OHT天车表面消除静电的装置和系统制造方法及图纸

本技术涉及静电消除技术领域，公开一种OHT天车表面消除静电的装置和系统。装置包括：支撑板，架设在OHT天车轨道上并在OHT天车经过时包裹OHT天车；离子风机模块，固定在支撑板上，包括至少一个离子风机；电荷检测模块，设于OHT天车表面，包括电荷传感器；天车操作控制模块，通过无线方式和电荷检测模块连接，通过无线方式和OHT天车连接并控制OHT天车移动，通过无线方式和离子风机模块连接控制离子风机模块工作。系统包括多个装置和多条OHT天车轨道。本技术可以实时、高精度和高效地对OHT天车消除静电。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及静电消除，尤其是指一种oht天车表面消除静电的装置和系统。

技术介绍

1、在半导体制程中，需要在不同的生产机台之间转移晶圆，以使得晶圆完成不同的制备工序。为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆放入晶圆承载盒中，利用晶圆承载盒承载晶圆，实现晶圆在不同生产机台之间的转移。晶圆承载盒的转移通常采用自动化物料搬运系统(automated material handling system，amhs)来实现。而天车(overhead hoisttransfer，oht)作为amhs系统中的核心载体，能够沿水平布置的轨道运行并通过吊取组件抓取或放置货物。

2、半导体器件在制造、测试、存储、运输及装配过程中，仪器设备、材料及操作者都很容易因摩擦而产生几千甚至上万伏的静电电压。当晶圆片与这些带电体接触时，带电体就会进行放电，可能导致晶圆片的损伤。静电释放(electro-static discharge，esd)对半导体器件尤其是cmos集成电路、mos管和微波器件等静电敏感器件会带来严重危害。

3、现有的oht天车静电消除主要采用更改行走车本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板包括至少一个风机板，所述离子风机穿设并固定在所述风机板上；当所述风机板为多个时，多个所述风机板位于OHT天车轨道的不同侧面上。

3.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于，还包括电源模块，所述电源模块包括：

4.根据权利要求3所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述离子风机模块还包括：

5.根据权利要求4所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括无...

【技术特征摘要】

1.一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板包括至少一个风机板，所述离子风机穿设并固定在所述风机板上；当所述风机板为多个时，多个所述风机板位于oht天车轨道的不同侧面上。

3.根据权利要求1所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于，还包括电源模块，所述电源模块包括：

4.根据权利要求3所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述离子风机模块还包括：

5.根据权利要求4所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括无线传输单元，分别与所述风机控制模块、所述天车操作控制模块连接。

6.根据权利要求5所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板还包括电控板，所述无线取电机构、供电保护机构、风...

【专利技术属性】
技术研发人员：范恒文，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：