【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏设备，尤其涉及一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法。
技术介绍
1、在太阳能电池制造过程中所使用的设备，如干式刻蚀设备和原子层沉积设备等，都需要采用抓舟机械手抓取石墨舟并将石墨舟搬运至推舟组件的桨上，打开设备的炉门，通过推舟组件将石墨舟推入设备内部，然后将桨撤出，关闭炉门进行工艺。
2、但是，目前的石墨舟运输方法存在以下技术问题：
3、一、当需要维修反应腔室时，需要将位于反应腔室前方的推舟组件拆除，费时耗力；
4、二、当抓舟机械手与推舟组件之间的高度差超过了抓舟机械手的下移行程时，通过抓舟机械手转移过来的石墨舟只能直接砸向推舟组件的桨上，导致石墨舟硬着陆在推舟组件上，硬着陆容易导致石墨舟的损坏。
5、为此，亟需提供一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法，能够辅助抓舟机械手将石墨舟转运至清洗腔室内，弥补抓舟机械手与推舟组件存在的高度差，不仅保证石墨舟的软着陆，而且使推舟组件可升降，方便对清洗腔室的维修。
2、为实现上述目的，提供以下技术方案：
3、软着陆承载座，包括：
4、框架，所述框架用于安装推舟组件；
5、四组升降组件，设置于所述框架的四周，每组所述升降组件包括顶板、底板、升降驱动件和升降件，所述升降件在所述升降驱动件驱动下能够往返于所述底板和所述顶板之间，所述升
6、作为软着陆承载座的可选方案，所述软着陆承载座还包括调平模块，所述调平模块包括用于调节所述底板的水平度的第一调节件、用于调节异侧所述底板间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板间距的第二调节组件中的一种或者多种。
7、作为软着陆承载座的可选方案，所述底板上开设有多个第三顶丝孔，多个所述第一调节件与多个所述第三顶丝孔一一对应螺纹连接。
8、作为软着陆承载座的可选方案，所述第一调节组件包括：
9、第二调节件，所述第二调节件的一端与所述底板的外侧壁抵接，用于推动所述底板靠近位于异侧的所述升降组件；
10、和第三调节件，所述第三调节件的一端与所述底板的外侧壁固定连接，用于拉动所述底板远离位于异侧的所述升降组件。
11、作为软着陆承载座的可选方案，所述第二调节组件包括：
12、第四调节件，所述第四调节件的一端与所述顶板的侧壁抵接，用于推动所述顶板靠近位于同侧的所述升降组件；
13、和第五调节件，所述第五调节件的一端与所述顶板的侧壁固定连接，用于拉动所述顶板远离位于同侧的所述升降组件。
14、作为软着陆承载座的可选方案，所述升降驱动件包括导向件，所述顶板与所述底板平行且间隔设置，所述导向件的两端分别与所述底板和所述顶板可拆卸连接，所述升降件与所述导向件滑动连接。
15、搬运推舟装置，包括机架、推舟组件和如上所述的软着陆承载座，所述软着陆承载座的所述底板设置于所述机架的安装面，所述推舟组件安装于所述软着陆承载座的框架上。
16、作为搬运推舟装置的可选方案，所述机架的底部设置有第一调节板，所述第一调节板上设有第一顶丝孔和第一拉丝孔，所述第二调节件与所述第一顶丝孔螺纹连接并用于推动所述底板，所述第三调节件穿过所述第一拉丝孔与所述底板连接并用于拉动所述底板。
17、作为搬运推舟装置的可选方案，所述机架的侧部设置有第二调节板，所述第二调节板上设有第二顶丝孔和第二拉丝孔，所述第四调节件与所述第二顶丝孔螺纹连接并用于推动所述顶板，所述第五调节件穿过所述第二拉丝孔与所述顶板连接并用于拉动所述顶板。
18、调平方法，用于调节如上所述的搬运推舟装置的所述软着陆承载座，所述调平方法包括以下步骤：
19、s1、检测每组升降组件的底板是否平行于安装面，当不平行时，调节第一调节件，使底板平行于安装面；
20、s2、检测每组升降组件的升降驱动件相对底板是否垂直，当所述升降驱动件倾斜时，调节第一卡箍组件上的第一调节螺钉和/或第二卡箍组件上的第二调节螺钉，使四组升降组件的升降驱动件均相对底板垂直；
21、s3、检测位于一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距是否相等，当不相等时，调节第二调节件、第三调节件、第四调节件和第五调节件，使位于一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距相等；
22、s4、检测位于另一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距是否相等，当不相等时，调节第二调节件、第三调节件、第四调节件和第五调节件，使位于另一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距相等；
23、s5、检测位于一侧的两组升降组件与位于另一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距是否相等，当不相等时，调节第二调节件、第三调节件、第四调节件和第五调节件，使位于一侧的两组升降组件与位于另一侧的两组升降组件的顶板之间的间距与底板之间的间距相等；
24、s6、调节框架与升降件的连接位置，使框架整体保持水平。
25、与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
