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本技术公开了一种氦检辅助装置,具体涉及氦质谱检漏仪应用技术领域,包括主体管道、氦质谱检漏仪、数显真空计、氮气管道、真空泵、氦检管,所述氦质谱检漏仪、数显真空计、氮气管道和真空泵分别通过单独的管路与主体管道连接,所述主体管道上还是设置有预留管...该专利属于铜陵安德科铭电子材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铜陵安德科铭电子材料科技有限公司授权不得商用。
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