【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶硅加工，具体而言，涉及一种晶托夹持机构及翻转装置。
技术介绍
1、晶棒一般通过粘胶机粘到晶托上，再将晶托和晶棒的整体推入切片机中，夹紧晶托从而实现晶棒的固定。从晶棒粘完胶到送入切片机以及切割完的硅片到送入脱胶机的上下料过程中，往往需要一种能将晶托和晶棒整体进行180°翻转的装置(即晶托在上、晶棒在下翻转为晶棒在上、晶托在下，或晶托在下、晶棒在上翻转为晶托在上、晶棒在下)，以满足粘胶机、切片机、脱胶机以及各种工装小车的不同适配需求。
2、现有专利cn116214747a公开了一种翻棒设备，其通过伺服电机带动齿轮啮合传动从而实现晶棒的翻转，但是该方案承托晶托的导轨与晶托为面接触，推入晶棒的过程中容易划伤晶托表面并且要很大的推力才能克服摩擦力将晶棒连同晶托推入翻转设备内。
3、因此，本申请要解决的技术问题是：提供一种不易损伤晶托表面的翻棒结构。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种晶托夹持机构及翻转装置，解决了现有技术容易损伤晶托表面的问题。本申请方案的技术效果是：可减小晶托夹持状态的摩擦力，进而降低晶托表面损伤。
2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种晶托夹持机构，包括：底座；第一夹持单元，所述第一夹持单元转动设置于底座上，所述第一夹持单元具有可转动切换的第一作用面，所述第一作用面作用于晶托的第一面；以及第二夹持单元，所述第二夹持单元转动设置于底座上，所述第二夹持单元具有可转动切换的第二作用面，
3、可以理解的是，燕尾型晶托具有斜侧面与底面，若两侧使用水平方向的夹紧力，则在垂直方向仍需使用上下两个方向的夹紧力才可完成夹紧。本结构通过两侧施加倾斜方向的力，配合晶托底部向上的力实现夹紧，优化了施力结构。通过采用可转动的第一夹持单元和第二夹持单元，代替现有的平面夹紧结构，静面摩擦转为滚动摩擦，可显著降低夹持结构对于晶托的损伤，进而当晶托进入后道工序，即切割设备的切割室内，可与夹紧座实现紧贴，晶棒切割时不易蹿动，保证了晶棒的切割质量。示例性的，第一夹持单元的第一作用面及第二夹持单元的第二作用面可采用硬度小于晶托的材料制成，可以进一步降低晶托损伤。
4、在上述的晶托夹持机构中，所述底座具有：第一夹持座，所述第一夹持座上设有所述第一夹持单元；第二夹持座，所述第二夹持座至少为两个，所述第二夹持座分别设置于第一夹持座的两侧，所述第二夹持座上设有第二夹持单元；其中，所述第一夹持座高于/低于第二夹持座，以使得第一夹持单元和第二夹持单元分别对应晶托的两个面。
5、可以理解的是，燕尾形晶托底面为平面，仅需一个方向的力进行夹持，两侧分别需要一个力进行夹持，因此，第二夹持座至少配置两个，第一夹持座至少配置1个。
6、在上述的晶托夹持机构中，所述底座上划分有第一夹持区和第二夹持区，所述第一夹持区设置于底座端部，所述第二夹持区与第一夹持区相邻或相接；所述第一夹持区的第一夹持单元分布密度大于第二夹持区的第一单元工位分布密度，且/或，所述第一夹持区的第二夹持单元分布密度大于第二夹持区的第二夹持单元分布密度。
7、可以理解的是，第一夹持区可供晶托进入，晶托进入时，受力区域较短，需要保证较大的夹持力才可抵消未进入部分的晶托重力，如此，第一夹持区的第一夹持单元及第二夹持单元的分布密度相对第二夹持区更大。
8、在上述的晶托夹持机构中，所述第一夹持单元为随动轮，所述随动轮铰接于底座上，或，所述第一夹持单元为电动轮，所述底座上设有电驱机构，所述电驱机构具有输出端，所述输出端与电动轮连接。
9、可以理解的是，当第一夹持单元为随动轮时，需要通过机械手或人工持续顶推晶托送至底座上，当第一夹持单元配置为电动轮时，可通过电驱机构驱动转动，以带动晶托自动送至底座上。示例性的，所述电驱机构电连接或通信连接有速度控制单元，可控制所述输出端的转速，可防止输送过快而损伤晶托。
10、在上述的晶托夹持机构中，所述第二夹持单元相对于底座倾斜向上和/或向下伸出，或，所述第二夹持单元的第二作用面为斜面。
11、示例性的，第二夹持单元可以是斜向伸出的随动轮，也可以是水平伸出的随动轮，特别的，水平伸出的随动轮需要设置倾斜的第二作用面，其截面呈等腰梯形。
12、在上述的晶托夹持机构中，所述底座上设有角度调节结构，所述第二夹持单元连接于角度调节结构上，可调节角度以作用于不同倾斜角度的晶托。
13、可以理解的是，通过设置角度调节结构，可带动第二夹持单元转动调节角度，以适配具有不同倾斜侧面的晶托。示例性的，角度调节结构包括安装槽、活动轴、弹性件、顶压件，其中，活动轴铰接于安装槽上可与第二夹持单元连接，且活动轴两侧分别被顶压件和弹性件顶压，顶压件可通过螺纹连接于底座，通过转动顶压活动轴，活动轴被顶压可转动角度，弹性件用于活动轴的弹性复位，当顶压件向远离活动轴的方向转动时，弹性件可顶压活动轴逆转所转动的角度，实现复位。
14、在上述的晶托夹持机构中，所述底座上设有伸缩结构，所述第二夹持单元连接于伸缩结构上，可伸缩以作用于不同尺寸的晶托。