26、本专利技术所提供的软着陆承载座，将推舟组件安装到框架上，在框架的四周设置有四组升降组件，每组升降组件的升降件与框架连接，由于升降件在升降驱动件的驱动下能够往返于底板和顶板之间，使推舟组件的高度可以被调整，进而弥补推舟组件与抓舟机械手之间的高度差，通过抓舟机械手转移过来的石墨舟可以软着陆于推舟组件的桨上，避免石墨舟的损坏。而且通过降低推舟组件的高度，可以腾出位于清洗腔室前方的空间，方便维修。
27、本专利技术所提供的搬运推舟装置，使石墨舟可以软着陆于推舟组件的桨上，避免石墨舟的损坏；通过降低推舟组件的高度，腾出位于清洗腔室前方的相应空间，方便维修。
28、本专利技术所提供的调平方法，保证软着陆承载座整体的水平度。将推舟组件安装到软着陆承载座上，满足推舟组件对水平度的要求。
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1.软着陆承载座，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述软着陆承载座还包括调平模块，所述调平模块包括用于调节所述底板(11)的水平度的第一调节件(4)、用于调节异侧所述底板(11)间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板(13)间距的第二调节组件中的一种或者多种。
3.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述底板(11)上开设有多个第三顶丝孔(101)，多个所述第一调节件(4)与多个所述第三顶丝孔(101)一一对应螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第一调节组件包括：
5.根据权利要求4所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第二调节组件包括：
6.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述升降驱动件包括导向件(14)，所述顶板(13)与所述底板(11)平行且间隔设置，所述导向件(14)的两端分别与所述底板(11)和所述顶板(13)可拆卸连接，所述升降件(12)与所述导向件(14)滑动连接。
7.搬运推舟装置，其特征在于，包括机架(
8.根据权利要求7所述的搬运推舟装置，其特征在于，所述机架(300)的底部设置有第一调节板(301)，所述第一调节板(301)上设有第一顶丝孔(3011)和第一拉丝孔(3012)，所述第二调节件(5)与所述第一顶丝孔(3011)螺纹连接并用于推动所述底板(11)，所述第三调节件(6)穿过所述第一拉丝孔(3012)与所述底板(11)连接并用于拉动所述底板(11)。
9.根据权利要求7所述的搬运推舟装置，其特征在于，所述机架(300)的侧部设置有第二调节板(302)，所述第二调节板(302)上设有第二顶丝孔(3021)和第二拉丝孔(3022)，所述第四调节件(7)与所述第二顶丝孔(3021)螺纹连接并用于推动所述顶板(13)，所述第五调节件(8)穿过所述第二拉丝孔(3022)与所述顶板(13)连接并用于拉动所述顶板(13)。
10.调平方法，其特征在于，用于调节如权利要求7-9任一项所述的搬运推舟装置的所述软着陆承载座(100)，所述调平方法包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.软着陆承载座，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述软着陆承载座还包括调平模块，所述调平模块包括用于调节所述底板(11)的水平度的第一调节件(4)、用于调节异侧所述底板(11)间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板(13)间距的第二调节组件中的一种或者多种。
3.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述底板(11)上开设有多个第三顶丝孔(101)，多个所述第一调节件(4)与多个所述第三顶丝孔(101)一一对应螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第一调节组件包括：
5.根据权利要求4所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第二调节组件包括：
6.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述升降驱动件包括导向件(14)，所述顶板(13)与所述底板(11)平行且间隔设置，所述导向件(14)的两端分别与所述底板(11)和所述顶板(13)可拆卸连接，所述升降件(12)与所述导向件(14)滑动连接。
7.搬运推舟装置，其特征在于，包括机架(300)、推舟组件(200)和如权利要求5所述的软着陆承载座(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，葛雨勋，武凯，杨震，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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