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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜设备,具体地说,是真空镀膜设备及工艺。
技术介绍
1、真空镀膜,指在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀三种形式。
2、现有的真空镀膜设备,如图1所示,包括镀膜机主机4、开关阀(为一种手动阀门)14、进水侧水泵10、水塔11、出水侧水泵7、真空控制系统、工艺气体配气系统、离子源、镀膜机温控系统,镀膜机主机4从外到内设置有外保护层2、水冷管道组3和镀膜腔(真空腔),在镀膜机主机4上设置有与水冷管道组3向连接的出水口6和进水口8;真空控制系统连接镀膜腔,操作控制镀膜腔形成工作所需真空状态;工艺气体配气系统连接镀膜机主机4为其提供所需工业气体,镀膜机温控系统设置在镀膜机主机4上,实现镀膜机主机4的温度控制。如图2所示为现有的真空镀膜设备的电气控制图,现有的真空镀膜设备在对离子源、镀膜机温控系统、真空控制系统、进水侧水泵10、出水侧水泵7、供水系统及工艺气体配气系统进行控制时,都是通过设置在镀膜机主机4上的控制平台进行控制,在生产过程中,操作员必须守在镀膜机主机4处,如此,将极大的限制了操作员的活动区域,也不方便智能化的控制;由于采用常温水进行水冷,将导致水冷效果差,且不能实时的监测出水水温,无法进行循环水水量的自动控制,从而使得在生产时,产品的不良率居高不下,造成产品实际成本偏高,为此需要一种更加智能的真空镀膜设备来降低产品的不良率。
...【技术保护点】
1.真空镀膜设备,其特征在于:设置有镀膜机主机(4)、水塔(11)、冷却水联动系统、PLC控制系统及与PLC控制系统相连接的上位机监控系统,所述PLC控制系统连接冷却水联动系统和镀膜机主机(4),冷却水联动系统连接镀膜机主机(4);所述冷却水联动系统设置有温度传感器(5)、出水侧水泵(7)、流量控制阀(9)及进水侧水泵(10)及冷却水循环系统(13),所述镀膜机主机(4)的出水口(6)通过设置有出水侧水泵(7)的水管(12)连接在冷却水循环系统(13)的进水侧,冷却水循环系统(13)的出水侧通过水管(12)连接在水塔(11)的进水口上,水塔(11)的出水口通过设置有进水侧水泵(10)、流量控制阀(9)的水管(12)连接在镀膜机主机(4)的进水口(8)上,所述温度传感器(5)设置在出水口(6)上;所述PLC控制系统分别连接温度传感器(5)、出水侧水泵(7)、流量控制阀(9)及进水侧水泵(10)及冷却水循环系统(13)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备,其特征在于:所述镀膜机主机(4)包括镀膜腔,设置在镀膜腔外侧的水冷管道组(3),包覆在水冷管道组(3)外侧的外保护
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜设备还包括离子源、真空控制系统、镀膜机温控系统及工艺气体配气系统,且PLC控制系统分别连接离子源、真空控制系统、镀膜机温控系统及工艺气体配气系统。
4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备,其特征在于:在水塔(11)上还连接有供水系统,且供水系统还与PLC控制系统相连接。
5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备,其特征在于:所述冷却水联动系统还包括设置在水塔(11)内的水位传感器(1),且水位传感器(1)与PLC控制系统相连接。
6.真空镀膜工艺,基于如权利要求1~5任一项所述的真空镀膜设备实现,其特征在于:包括真空镀膜水冷控制工艺,具体为:
7.根据权利要求6所述的真空镀膜工艺,其特征在于:在水冷循环过程中,温度传感器(5)实时监测水冷管道组(3)出口水温,当监测温度低于温度下限值时,上位机监控系统下发控制指令到PLC控制系统,PLC控制系统根据控制指令降低冷却水循环系统(13)工作效率或/和调小流量控制阀(9)的开度,直至温度传感器(5)实时监测的温度攀升为正常值;当监测温度高于温度上限值时,上位机监控系统下发控制指令到PLC控制系统,PLC控制系统根据控制指令提高冷却水循环系统(13)工作效率或/和调大流量控制阀(9)的开度,直至温度传感器(5)实时监测的温度降低为正常值;
8.根据权利要求6或7所述的真空镀膜工艺,其特征在于:还包括离子源辅助控制工艺、镀膜机温控系统辅助控制工艺、真空控制系统辅助控制工艺及工艺气体配气系统辅助控制工艺,其中,离子源辅助控制工艺为上位机监控系统远程通过PLC控制系统控制离子源工作;镀膜机温控系统辅助控制工艺为上位机监控系统远程通过PLC控制系统控制镀膜机温控系统工作;真空控制系统辅助控制工艺为上位机监控系统远程通过PLC控制系统控制镀膜机温控系统控制真空控制系统工作;工艺气体配气系统辅助控制工艺为上位机监控系统远程通过PLC控制系统控制工艺气体配气系统。
...【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备,其特征在于:设置有镀膜机主机(4)、水塔(11)、冷却水联动系统、plc控制系统及与plc控制系统相连接的上位机监控系统,所述plc控制系统连接冷却水联动系统和镀膜机主机(4),冷却水联动系统连接镀膜机主机(4);所述冷却水联动系统设置有温度传感器(5)、出水侧水泵(7)、流量控制阀(9)及进水侧水泵(10)及冷却水循环系统(13),所述镀膜机主机(4)的出水口(6)通过设置有出水侧水泵(7)的水管(12)连接在冷却水循环系统(13)的进水侧,冷却水循环系统(13)的出水侧通过水管(12)连接在水塔(11)的进水口上,水塔(11)的出水口通过设置有进水侧水泵(10)、流量控制阀(9)的水管(12)连接在镀膜机主机(4)的进水口(8)上,所述温度传感器(5)设置在出水口(6)上;所述plc控制系统分别连接温度传感器(5)、出水侧水泵(7)、流量控制阀(9)及进水侧水泵(10)及冷却水循环系统(13)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备,其特征在于:所述镀膜机主机(4)包括镀膜腔,设置在镀膜腔外侧的水冷管道组(3),包覆在水冷管道组(3)外侧的外保护层(2),水冷管道组(3)的一端连接出水口(6),水冷管道组(3)的另一端连接进水口(8)。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜设备还包括离子源、真空控制系统、镀膜机温控系统及工艺气体配气系统,且plc控制系统分别连接离子源、真空控制系统、镀膜机温控系统及工艺气体配气系统。
4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备,其特征在于:在水塔(11)上还连接有供水系统,且供水系统...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢成,王伟,
申请(专利权)人:成都金鸿泰医疗设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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