【技术实现步骤摘要】
本申请涉及原子制备，尤其涉及一种亚稳态氦原子制备系统。
技术介绍
1、随着科技的高速发展，亚稳态氦原子在基础物理研究和半导体刻蚀领域发挥着重要的作用。亚稳态氦原子因其能级寿命较长(15-7870s)，且与该态相关的跃迁能集中在可见光波段和红外波段，也即，与该态相关的跃迁很容易用传统激光操纵，使得该态可以作为“等效基态”来开展相关研究。在不同的应用领域，亚稳态氦原子均扮演了至关重要的角色，例如，在氦原子精密光谱测量中，较弱的亚稳态氦原子束流强度直接影响实验测量信噪比，进而降低能级的测量精度。对于半导体刻蚀，低束流强度的亚稳态氦原子常常需要更长的曝光时间，通常是10分钟或者更久，远远长于技术成熟的xuv(extreme ultra-violet，极紫外光)光刻技术数百毫秒的曝光时间。因此，发展高效率制备亚稳态氦原子的实验技术在基础研究和工业应用中具有举足轻重的地位。
2、目前，通常采用电子轰击或气体放电实现亚稳态氦原子的制备，但是，电子轰击或气体放电的制备方法的制备过程复杂且条件苛刻，所以导致亚稳态氦原子制备的制备效率较低。p>
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【技术保护点】
1.一种亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述亚稳态氦原子制备系统包括：
2.如权利要求1所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述亚稳态氦原子制备系统包括气体冷却部件，用于提供冷却气体。
3.如权利要求2所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述气体冷却部件包括截流部件，所述截流部件用于控制所述冷却气体的气体流量。
4.如权利要求2所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述气体冷却部件与所述真空腔体之间通过输气管道连接，所述输气管道的导热率低于预设导热率阈值。
5.如权利要求1所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.一种亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述亚稳态氦原子制备系统包括：
2.如权利要求1所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述亚稳态氦原子制备系统包括气体冷却部件，用于提供冷却气体。
3.如权利要求2所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述气体冷却部件包括截流部件，所述截流部件用于控制所述冷却气体的气体流量。
4.如权利要求2所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述气体冷却部件与所述真空腔体之间通过输气管道连接，所述输气管道的导热率低于预设导热率阈值。
5.如权利要求1所述亚稳态氦原子制备系统，其特征在于，所述气体供应部件用于提供氦气，所述亚稳态氦原子制备系统包括差分部件，用于将所述氦气的气压与所述制备激光的管路气压进行差分。
6.如权利要求1所述亚...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜小娇，孙羽，胡水明，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：
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