【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及amhs系统设计，尤其是指一种天车运行方法和系统。
技术介绍
1、晶圆制造堪称当今世界最为复杂的制造业之一。芯片制造流程之复杂、厂房环境要求之苛刻，都驱动着晶圆厂向着更高的自动化、智能化前进。在这一过程中，如何提高整个工厂的空间利用率、减少机台闲置时间、提升生产效率以及产品良率成为晶圆厂运营最关心的问题，自动物料搬送系统amhs(automatic material handling system)在这一诉求下日益成为晶圆厂建设过程中不可或缺的“生命线。
2、amhs对于晶圆制造环节，特别是高端晶圆制造环节至关重要，影响着产线的稼动率和良率。稼动率方面，amhs通过各个设备之间传输晶圆的载具，大幅度减少生产线作业人力，实现生产效率的提升，充分减少设备闲置时间，提升产线稼动率；在良率方面，amhs可以消除人为操作失误，提升环境洁净度，降低搬运过程中的振动，对提高产品良率有很大的帮助，甚至可以实现制造过程的数据跟踪，对于产品的不良和设备的异常可快速找到源头，及时消除异常并实现根本性改善。
3、amhs系...
【技术保护点】
1.一种天车运行方法，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：还包括：
3.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：当所述俯视传感器对晶圆盒装卸口进行照射时，检测到工艺设备引起的干涉，对所述照射光幕的形状进行调整。
4.根据权利要求3所述的天车运行方法，其特征在于：所述当所述俯视传感器对晶圆盒装卸口进行照射时，检测到工艺设备引起的干涉，对所述照射光幕的形状进行调整，方法包括：
5.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：当所述俯视传感器对晶圆盒装卸口的照射光幕与地址码进行绑定后，...
【技术特征摘要】
1.一种天车运行方法，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：还包括：
3.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：当所述俯视传感器对晶圆盒装卸口进行照射时，检测到工艺设备引起的干涉，对所述照射光幕的形状进行调整。
4.根据权利要求3所述的天车运行方法，其特征在于：所述当所述俯视传感器对晶圆盒装卸口进行照射时，检测到工艺设备引起的干涉，对所述照射光幕的形状进行调整，方法包括：
5.根据权利要求1所述的天车运行方法，其特征在于：当所述俯...
【专利技术属性】
技术研发人员：张红献，范恒文，金汉坤，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。