【技术实现步骤摘要】
本公开涉及滤色器、图像传感器和具有该图像传感器的电子装置。
技术介绍
1、在显示装置中，滤色器不仅用于颜色表达，还用作光接收设备，例如，互补金属氧化物半导体(cmos)图像传感器。随着显示装置或图像传感器的像素的小型化，已经进行了研究以减小滤色器的厚度。
技术实现思路
1、提供了一种包括无机材料的滤色器。
2、提供了一种包括无机滤色器的图像传感器。
3、提供了一种包括无机滤色器的电子装置。
4、附加方面部分地将在以下描述中阐述，且部分地将通过以下描述而变得清楚明白，或者可以通过实践所呈现的实施例来获知。
5、根据本公开的一个方面，提供了一种滤色器，包括：第一介电层；第一介电层上的第二介电层；以及金属阵列，形成在第一介电层和第二介电层上，该金属阵列包括埋入第一介电层和第二介电层两者中的彼此分开的多个金属元件，其中，多个金属元件中的每个金属元件与第一介电层和第二介电层中的每一个横向接触，并且其中，多个金属元件中的每个金属元件彼此间隔开。
6、第一介电层的第一折射率可以不同于第二介电层的第二折射率。
7、第一介电层的与多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第一厚度d1与该每个金属元件的厚度d的第一比率(d1/d)可以在约0.1至约0.9的范围内，并且第二介电层的与多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第二厚度d2与该每个金属元件的厚度d的第二比率(d2/d)可以在约0.1至约0.9的范围内。
8、在第一介
9、在第二介电层和多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第二等离子体谐振模式中，透射光可以具有50nm或更大的半峰全宽。
10、第一介电层和第二介电层的厚度之和可以在约400nm或更小的范围内。
11、多个金属元件的布置周期可以在约400nm或更小的范围内。
12、滤色器还可以包括第三介电层，并且多个金属元件中的每个金属元件可以布置为与第三介电层横向接触。
13、多个由第一介电层和第二介电层构成的对可以交替地堆叠，以形成分布式布拉格反射层。
14、第一介电层可以包括sio2、sin、tio2、al2o3或hfo2中的一种。
15、第二介电层可以包括sio2、sin、tio2、al2o3或hfo2中的一种。
16、多个金属元件中的每个金属元件可以包括al、au、ag、w、ti、ni或cr中的至少一种。
17、多个金属元件中的每个金属元件可以具有圆形截面、矩形截面、多边形截面、椭圆形截面、十字形截面或环形截面之一。
18、入射光的透射波长带宽可以通过调整以下各项中的至少一项来调整：与第一介电层和第二介电层横向接触的多个金属元件中的每个金属元件的厚度、多个金属元件的布置周期、多个金属元件中的每个金属元件的截面的最大直径、以及多个金属元件中的每个金属元件的侧表面倾斜角度。
19、根据本公开的另一方面，提供了一种图像传感器，包括：光电检测器，包括用于检测光的多个光电检测器单元；以及滤色器，设置在光电检测器上，其中，该滤色器包括：第一介电层；第一介电层上的第二介电层；以及金属阵列，形成在第一介电层和第二介电层上，该金属阵列包括埋入第一介电层和第二介电层两者中的彼此分开的多个金属元件，其中，多个金属元件中的每个金属元件与第一介电层和第二介电层中的每一个横向接触，并且其中，多个金属元件中的每个金属元件彼此间隔开。
20、光电检测器可以包括基于硅的光电二极管。
21、图像传感器还可以包括用于将光聚焦在滤色器上的微透镜阵列。
22、根据本公开的另一方面，提供了一种滤色器，包括：多个介电层，在第一方向上堆叠；以及多个金属元件，设置在多个介电层中，其中，多个金属元件中的每个金属元件在多个介电层中的至少两个介电层中，并且其中，多个金属元件中的每个金属元件在垂直于第一方向的第二方向上彼此间隔开。
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1.一种滤色器，包括：
2.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层的第一折射率不同于所述第二介电层的第二折射率。
3.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第一厚度d1与该金属元件的厚度d的第一比率d1/d在约0.1至约0.9的范围内，并且所述第二介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第二厚度d2与该金属元件的厚度d的第二比率d2/d在约0.1至约0.9的范围内。
4.根据权利要求1所述的滤色器，其中，在所述第一介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第一等离子体谐振模式中，光的透射波段的中心波长被调谐为蓝色、绿色和红色之一的波长。
5.根据权利要求1所述的滤色器，其中，在所述第二介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第二等离子体谐振模式中，透射光具有50nm或更大的半峰全宽。
6.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层和所述第二介电层的厚度之和在约400nm或更小的范围内。
7.根据权利要求1所述
8.根据权利要求1所述的滤色器，还包括：第三介电层，
9.根据权利要求1所述的滤色器，其中，多个由所述第一介电层和所述第二介电层构成的对交替地堆叠以形成分布式布拉格反射层。
10.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层包括SiO2、SiN、TiO2、Al2O3和HfO2中的一种。
11.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第二介电层包括SiO2、SiN、TiO2、Al2O3和HfO2中的一种。
12.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述多个金属元件中的每个金属元件包括Al、Au、Ag、W、Ti、Ni和Cr中的至少一种。
13.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述多个金属元件中的每个金属元件具有圆形截面、矩形截面、多边形截面、椭圆形截面、十字形截面和环形截面之一。
