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具有带冷却流体管的冷却套装置的拉锭器设备制造方法及图纸
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下载具有带冷却流体管的冷却套装置的拉锭器设备的技术资料
文档序号:40312921
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本公开涉及具有带冷却流体管的冷却套装置的拉锭器设备。公开用于通过丘克拉斯基法制备硅锭的拉锭器设备的冷却套装置。所述冷却套装置可包含形成通过其来拉锭的内室的内壳。所述冷却套包含外壳。多个管安置于所述内壳与外壳之间。每一管形成冷却流体通过的冷却...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。
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