下载天车运行方法和系统的技术资料

文档序号:40749356

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种天车运行方法和系统,其中,方法包括:S10:天车沿着轨道行走,所述轨道设有多个地址码;S20:所述天车行进到轨道的一地址码处;S30:所述天车的俯视传感器对与该地址码对应的晶圆盒装卸口进行照射,获取所述晶圆盒装卸口的照射光幕;...
该专利属于成川科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成川科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。