【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体处理设备，尤其涉及一种用于石英炉管火焰抛光设备。
技术介绍
1、由于石英炉管具备一系列优良的特性，因此被广泛地应用于现代化先进半导体工艺制程中，尤其是半导体硅片等多种场合，其中，用量较大的石英炉管是退火、氧化、扩散等高温工艺中所使用的石英炉管。
2、在石英半导体行业中，对其抛光有着超高技术要求，需要火焰进行抛光来使外观达到晶透接近零瑕疵质量要求，由于工艺过程或员工火焰抛光的时候产生疲劳，就会导致很多时候经过火焰抛光后管材发生变化，部品容易发生变形，并且伴有抛光不均匀的现象，检验会有抛不透、发白等外观质量问题，造成产品返工维修甚至报废，影响下道工序和产品交期。
3、现有技术中在抛光时，两个作业人员将石英炉管放在抛光治具上，一名员工手持火焰枪对管内壁进行抛光，一名员工手持火焰枪对管外壁进行抛光，明显的，人工抛光的作业方式很容易导致抛光不均匀，同时抛光作业人力成本高。
技术实现思路
1、本专利技术主要提供了一种用于石英炉管火焰抛光设备，用以解决上述
技术介绍
中提出的现有治具的石墨块和石英炉管大面积接触导致抛光不均匀等技术问题。
2、本专利技术解决上述技术问题采用的技术方案为：
3、一种用于石英炉管火焰抛光设备，所述抛光设备包括定位治具和抛光机器人，所述定位治具包括：工作台；第一转轴，设置于所述工作台上并能够沿着轴线方向进行转动，所述第一转轴上设有第一滚轮，所述第一滚轮被配置于随着所述第一转轴进行转动；以及第二转轴，和所述第
4、优选的，所述定位治具还包括：安装台，设置于所述工作台上的一端，所述安装台内设有限位槽；以及滑动轨道，设置于所述工作台上远离所述安装台的一端，所述滑动轨道的长度方向和所述第一转轴的长度方向相垂直；其中，所述第一转轴的一端通过第一治具设置于所述滑动轨道上，所述第一治具被配置于能够在所述滑动轨道上移动，所述第一转轴的另一端设置于所述限位槽内。
5、优选的，所述第二转轴的一端通过第二治具设置于所述滑动轨道上，另一端设置于所述安装台内。
6、优选的，所述第一转轴在竖直方向上高于所述第二转轴。
7、优选的，所述第一治具包括：第一固定座；第一锁紧件，所述第一锁紧件和所述第一固定座被配置于共同限制所述第一转轴；以及滑动件，固定连接于所述第一固定座，所述滑动件被配置于在所述滑动轨道上滑动并固定。
8、优选的，所述第二治具包括：第二固定座，设置于所述滑动轨道上；以及第二锁紧件，所述第二锁紧件和所述第二固定座被配置于共同限制所述第二转轴。
9、优选的，所述定位治具还包括设置于所述工作台一端的限位件，所述限位件被配置于限制所述石英炉管在所述第一转轴长度方向上的移动。
10、优选的，所述工作台的一端设有安装件，所述限位件设置于所述安装件上并能够沿着所述第一转轴的长度方向移动。
11、优选的，所述限位件呈圆柱状并能够绕所述限位件的轴线方向进行转动。
12、优选的，所述第一转轴上设有两个第一滚轮，且两个所述第一滚轮在所述第一转轴上的位置均可以调节；所述第二转轴上设有两个第二滚轮，且两个所述第二滚轮在所述第二转轴上的位置均可以调节。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
14、本专利技术具体火焰抛光作业时，作业人员将石英炉管放置于第一滚轮和第二滚轮上，进行初步定位，然后通过机器人焊枪对石英炉管的内管壁以及外管壁进行抛光，抛光时，第一转轴和第二转轴转动，进而带动石英炉管转动，便于机器人焊枪在预设的路径以及速度下可以均匀抛光石英炉管，同时，第一滚轮和第二滚轮可以尽量减少和石英炉管间的接触面积，最大程度减少对其抛光效果的影响，两个火焰焊枪300同时加热石英炉管200上同一圆周的不同位置，进一步提高抛光效果，本专利技术提供的火焰抛光设备既保证了抛光的均匀，也节省了人力成本，适于实用。
15、以下将结合附图与具体的实施例对本专利技术进行详细的解释说明。
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1.一种用于石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述抛光设备包括定位治具(100)和抛光机器人，所述定位治具(100)包括：
2.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述定位治具(100)还包括：
3.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述第二转轴(3)的一端通过第二治具(9)设置于所述滑动轨道(7)上，另一端设置于所述安装台(6)内。
4.根据权利要求3所述的抛光设备，其特征在于，所述第一转轴(2)在竖直方向上高于所述第二转轴(3)。
5.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述第一治具(8)包括：
6.根据权利要求3所述的抛光设备，其特征在于，所述第二治具(9)包括：
7.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述定位治具(100)还包括设置于所述工作台(1)一端的限位件(10)，所述限位件(10)被配置于限制所述石英炉管(200)在所述第一转轴(2)长度方向上的移动。
8.根据权利要求7所述的抛光设备，其特征在于，所述工作台(1)的一端设有安装件(11)，所述限位件(1
9.根据权利要求7所述的抛光设备，其特征在于，所述限位件(10)呈圆柱状并能够绕所述限位件(10)的轴线方向进行转动。
10.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述第一转轴(2)上设有两个第一滚轮(4)，且两个所述第一滚轮(4)在所述第一转轴(2)上的位置均可以调节；
...【技术特征摘要】
1.一种用于石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述抛光设备包括定位治具(100)和抛光机器人，所述定位治具(100)包括：
2.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述定位治具(100)还包括：
3.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述第二转轴(3)的一端通过第二治具(9)设置于所述滑动轨道(7)上，另一端设置于所述安装台(6)内。
4.根据权利要求3所述的抛光设备，其特征在于，所述第一转轴(2)在竖直方向上高于所述第二转轴(3)。
5.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述第一治具(8)包括：
6.根据权利要求3所述的抛光设备，其特征在于，所述第二治具(9)包括：
7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，赵乐乐，段晓飞，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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