15、示例性的，伸缩结构包括转轴，转轴与活动轴或底座螺纹连接，转轴端部还与第二夹持单元相对转动连接，通过转动转轴以调节其相对底座的位置，进而带动第二夹持单元伸缩运动。在其他的实施方式中，也可采用带有弹簧的伸缩柱代替转轴，将伸缩柱与第二夹持单元转动连接，同样可实现伸缩调节。
16、在上述的晶托夹持机构中，所述第二夹持单元为同轴设置的多个随动轮，以使其单个作用方向上具有多个作用点位。可以理解的是，当某些晶托的侧面较宽时，单个随动轮的尺寸难以满足作用力，因此，将第二夹持单元配置为同轴多个随动轮，以实现多点支撑夹紧。
17、在上述的晶托夹持机构中，所述底座上还设有限位机构，所述限位机构作用于晶托的端部。通过设置限位机构以实现对晶托的前后限位。示例性的，所述限位机构包括：第一限位单元，所述第一限位单元设置于底座上，且所述第一限位单元作用于晶托的第三面；第二限位单元，所述第二限位单元设置于底座上远离第一限位单元的一端，且所述第二限位单元作用于晶托的第四面。所述第一限位单元为固定限位结构，所述第二限位单元为可拆卸/移动/转动的限位结构。
18、本技术的另一目的还在于提供一种翻转装置，转筒；如上所述的晶托夹持机构，所述晶托夹持机构设置于转筒内；以及驱动机构，所述驱动机构作用于转筒上，可驱动转筒转动。
19、可以理解的是，通过驱动机构驱动转筒转动，转筒转动带动底座转动，从而带动底座上的晶托翻转。
20、进一步的，所述转筒外侧设有支撑组件，所述支撑组件包括多个限位轮，所述限位轮与转筒耦合。可以理解的是，限位轮与转筒耦合，既可以支撑转筒，又可以限制转筒本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶托夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)具有：
3.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)上划分有第一夹持区(A)和第二夹持区(B)，所述第一夹持区(A)设置于底座(100)端部，所述第二夹持区(B)与第一夹持区(A)相邻或相接；
4.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述第一夹持单元(200)为随动轮，所述随动轮铰接于底座(100)上，或，
5.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述第二夹持单元(300)相对于底座(100)倾斜向上和/或向下伸出，或，所述第二夹持单元(300)的第二作用面(310)为斜面。
6.根据权利要求5所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)上设有角度调节结构(130)，所述第二夹持单元(300)连接于角度调节结构(130)上，可调节角度以作用于不同倾斜角度的晶托(C)。
7.根据权利要求5所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)上设有伸缩结构(
8.根据权利要求5所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述第二夹持单元(300)为同轴设置的多个随动轮，以使其单个作用方向上具有多个作用点位。
9.一种翻转装置，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的翻转装置，其特征在于，所述转筒(400)上设有重心调整模块(600)，可将转筒(400)重心调整至转筒(400)轴心。
...【技术特征摘要】
1.一种晶托夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)具有：
3.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述底座(100)上划分有第一夹持区(a)和第二夹持区(b)，所述第一夹持区(a)设置于底座(100)端部，所述第二夹持区(b)与第一夹持区(a)相邻或相接；
4.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述第一夹持单元(200)为随动轮，所述随动轮铰接于底座(100)上，或，
5.根据权利要求1所述的晶托夹持机构，其特征在于，所述第二夹持单元(300)相对于底座(100)倾斜向上和/或向下伸出，或，所述第二夹持单元(300)的第二作用面(310)为斜面。
6.根据权利要求5所述的晶托夹持...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，王金荣，孔玉梅，朱继锭，黄佳辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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