下载真空镀膜设备及工艺的技术资料

文档序号:40324973

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本发明公开了真空镀膜设备及工艺,设置有镀膜机主机、水塔、冷却水联动系统、PLC控制系统及与PLC控制系统相连接的上位机监控系统,PLC控制系统连接冷却水联动系统和镀膜机主机,冷却水联动系统连接镀膜机主机,利用冷却水循环系统形成并常温水更冷的...
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