14.根据权利要求1所述的滤色器，其中，入射光的透射波长带宽基于以下各项中的至少一项来调整：所述多个金属元件中的每个金属元件的厚度、所述多个金属元件的布置周期、所述多个金属元件中的每个金属元件的截面的最大直径、或所述多个金属元件中的每个金属元件的侧表面倾斜角度。
15.一种图像传感器，包括：
16.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述第一介电层的第一折射率不同于所述第二介电层的第二折射率。
17.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述第一介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第一厚度d1与该金属元件的厚度d的第一比率d1/d在约0.1至约0.9的范围内，并且所述第二介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第二厚度d2与该金属元件的厚度d的第二比率d2/d在约0.1至约0.9的范围内。
18.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，在所述第一介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第一等离子体谐振模式中，光的透射波段的中心波长被调谐为蓝色、绿色和红色之一的波长。
19.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，在所述第二介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第二等离子体谐振模式中，透射光具有约50nm或更大的半峰全宽。
20.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述第一介电层和所述第二介电层的厚度之和在约400nm或更小的范围内。
21.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述多个金属元件的布置周期在约400nm或更小的范围内。
22.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述第一介电层包括SiO2、SiN、TiO2、Al2O3和HfO2中的一种。
23.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述第二介电层包括SiO2、SiN、TiO2、Al2O3和HfO2中的一种。
24.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述多个金属元件中的每个金属元件包括Al、Au、Ag、W、Ti、Ni和Cr中的至少一种。
25.根据权利要求15所述的图像传感器，其中，所述光电检测器包括基于硅的光电二极管。
26.根据权利要求15所述的图像传感器，还包括：用于将光聚焦在所述滤色器上的微透镜阵列。
27.一种电子装置，包括根据权利要求15所述的图像传感器。
28.根据权利要求27所述的电子装置，包括移动电话...
【技术特征摘要】
1.一种滤色器，包括：
2.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层的第一折射率不同于所述第二介电层的第二折射率。
3.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第一厚度d1与该金属元件的厚度d的第一比率d1/d在约0.1至约0.9的范围内，并且所述第二介电层的与所述多个金属元件中的每个金属元件横向接触的第二厚度d2与该金属元件的厚度d的第二比率d2/d在约0.1至约0.9的范围内。
4.根据权利要求1所述的滤色器，其中，在所述第一介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第一等离子体谐振模式中，光的透射波段的中心波长被调谐为蓝色、绿色和红色之一的波长。
5.根据权利要求1所述的滤色器，其中，在所述第二介电层与所述多个金属元件中的每个金属元件之间发生的第二等离子体谐振模式中，透射光具有50nm或更大的半峰全宽。
6.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层和所述第二介电层的厚度之和在约400nm或更小的范围内。
7.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述多个金属元件的布置周期在约400nm或更小的范围内。
8.根据权利要求1所述的滤色器，还包括：第三介电层，
9.根据权利要求1所述的滤色器，其中，多个由所述第一介电层和所述第二介电层构成的对交替地堆叠以形成分布式布拉格反射层。
10.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第一介电层包括sio2、sin、tio2、al2o3和hfo2中的一种。
11.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述第二介电层包括sio2、sin、tio2、al2o3和hfo2中的一种。
12.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述多个金属元件中的每个金属元件包括al、au、ag、w、ti、ni和cr中的至少一种。
13.根据权利要求1所述的滤色器，其中，所述多个金属元件中的每个金属元件具有圆形截面、矩形截面、多边形截面、椭圆形截面、十字形截面和环形截面之一。
14.根据权利要求1所述的滤色器，其中，入射光的透射波长带宽基于以下各项中的至少一项来调整：所述多个金属元件中的每个金属元件的厚度、所述多个金属元件的布置周期、所述多个金属元件中的每个金属元件的截面的最大直径、或所述多个金属元件中的每个金属...
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩埈，金孝哲，文晙赫，郑暎澔，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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