【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体零件加工，尤其涉及一种打侧孔工装及打侧孔方法。
技术介绍
1、半导体设备的零部件有很多是异形类的产品，需要在产品的侧面打一些装配相关的孔洞，在没有专用的工装夹具的情况下，只能通过传统画线打点的方法去定位打孔的位置，但这样做主要缺点就是孔的位置会偏移，误差较大，导致产品在实际装配时不能很好的与组装件配合，因尺寸误差而可能带来报废的风险；而且效率很慢，工作人员费时费力。
2、如图1中所示的，第三代半导体设备用于碳化硅长晶炉的一款水冷电极产品，一套电极里面有4个扇形小件。在粗加工阶段需要在侧面打孔深12毫米的m5螺丝孔，由于产品是异形的不规则形状，想要均匀分布打孔十分困难。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提供一种打侧孔工装，适用于一整套具有多个零部件的待打孔产品，系统化地进行打孔操作，提高了待打孔产品一致性和适配程度，该打侧孔工装具有通用性和互换性，不限制待打孔产品的形状。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、打侧孔工装，用于固定待打孔产品并与打孔设备安装，每套所述待打孔产品包括多个需要侧面打孔的待打孔件，所述打侧孔工装包括：
4、限位座，所述限位座用于同时放置多个所述待打孔件；
5、固定件，所述固定件与所述限位座相对设置，用于将多个所述待打孔件抵压固定在所述限位座上；
6、调节件，所述调节件能穿过所述固定件与所述限位座连接，所述调节件被配置为能调节所述固定件与所述限位
7、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述调节件包括锁紧部和螺杆部，所述锁紧部和所述螺杆部连接，所述锁紧部抵接在所述固定件上，所述限位座设置有螺纹调节孔，所述螺杆部能穿过所述固定件与所述螺纹调节孔旋接。
8、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述限位座设置有多个限位凹槽，所述限位凹槽被配置为与所述限位座放置的所述待打孔件一一对应设置。
9、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述限位座设置有侧围部，所述侧围部设置为筒状，所述侧围部设置有多个预设辅助孔，多个所述预设辅助孔沿所述侧围部的周向间隔预设距离设置。
10、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述限位座设置有填充部，所述填充部的材料为柔性材料，所述填充部用于分隔相邻的两个所述待打孔件。
11、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述打侧孔工装包括垫片，所述垫片的材料为柔性材料，所述垫片与所述固定件连接，所述垫片用于分隔所述固定件与多个所述待打孔件。
12、作为打侧孔工装的优选技术方案，所述打侧孔工装包括多个连接件，所述连接件被配置为能穿过所述固定件与所述待打孔件固定连接。
13、本专利技术的第二个目的在于提供一种打侧孔方法，利用待打孔件的外形特征，定制工装更好操作，实现均匀分布打孔，可以避免孔的位置偏移，较小误差，提高打孔的效率。
14、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
15、打侧孔方法，利用以上任一项所述的打侧孔工装，所述打侧孔方法包括以下步骤：
16、将多个所述待打孔件在所述限位座上环形阵列摆放，同时多个所述待打孔件的外轮廓共同拟合成圆形；
17、在多个所述待打孔件的上方放置一个所述固定件，所述固定件同时均匀抵压每个所述待打孔件，并将所述固定件与所述限位座固定安装；
18、按照所述待打孔件的组装件预设打孔位置，将打侧孔工装固定安装于打孔设备，所述打孔设备对多个所述待打孔件的侧面打孔。
19、作为打侧孔方法的优选技术方案，使用三坐标测量设备预先对所述待打孔件的外形尺寸进行测量并记录，根据所述待打孔件的外形尺寸和所述组装件的安装孔位置计算并预设所述打孔位置。
20、作为打侧孔方法的优选技术方案，所述打孔设备对每个所述待打孔件上打孔数量和打孔间隔均相同。
21、本专利技术的有益效果：
