【技术实现步骤摘要】
本公开的领域涉及用于通过丘克拉斯基(czochralski)法制备硅锭的拉锭器设备的冷却套装置。
技术介绍
1、其中通过丘克拉斯基法(分批或连续)从硅熔体提拉硅锭的拉锭器设备可使用在通过拉锭器拉锭时护罩锭的冷却套装置。冷却套装置从锭移除热，其有助于在锭内实现期望温度梯度。
2、常规冷却套装置可包含挡板以围绕冷却装置套引导冷却流体。因为套外壳围封挡板以导致有限或无法接取挡板，所以难以且对于一些挡板来说无法将套外壳焊接到挡板。因为外壳没有密封到挡板，所以冷却流体可流过挡板与外壳之间的间隙(即，处于“不密封”条件，其中冷却流体从高压通道经过挡板到达低压通道)。这导致锭冷却减少且降低冷却套装置的效率。需要减少或消除不密封的冷却套装置。
3、本章节希望向读者介绍可与下文描述及/或主张的本公开的各个方面相关的各方面技术。此讨论被认为有助于向读者提供背景信息以便更好理解本公开的各个方面。因此，应理解，这些陈述应鉴于此来解读且不被解读为对现有技术的承认。
技术实现思路
1、本公开的...
【技术保护点】
1.一种用于制造单晶硅锭的拉锭器设备，所述拉锭器设备具有拉轴且包括：
2.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述多个管从所述内壳延伸到所述外壳。
3.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述外壳或内壳不形成所述多个管中的一管的壁。
4.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述外壳或内壳形成所述多个管中的一管的壁。
5.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中相邻管形成在所述管之间延伸的冷却流体返回通道。
6.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述冷却套装置包括从所述外壳径向向外延伸的凸缘，所述凸缘形成入口冷却...
【技术特征摘要】
1.一种用于制造单晶硅锭的拉锭器设备，所述拉锭器设备具有拉轴且包括：
2.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述多个管从所述内壳延伸到所述外壳。
3.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述外壳或内壳不形成所述多个管中的一管的壁。
4.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述外壳或内壳形成所述多个管中的一管的壁。
5.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中相邻管形成在所述管之间延伸的冷却流体返回通道。
6.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述冷却套装置包括从所述外壳径向向外延伸的凸缘，所述凸缘形成入口冷却流体增压室，所述多个管与所述入口冷却流体增压室流体连通。
7.根据权利要求6所述的拉锭器设备，其中所述凸缘形成冷却流体返回增压室且其中相邻管形成在所述管之间延伸的冷却流体返回通道，每一冷却流体返回通道与所述冷却流体返回增压室流体连通。
8.根据权利要求6所述的拉锭器设备，其中所述拉锭器壳体包括下室凸缘，所述冷却套装置的所述凸缘安置于所述下室凸缘上方且连接到所述下室凸缘。
9.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其包括隔热板，所述冷却套装置至少部分位于所述隔热板的径向内。
10.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述管具有长度且具有含最大尺寸的横截面，所述长度与所述最大尺寸的比率至少为5:1。
11.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述多个管包括至少5个管。
12.根据权利要求1所述的拉锭器设备，其中所述多...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·M·迈耶，J·S·凯泽，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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