【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造，具体涉及一种辅助装配装置及离子注入设备。
技术介绍
1、在高能离子注入机的装配过程中，每次高能离子注入机更换法兰和套管(flange&bushing)时，先将法兰安装于套管上，再将固定好的法兰和套管一起安装到机台上，法兰和套管，以及法兰、套管和机台的安装及对准均靠其上设置的对准脚(pin)来对准安装，但是对准脚一般只有1cm，比较难对准安装。将法兰、套管安装于机台时，由于机台和法兰、套管整体比较重再加上门板空间不够大的原因，每次都需要多名工程师一起完成对法兰、套管和机台的安装，较为麻烦和费力。
2、在安装冷却管(cooling tube)时，也需要通过套管上的对准脚对准冷却管上相应的对准孔实现位置的对准，然后再固定，由于冷却管上有石墨部件，紧靠对准脚来固定和安装冷却管，不仅安装不便捷，还有可能磕碰到石墨部件使其损坏，进而降低了高能离子注入机的装配效率和装配质量。
3、因此，如何便于法兰、套管和冷却管的安装以提高装配效率是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种辅助装配装置及离子注入设备，以便于法兰、套管和冷却管的安装，提高高能离子注入机的装配效率和装配质量。
2、本申请提供的辅助装配装置，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管
3、可选地，所述导引固定组件的数量为2个，两个所述导引杆相互平行。
4、可选地，所述导引固定组件的数量为3个或以上。
5、可选地，若干所述导引杆相互平行，任意一个所述导引杆与其相邻导引杆之间距离相等。
6、可选地，所述导引杆的外侧设置有若干插孔。
7、可选地，所述导引杆的第一端设置有第一螺纹部，所述机台上设置有若干螺孔，所述第一螺纹部的外螺纹与所述螺孔的内螺纹相匹配。
8、可选地，所述锁紧机构包括第一螺母，所述第一螺母的内螺纹与所述第一螺纹部的外螺纹相匹配。
9、可选地，所述导引杆的第二端设置有第二螺纹部，所述锁紧机构还包括第二螺母，所述第二螺母的内螺纹与所述第二螺纹部的外螺纹相匹配。
10、可选地，所述锁紧机构还包括第一垫片和第二垫片，所述第一垫片与所述第一螺母连接且套设于所述第一螺纹部的外侧，所述第二垫片与所述第二螺母的端面连接且套设于所述第二螺纹部的外侧。
11、本申请的离子注入设备包括所述辅助装配装置。
12、本申请提供的辅助装配装置及离子注入设备的有益效果在于：
13、本申请的辅助装配装置包括若干导引杆组件，每个导引杆组件均包括导引杆和锁紧机构，通过导引杆插入法兰、套管的内部，便于法兰和套管的固定安装，然后再通过导引杆插入冷却管的内部，便于导引冷却管与法兰和套管的匹配连接，最后通过锁紧机构锁紧固定冷却管，节省了对准脚的对准操作，仅需单人即可完成法兰、套管和冷却管的安装，大大降低了法兰、套管和冷却管的安装难度，进而提高了高能离子注入机的装配效率和装配质量。
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1.一种辅助装配装置，其特征在于，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管。
2.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量为2个，两个所述导引杆相互平行。
3.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量至少为3个。
4.如权利要求3所述的辅助装配装置，其特征在于，若干所述导引杆相互平行，任意一个所述导引杆与其相邻导引杆之间距离相等。
5.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的外侧设置有若干插孔。
6.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的第一端设置有第一螺纹部，所述机台上设置有若干螺孔，所述第一螺纹部的外螺纹与所述螺孔的内螺纹相匹配。
7.如权利要求6所述的辅助装配装置，其特征在于，所述锁紧机构包括第一螺母，所述第一螺母的内螺纹与所述第一螺纹部的外螺纹相匹配
8.如权利要求7所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的第二端设置有第二螺纹部，所述锁紧机构还包括第二螺母，所述第二螺母的内螺纹与所述第二螺纹部的外螺纹相匹配。
9.如权利要求8所述的辅助装配装置，其特征在于，所述锁紧机构还包括第一垫片和第二垫片，所述第一垫片与所述第一螺母连接且套设于所述第一螺纹部的外侧，所述第二垫片与所述第二螺母的端面连接且套设于所述第二螺纹部的外侧。
10.一种离子注入设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的辅助装配装置。
...【技术特征摘要】
1.一种辅助装配装置，其特征在于，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管。
2.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量为2个，两个所述导引杆相互平行。
3.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量至少为3个。
4.如权利要求3所述的辅助装配装置，其特征在于，若干所述导引杆相互平行，任意一个所述导引杆与其相邻导引杆之间距离相等。
5.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的外侧设置有若干插孔。
6.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪积康，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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