一种氦检辅助装置制造方法及图纸

本技术公开了一种氦检辅助装置，具体涉及氦质谱检漏仪应用技术领域，包括主体管道、氦质谱检漏仪、数显真空计、氮气管道、真空泵、氦检管，所述氦质谱检漏仪、数显真空计、氮气管道和真空泵分别通过单独的管路与主体管道连接，所述主体管道上还是设置有预留管路，预留管路上连接有第二阀门，所述主体管道和氦质谱检漏仪之间的管路上安装有第三阀门。本技术所述的一种氦检辅助装置，该套辅助装置既可以满足与真空法氦检操作，又可以满足正压法氦检操作，可以一套系统满足于两种不同的氦检方法操作，切换方便，操作简单快捷，同时可以同时检测多个源瓶，提高工作效率，同时也可以用于多种尺寸类型的钢瓶氦检操作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及氦质谱检漏仪应用，特别涉及一种氦检辅助装置。

技术介绍

1、随着半导体技术发展的日新月异，对于各种材料的纯度要求也越来越高，以前的5n到现在的6n、7n甚至9n。材料的要求越来越高，进而对于容器以及连接处的密封性要求也越高。常规的检漏的方法已经无法满足与产业的需求，氦检法以其高灵敏度被用于半导体产业的上下。

2、氦质谱检漏仪作为标准的通用检漏仪器，其本身的抽空能力是有限的。当有大容积的工件需要采用负压法抽空检漏，或者采用真空箱法检漏时，由于工件容积或者真空箱内容积比较大，检漏仪本省的抽空能力就不够了，要么要抽很长时间才能抽下来，缩短了检漏仪的有效使用寿命，要么根本就抽不下来，没有办法实现检漏操作，为此，提出一种氦检辅助装置。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种氦检辅助装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。

2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：

3、一种氦检辅助装置，包括主体管道、氦质谱检漏仪、数显真空计、氮气管道、真空泵、氦检管，所述氦质谱检漏仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氦检辅助装置，其特征在于：包括主体管道(1)、氦质谱检漏仪(2)、数显真空计(3)、氮气管道(4)、真空泵(5)、氦检管(14)，所述氦质谱检漏仪(2)、数显真空计(3)、氮气管道(4)和真空泵(5)分别通过单独的管路与主体管道(1)连接，所述主体管道(1)上还是设置有预留管路，预留管路上连接有第二阀门(8)，所述主体管道(1)和氦质谱检漏仪(2)之间的管路上安装有第三阀门(9)，所述数显真空计(3)和主体管道(1)之间的管路上安装有第四阀门(10)，所述氮气管道(4)和主体管道(1)之间的管路上安装有第五阀门(11)和第六阀门(12)，所述真空泵(5)和主体管道(1)之间的管路...

【技术特征摘要】

1.一种氦检辅助装置，其特征在于：包括主体管道(1)、氦质谱检漏仪(2)、数显真空计(3)、氮气管道(4)、真空泵(5)、氦检管(14)，所述氦质谱检漏仪(2)、数显真空计(3)、氮气管道(4)和真空泵(5)分别通过单独的管路与主体管道(1)连接，所述主体管道(1)上还是设置有预留管路，预留管路上连接有第二阀门(8)，所述主体管道(1)和氦质谱检漏仪(2)之间的管路上安装有第三阀门(9)，所述数显真空计(3)和主体管道(1)之间的管路上安装有第四阀门(10)，所述氮气管道(4)和主体管道(1)之间的管路上安装有第五阀门(11)和第六阀门(12)，所述真空泵(5)和主体管道(1)之间的管路上安装有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹旭锋，汪海燕，李杨，姚继杰，
申请(专利权)人：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：