【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体原材料提纯,具体涉及一种半导体原材料提纯烧结装置。
技术介绍
1、磷、硫及砷等为重要的半导体原材料,其可以制备磷化铟、磷化镓、砷化镓、二硫化钼等半导体材料。制造半导体材料对半导体原材料的纯度要求很高,一般要达到99.999%以上,目前主要的半导体原材料的提纯工艺为烧结提纯。在现有技术(公开号:cn218993999u)一种半导体原材料提纯烧结装置中提及“,包括提纯烧结机箱和气压真空处理件,所述提纯烧结机箱和气压真空处理件相互安装在一起,气压真空处理件安装在提纯烧结机箱的外部上方位置,提纯烧结机箱的内部放置有半导体原材料”,但是现有技术的半导体原材料提纯烧结装置由于不可立即降温,导致在半导体材料提纯烧结容器内容易烧结过度,影响半导体原材料提纯的品质,使用并不安全可靠。
技术实现思路
1、为克服现有技术所存在的缺陷,现提供一种半导体原材料提纯烧结装置,以解决现有技术的半导体原材料提纯烧结装置由于不可立即降温,导致在半导体材料提纯烧结容器内容易烧结过度,影响半导体原材料提纯的品质
...【技术保护点】
1.一种半导体原材料提纯烧结装置,其特征在于,包括下烧结座(1)、烧结槽(2)和提纯槽(3);所述下烧结座(1)内上部安装有烧结槽(2),且烧结槽(2)内套置有提纯槽(3),所述提纯槽(3)在垂直方向升降活动,且提纯槽(3)的上端设置有上边框(30),并且上边框(30)上盖置有盖板(4)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体原材料提纯烧结装置,其特征在于,所述下烧结座(1)的前侧面上部设置有控制面板(18),且下烧结座(1)的前后两侧面下部均设置三组通风框(11),通风框(11)内安装有散热风扇(12),并且下烧结座(1)的底面左右两端均设置有底板(10)
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【技术特征摘要】
1.一种半导体原材料提纯烧结装置,其特征在于,包括下烧结座(1)、烧结槽(2)和提纯槽(3);所述下烧结座(1)内上部安装有烧结槽(2),且烧结槽(2)内套置有提纯槽(3),所述提纯槽(3)在垂直方向升降活动,且提纯槽(3)的上端设置有上边框(30),并且上边框(30)上盖置有盖板(4)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体原材料提纯烧结装置,其特征在于,所述下烧结座(1)的前侧面上部设置有控制面板(18),且下烧结座(1)的前后两侧面下部均设置三组通风框(11),通风框(11)内安装有散热风扇(12),并且下烧结座(1)的底面左右两端均设置有底板(10)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体原材料提纯烧结装置,其特征在于,所述下烧结座(1)的左右两侧面中部均设置有外固定板(13),外固定板(13)上安装有两组第一伸缩气缸(14),且下烧结座(1)的上部左右两侧均开设有侧凹口(15),第一伸缩气缸(14)位于侧凹口(15)内,第一伸缩气缸(14)的上端固定在提纯槽(3)外,并且下烧结座(1)上端面左右两部均设置有减震...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚玉红,汪海燕,李建恒,朱思坤,
申请(专利权)人:铜陵安德科铭电子材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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