22、本专利技术所提供的打侧孔工装及打侧孔方法，其中，打侧孔工装包括限位座、固定件和调节件，限位座用于同时放置多个待打孔件，固定件与限位座相对设置，用于将多个待打孔件抵压于限位座，调节件能穿过固定件与限位座连接，用于调节固定件与限位座之间的距离，适用于一整套具有多个零部件的待打孔产品，能够系统化地进行打孔操作，提高了待打孔产品一致性和适配程度，该打侧孔工装具有通用性和互换性，不限制待打孔产品的形状；工作人员打侧孔时，首先需要根据待打孔件的不规则外形，将多个待打孔件在限位座上环形阵列摆放，定制打侧孔工装使限位座同时容纳多个待打孔件，同时可以将多个不规则的待打孔件组合转化成规则的圆形外轮廓，能够更好地均匀划分打孔位置；然后在多个待打孔件的上方放置一个固定件，此固定件同时均匀抵压每个待打孔件，且固定件与限位座能固定安装，夹住并稳定多个待打孔件，避免打孔时发生打滑偏移；最后将打侧孔工装固定安装于打孔设备，按照待打孔件的组装件合理预设打孔位置，打孔设备对多个待打孔件的侧面进行打孔，此打侧孔方法使用打侧孔工装，能够提高打孔精度，实现均匀分布打孔，工作人员更好操作，打孔效率更高。
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1.打侧孔工装，其特征在于，用于固定待打孔产品并与打孔设备安装，每套所述待打孔产品包括多个需要侧面打孔的待打孔件(100)，所述打侧孔工装包括：
2.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述调节件(3)包括锁紧部和螺杆部，所述锁紧部和所述螺杆部连接，所述锁紧部抵接在所述固定件(2)上，所述限位座(1)设置有螺纹调节孔，所述螺杆部能穿过所述固定件(2)与所述螺纹调节孔旋接。
3.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有多个限位凹槽(11)，所述限位凹槽(11)被配置为与所述限位座(1)放置的所述待打孔件(100)一一对应设置。
4.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有侧围部，所述侧围部设置为筒状，所述侧围部设置有多个预设辅助孔，多个所述预设辅助孔沿所述侧围部的周向间隔预设距离设置。
5.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有填充部，所述填充部的材料为柔性材料，所述填充部用于分隔相邻的两个所述待打孔件(100)。
6.根据权利要求1所
7.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述打侧孔工装包括多个连接件(4)，所述连接件(4)被配置为能穿过所述固定件(2)与所述待打孔件(100)固定连接。
8.一种打侧孔方法，其特征在于，该打侧孔方法利用如权利要求1-6任一项所述的打侧孔工装，包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的打侧孔方法，其特征在于，使用三坐标测量设备预先对所述待打孔件(100)的外形尺寸进行测量并记录，根据所述待打孔件(100)的外形尺寸和所述组装件的安装孔位置计算并预设所述打孔位置。
10.根据权利要求8所述的打侧孔方法，其特征在于，所述打孔设备对每个所述待打孔件(100)上打孔数量和打孔间隔均相同。
...【技术特征摘要】
1.打侧孔工装，其特征在于，用于固定待打孔产品并与打孔设备安装，每套所述待打孔产品包括多个需要侧面打孔的待打孔件(100)，所述打侧孔工装包括：
2.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述调节件(3)包括锁紧部和螺杆部，所述锁紧部和所述螺杆部连接，所述锁紧部抵接在所述固定件(2)上，所述限位座(1)设置有螺纹调节孔，所述螺杆部能穿过所述固定件(2)与所述螺纹调节孔旋接。
3.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有多个限位凹槽(11)，所述限位凹槽(11)被配置为与所述限位座(1)放置的所述待打孔件(100)一一对应设置。
4.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有侧围部，所述侧围部设置为筒状，所述侧围部设置有多个预设辅助孔，多个所述预设辅助孔沿所述侧围部的周向间隔预设距离设置。
5.根据权利要求1所述的打侧孔工装，其特征在于，所述限位座(1)设置有填充部，所述填充部的材料为柔性材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，鲍伟江，王龙和，
申请(专利权)人：丽水睿昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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