【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及防止气体内流，尤其是指一种防止存储仓气体内流的方法、系统及装置。
技术介绍
1、在现有存储仓stocker中，晶圆这种精密的产品存储有特定要求，有的需要洁净过滤后的空气，有的需要特殊的气体，但通常保存这样的气体是要让存储仓在全密封状态下。然而存储仓在使用中会有取放料的过程，必须开启仓门，这样就无法做到全密封的环境，为防止外部气体内流导致不满足晶圆存储条件。
2、现有的存储仓密封系统中，本就设计了过滤进气装置，补充存储仓内部气体。取放料方式为：执行单元接收到中央处理器的命令后，先执行开启仓门动作；当通过门的感应器时，仓内的机械手开始执行取放料程序；取放料完毕后执行关闭仓门动作；全程只依靠仓内有的进气装置，是否出现气体混入的情况，是没有办法确定的。
3、因此现有的存储密封系统存在以下问题：
4、第一，因无法检测存储仓内气体的气压和仓外的气压，就会存在内部气压低于外部气压，导致外部气体迅速流入仓内。
5、第二，在取放料过程中，存储仓内的机械臂在实现取料和放料动作时，同样会引动气流进入仓内，依靠进气装置难以保证气体的纯净度。一旦出现气体混入，首先无法预知，同时会损坏存储仓内的晶圆，而且内部气体受到污染就必须更换，造成不必要的维护成本。
技术实现思路
1、为解决以上技术问题，本专利技术通过系统内部供气的大小和控制风泵向外排气的方式，可以有效地阻挡外部气体混入导致内部受到污染，极大地减小了开门取放料时带来的不确定因素，提高了内部的稳
2、由此，本专利技术提供了一种防止存储仓气体内流的方法，能够完全避免外部气体混入，该方法包括以下步骤：
3、获取存储仓的仓内气压值和仓外气压值；
4、若所述仓内气压值小于所述仓外气压值，以第一电流控制电气比例阀向仓内供气，增加仓内气压，使所述仓内气压值大于等于所述仓外气压值；
5、开启仓门和风泵；
6、以第二电流控制所述电气比例阀，补充仓内消耗的气量，使仓内气压和仓外气压达到平衡状态。
7、在本专利技术的一个实施例中，所述仓外气压值pa的计算方法为：
8、，其中，p0表示标准大气压，p1表示仓外气压绝压值，h表示待测地点海拔高度，r表示气体分子摩尔数，表示分子的平均平动动能，k表示玻尔兹曼常量。
9、在本专利技术的一个实施例中，所述仓内气压值pb的计算方法为：
10、，其中，p0表示标准大气压，p2表示仓内气压绝压值，h表示待测地点海拔高度，r表示气体分子摩尔数，表示分子的平均平动动能，k表示玻尔兹曼常量。
11、在本专利技术的一个实施例中，补充仓内消耗的气量的具体方法为：
12、将风泵和仓门口区域的中心位置的距离定义为最大送风距离，计算出所述最大送风距离；
13、基于所述最大送风距离，得到消耗的气量；
14、根据所述消耗的气量，得到所需供给气量，基于所需供给气量计算得到电气比例阀的开度值，并根据所述开度值，得到控制电流和控制信号，进而通过所述控制电流和控制信号控制电气比例阀调节供给气量，以补充仓内消耗的气量；
15、其中，所述所需供给气量不小于所述消耗的气量。
16、在本专利技术的一个实施例中，所述消耗的气量q的计算方法为：
17、，
18、其中，表示风泵的最高全压，单位为pa，风泵的全压，表示仓内气体的密度，单位为kg/m3，h表示风泵压力系数， n表示风泵转速，单位为r/min，d表示风泵口的直径，单位为m， lmax表示最大送风距离，单位为m， α、 β、 γ为预设参数。
19、在本专利技术的一个实施例中，所述电气比例阀的开度值l的计算方式为：
20、，其中，q为所述所需供给气量。
21、在本专利技术的一个实施例中，所述第一电流为电气比例阀的最大工作电流，所述第二电流小于所述第一电流。
22、基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种防止存储仓气体内流的系统，包括以下模块：
23、数据获取模块，用于获取存储仓的仓内气压值和仓外气压值；
24、仓内气压增加模块，用于若所述仓内气压值小于所述仓外气压值，以第一电流控制电气比例阀向仓内供气，增加仓内气压，使所述仓内气压值大于等于所述仓外气压值；
25、设备开启模块，用于开启仓门和风泵；
26、维持气压平衡模块，用于以第二电流控制所述电气比例阀，补充仓内消耗的气量，使仓内气压和仓外气压达到平衡状态。
27、本专利技术还提供一种防止存储仓气体内流的装置，包括：所述的防止存储仓气体内流的系统、安装在存储仓内部的第一压力传感器、安装在存储仓外部的第二压力传感器、控制器、与所述控制器连接的驱动板、与所述驱动板连接的电气比例阀以及与所述电气比例阀连接的风泵；其中，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器均与所述控制器连接。
28、在本专利技术的一个实施例中，所述驱动板包括第一驱动板和第二驱动板，所述第一驱动板和所述第二驱动板分别与所述电气比例阀和所述控制器连接。
29、本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
30、本专利技术所述的防止存储仓气体内流的方法、系统及装置在取放料过程中，通过控制向存储仓内部供气的大小和控制风泵向外排气的方式，有效地阻挡了外部气体混入导致内部受到污染，保证了仓内气体的纯净度，极大地减小了开门取放料时带来的不确定因素，避免了不必要的成本损失。
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1.一种防止存储仓气体内流的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述仓外气压值Pa的计算方法为：
3.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述仓内气压值Pb的计算方法为：
4.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：补充仓内消耗的气量的具体方法为：
5.根据权利要求4所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述消耗的气量Q的计算方法为：
6.根据权利要求4所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述电气比例阀的开度值L的计算方式为：
7.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述第一电流为电气比例阀的最大工作电流，所述第二电流小于所述第一电流。
8.一种防止存储仓气体内流的系统，其特征在于，包括以下模块：
9.一种防止存储仓气体内流的装置，其特征在于，包括：如权利要求8所述的防止存储仓气体内流的系统、安装在存储仓内部的第一压力传感器、安装在存储仓外部的第二压力传感器、
10.根据权利要求9所述的防止存储仓气体内流的装置，其特征在于：所述驱动板包括第一驱动板和第二驱动板，所述第一驱动板和所述第二驱动板分别与所述电气比例阀和所述控制器连接。
...【技术特征摘要】
1.一种防止存储仓气体内流的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述仓外气压值pa的计算方法为：
3.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述仓内气压值pb的计算方法为：
4.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：补充仓内消耗的气量的具体方法为：
5.根据权利要求4所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述消耗的气量q的计算方法为：
6.根据权利要求4所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在于：所述电气比例阀的开度值l的计算方式为：
7.根据权利要求1所述的防止存储仓气体内流的方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳成，张红献，金汉坤，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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