下载一种航空液压泵分离杆磁控溅射获取TiN涂层的方法的技术资料

文档序号:40323139

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本发明公开了一种航空液压泵分离杆磁控溅射TiN方法,分离杆材质为18Cr2Ni4WA,解决了航空液压泵分离杆硬度低、耐磨性能差等问题,本发明提供的一种磁控溅射方法所获得的TiN涂层具有硬度高、成膜均匀性好和高耐磨的优点,延长了分离杆的使用寿...
该专利属于中航力源液压股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中航力源液压股份有限公司授权不得商用。

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