【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏设备，尤其涉及一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法。
技术介绍
1、在太阳能电池制造过程中所使用的设备，如干式刻蚀设备和原子层沉积设备等，都需要采用抓舟机械手抓取石墨舟并将石墨舟搬运至推舟组件的桨上，打开设备的炉门，通过推舟组件将石墨舟推入设备内部，然后将桨撤出，关闭炉门进行工艺。
2、但是，目前的石墨舟运输方法存在以下技术问题：
3、一、当需要维修反应腔室时，需要将位于反应腔室前方的推舟组件拆除，费时耗力；
4、二、当抓舟机械手与推舟组件之间的高度差超过了抓舟机械手的下移行程时，通过抓舟机械手转移过来的石墨舟只能直接砸向推舟组件的桨上，导致石墨舟硬着陆在推舟组件上，硬着陆容易导致石墨舟的损坏。
5、为此，亟需提供一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种软着陆承载座、搬运推舟装置和调平方法，能够辅助抓舟机械手将石墨舟转运至清洗腔室内，弥补抓舟机械手与推舟组件...
【技术保护点】
1.软着陆承载座，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述软着陆承载座还包括调平模块，所述调平模块包括用于调节所述底板(11)的水平度的第一调节件(4)、用于调节异侧所述底板(11)间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板(13)间距的第二调节组件中的一种或者多种。
3.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述底板(11)上开设有多个第三顶丝孔(101)，多个所述第一调节件(4)与多个所述第三顶丝孔(101)一一对应螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第一调节组
【技术特征摘要】
1.软着陆承载座，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述软着陆承载座还包括调平模块，所述调平模块包括用于调节所述底板(11)的水平度的第一调节件(4)、用于调节异侧所述底板(11)间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板(13)间距的第二调节组件中的一种或者多种。
3.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述底板(11)上开设有多个第三顶丝孔(101)，多个所述第一调节件(4)与多个所述第三顶丝孔(101)一一对应螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第一调节组件包括：
5.根据权利要求4所述的软着陆承载座，其特征在于，所述第二调节组件包括：
6.根据权利要求1所述的软着陆承载座，其特征在于，所述升降驱动件包括导向件(14)，所述顶板(13)与所述底板(11)平行且间隔设置，所述导向件(14)的两端分别与所述底板(11)和所述顶板(13)可拆卸连接，所述升降件(12)与所述导向件(14)滑动连接。
7.搬运推舟装置，其特征在于，包括机架(300)、推舟组件(200)和如权利要求5所述的软着陆承载座(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，葛雨勋，武凯，杨震，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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