一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法技术

本发明专利技术公开了一种航空液压泵分离杆磁控溅射TiN方法，分离杆材质为18Cr2Ni4WA，解决了航空液压泵分离杆硬度低、耐磨性能差等问题，本发明专利技术提供的一种磁控溅射方法所获得的TiN涂层具有硬度高、成膜均匀性好和高耐磨的优点，延长了分离杆的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种航空液压泵分离杆的硬度处理方法，特别是一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法。

技术介绍

1、分离杆是航空液压泵中的组成零件之一，材料为18cr2ni4wa，热处理后硬度为(35～48)hrc。在液压泵制动时，分离杆与脱扣连杆分组件中的滚轮(材料为zgcr15，热处理后硬度(60～65)hrc)进行干摩擦，压力为(200～300)n。分离杆为液压泵中的高压受力零件，对分离杆的硬度和耐磨性能要求较高，故需要在分离杆摩擦面获取一层高硬度、高耐磨的涂层。因此，亟需研发一种能够在分离杆摩擦面形成一层薄膜纯度高、致密性及成膜均匀性好、且环境污染小的涂层生产方法，来提升分离杆摩擦面的硬度和耐磨性能。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于，提供一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法。本专利技术可以在分离杆摩擦面形成一层纯度高、致密性及成膜均匀性好的tin涂层，来提升分离杆摩擦面的硬度和耐磨性能，而且生产过程对环境污染小。

2、本专利技术的技术方案：一种航空液压泵分离杆磁控本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法，其特征在于：利用汽油清洗去除航空液压泵分离杆零件表面污渍，进行电解除油、活化处理和超声清洗之后，烘干备用。

3.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法，其特征在于：使用镍箔将航空液压泵分离杆的非工作面包裹好，装入磁控溅射镀膜机炉膛中。

4.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法，其特征在于：辉光清洗的过程为：打开霍尔源电源的电源开关，设置电...

【技术特征摘要】

1.一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法，其特征在于：利用汽油清洗去除航空液压泵分离杆零件表面污渍，进行电解除油、活化处理和超声清洗之后，烘干备用。

3.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法，其特征在于：使用镍箔将航空液压泵分离杆的非工作面包裹好，装入磁控溅射镀膜机炉膛中。

4.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法，其特征在于：辉光清洗的过程为：打开霍尔源电源的电源开关，设置电压485v，占空比30％；打开直流叠加脉冲偏压电源的电源开关，设置脉冲电压1000v，脉冲占空比80％，直流电压0v；氩气送气量为100ml·min-1，挡板角度为19°，炉膛内气压为0.4pa；施镀时间20min。

5.根据权利要求1所述的一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取tin涂层的方法，其特征在于：溅射清洗的过程为：将航空液压泵分离杆定位自转至面朝靶材面；关闭霍尔源电源；调整直流叠加脉冲偏压电源的脉冲电压为800v，脉冲占空比80％，直流电压180v；打开柱靶电源的电源...

【专利技术属性】
技术研发人员：江仁康，邓恒恒，林钰，肖雪，刘志国，杨先，滕海山，
申请(专利权)人：中航力源液压股份有限公司，
类型：发明
国别省市：