【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一般清洁；一般污垢的防除，具体涉及一种新型ito靶材清洗装置。
技术介绍
1、溅射是一种物理气相沉积技术，它利用高能粒子轰击某种材料的靶材表面，靶面的原子或分子在碰撞的作用下从中逸出，使靶材原子最终淀积在衬底材料上形成薄膜。
2、ito溅射成膜的生产工艺中，靶材表面洁净度不高会有一些切割碎屑油污跟粉尘，在清洗不干净的情况下，会导致在溅射过程中出现打火情况，并在靶材表面沉积黑色氧化物，出现结瘤的情况；此外在磁控溅射镀膜过程中，宏观及微观孔隙、裂纹和划痕等缺陷容易引起电荷和热量的聚集，使靶材中sno2发生sno2→sno+o2得分解反应，导致了结瘤现象的产生；而结瘤的结构疏松内部多有孔隙，更容易引起电荷和热量的聚集，从而使sn分解反应继续进行，导致结瘤不断长大。结瘤量增加，会导致溅射过程中的异常放电，从而使得ito膜出现不均匀及团聚颗粒结构，影响导电膜的质量，影响工艺的稳定性同时也使得靶材的利用率降低严重影响生产成本。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种新型ito靶材清洗装置，采用的技术方案为：
2、一种新型ito靶材清洗装置，包括：清洗池、喷淋装置、冲洗装置、吹扫装置、超声波装置、升降装置和驱动装置，所述清洗池内用于盛装清洗剂，所述超声波装置安装在所述清洗池上，所述升降装置的升降端分布在所述清洗池的上方，所述驱动装置安装在所述升降装置的驱动端上，所述驱动装置的驱动端用于安装待清洗的靶材，所述喷淋装置
3、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：所述喷淋装置、冲洗装置、吹扫装置均安装在所述升降装置的升降端上。
4、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：所述升降装置的升降端上安装有输入管道，所述输入管道上设有多个喷嘴，所述喷淋装置、冲洗装置和吹扫装置分别通过阀门与所述输入管道连通。
5、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：还包括加热装置和温度监测器，所述加热装置和温度监测器安装在所述清洗池上，所述加热装置用加热所述清洗池内的清洗剂，所述温度监测器用于检测所述清洗池内的液体的温度。
6、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：还包括安装在所述清洗池上的油污分离器。
7、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：所述驱动装置包括电机和主动齿轮，所述升降装置的升降端上设有支架，待清洗的靶材的两端分别通过齿轮套可转动的安装在所述支架上，所述电机安装在所述支架上，所述电机的输出轴竖向分布，所述主动齿轮同轴固定安装在所述电机的输出轴上并与所述齿轮套上的从动齿轮啮合，所述电机可通过所述主动齿轮驱动齿轮套带动待清洗的靶材转动。
8、本技术的一种实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：所述齿轮套包括从动齿轮、套体和轴承，所述套体套装在所述从动齿轮上并与其固定连接，所述轴承同轴固定安装在所述从动齿轮内环上并与其连接固定，待清洗的靶材的两端分别与所述套体套接，所述支架上设有与所述轴承相匹配的连接杆，所述连接杆伸入所述从动齿轮内并与所述轴承的内圈连接。
9、本技术的有益效果：
10、本申请所述清洗装置可通过对靶材的移动控制以及对喷淋装置、冲洗装置、吹扫装置、超声波装置的启停控制实现了对靶材的冲洗、喷淋、超声波油脂分离和吹扫，进而实现对靶材全方位和全面的清洗。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种新型ITO靶材清洗装置，其特征在于，包括：清洗池(1)、喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)、超声波装置(5)、升降装置(6)和驱动装置(7)，所述清洗池(1)内用于盛装清洗剂，所述超声波装置(5)安装在所述清洗池(1)上，所述升降装置(6)的升降端分布在所述清洗池(1)的上方，所述驱动装置(7)安装在所述升降装置(6)的驱动端上，所述驱动装置(7)的驱动端用于安装待清洗的靶材，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)均设置在待清洗的靶材的上方，所述升降装置(6)用于驱动所述驱动装置(7)和待清洗的靶材同步升降；
2.根据权利要求1所述的新型ITO靶材清洗装置，其特征在于，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)均安装在所述升降装置(6)的升降端上。
3.根据权利要求2所述的新型ITO靶材清洗装置，其特征在于，所述升降装置(6)的升降端上安装有输入管道(61)，所述输入管道(61)上设有多个喷嘴(62)，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)和吹扫装置(4)分别通过阀门与所述输入管道(61)连通。
4.根据权利
5.根据权利要求1所述的新型ITO靶材清洗装置，其特征在于，包括安装在所述清洗池(1)上的油污分离器。
6.根据权利要求1所述的新型ITO靶材清洗装置，其特征在于，所述齿轮套(73)包括从动齿轮(731)、套体(732)和轴承(733)，所述套体(732)套装在所述从动齿轮(731)上并与其固定连接，所述轴承(733)同轴固定安装在所述从动齿轮(731)内环上并与其连接固定，待清洗的靶材的两端分别与所述套体(732)套接，所述支架(63)上设有与所述轴承(733)相匹配的连接杆(64)，所述连接杆(64)伸入所述从动齿轮(731)内并与所述轴承(733)的内圈连接。
...【技术特征摘要】
1.一种新型ito靶材清洗装置，其特征在于，包括：清洗池(1)、喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)、超声波装置(5)、升降装置(6)和驱动装置(7)，所述清洗池(1)内用于盛装清洗剂，所述超声波装置(5)安装在所述清洗池(1)上，所述升降装置(6)的升降端分布在所述清洗池(1)的上方，所述驱动装置(7)安装在所述升降装置(6)的驱动端上，所述驱动装置(7)的驱动端用于安装待清洗的靶材，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)均设置在待清洗的靶材的上方，所述升降装置(6)用于驱动所述驱动装置(7)和待清洗的靶材同步升降；
2.根据权利要求1所述的新型ito靶材清洗装置，其特征在于，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)、吹扫装置(4)均安装在所述升降装置(6)的升降端上。
3.根据权利要求2所述的新型ito靶材清洗装置，其特征在于，所述升降装置(6)的升降端上安装有输入管道(61)，所述输入管道(61)上设有多个喷嘴(62)，所述喷淋装置(2)、冲洗装置(3)和吹扫装置(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员：李斯成，张瑞，李伟生，魏江峰，谢孟良，
申请(专利权)人：江苏瑞昇光能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。