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本申请公开了一种亚稳态氦原子制备系统，应用于原子制备技术领域，其中，亚稳态氦原子制备系统包括：真空腔体，用于提供真空制备环境；气体供应部件与所述真空腔体连接，用于提供氦原子；激光入射部件与所述真空腔体连接，用于入射制备亚稳态氦原子时所需的制...
该专利属于深圳综合粒子设施研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳综合粒子设施研究院授权不得商用。

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