13)，所述喷射管(13)的外侧设置有均匀分布的喷头(14)，且喷射管(13)与风机组(3)之间通过连通管(12)连通。
3.根据权利要求2所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述喷射管(13)与固
4.根据权利要求3所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述固定座(4)的顶端固定安装有双轴电机(15)，所述双轴电机(15)两端的驱动轴上均套装有伞齿轮(16)。
5.根据权利要求4所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述喷射管(13)的顶端固定连接有延伸至固定座(4)上方的伞齿轮(16)，所述喷射管(13)顶端的伞齿轮(16)与双轴电机(15)的驱动轴上的伞齿轮(16)之间相互啮合。
6.根据权利要求5所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述固定座(4)呈L形，所述喷射管(13)的长度值与固定座(4)的长度值相匹配。
7.根据权利要求2所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述连通管(12)的长度值与电动伸缩杆(10)伸长后的长度值相匹配，所述控制器(5)与风机组(3)、显示器(9)、监控摄像头(11)之间均电性连接。
...【技术特征摘要】
1.功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，包括真空蒸镀机(1)，所述真空蒸镀机(1)中设置有蒸镀机构(7)，且真空蒸镀机(1)的外部活动套装有封闭门(2)，所述真空蒸镀机(1)的底端焊接有底板(8)，所述封闭门(2)的外侧装配有控制器(5)，其特征在于：所述封闭门(2)的外部套装有显示器(9)，且封闭门(2)的内侧固定安装有控制器(5)和电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)的驱动轴上套装有固定座(4)，且电动伸缩杆(10)位于控制器(5)的上方，所述固定座(4)上固定安装有监控摄像头(11)，所述监控摄像头(11)的安装位置与真空蒸镀机(1)中的蒸镀机构(7)位置相对应，所述封闭门(2)的顶端装配有风机组(3)。
2.根据权利要求1所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其特征在于：所述固定座(4)上套装有位于监控摄像头(11)两侧对称分布的喷射管(13)，所述喷射管(13)的外侧设置有均匀分布的喷头(14)，且喷射管(13)与风机组(3)之间通过连通管(12)连通。
3.根据权利要求2所述的功率半导体引脚形成用真空蒸镀机，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏松泽，金飞，魏明宇，
申请(专利权)人：江苏星辉半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。