【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到光通信及led电子行业领域，特别是应用在光器件to激光器封装制造过程内，做密封性检测的一种to激光器微漏检测系统。
技术介绍
1、随着光通信及led电子行业的迅猛发展，现在对光器件to封装的激光器的需求量越来越多。芯片及元器件的对环境有很高要求，这就要求to激光器管帽封焊后的密封性有很高的要求，to产品封焊完管帽后，要求做密封性检测，也是生产过程中的重点检测工序，用来挑选出不符合密封性要求的产品。to激光器日生产量都是以万为单位生产，生产量大，单只检测生产效率低，多只检测时，拿取次数较多，耗费较多人力成本。
技术实现思路
1、本技术为解决上述现有的to激光器封帽密封性检测需求，实现高效率的微漏检测，能够充分满足大批量生产工艺的需求,提供一种to激光器微漏检测系统。
2、本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种to激光器微漏检测系统，包括检测夹具、压力缸、氦质谱检漏仪，所述检测夹具包括多个相同的器件盘、一个手提杆，所述器件盘包括多个可上下叠加的盘体，所述盘体包括盘体上开设的多个用于放置to激光器的开孔、用于叠加的凸台和限位槽，所述开孔位于凸台上，包括避空孔、定位孔，所述避空孔用于放置to激光器管脚，所述定位孔位于避空孔上方，其直径与to激光器管座相匹配，所述凸台下方开设限位槽，所述限位槽横截面形状尺寸与凸台匹配，所述手提杆包括导杆及其下端的限位杆，所述导杆用于从叠加后的器件盘中心开孔中穿过，所述限位杆直径大于避空孔；所述压力缸用于将to激光器压氦；所述氦质
3、所述压力缸包括压力缸体、压力缸盖、压力表、进气阀、排气阀、锁紧螺杆，所述压力缸盖通过多个锁紧螺杆连接压力缸体，所述压力缸盖上设置压力表、进气阀、排气阀。
4、所述氦质谱检漏仪包括检测缸、检测缸盖，合格产品的标准是0.5×10-9pa·m³/s。
5、所述器件盘为圆形，凸台高度2mm，限位槽深度0.8mm。
6、所述导杆长度180mm，限位杆长度15mm。
7、本技术的技术效果和优点：
8、1、通过定位孔和避空孔将to均匀分布在检测夹具上；
9、2、采用手提杆配合多层叠加方案，方便生产周转。
10、3、快速检测密封性，筛选不良品。
11、综上所述，本技术根据产品的特点及检测需求设计，产品操作方便，能够保证to激光器不损坏，周转方便，提高检测效率，使制造成本更低，原来方法检测50件需要30分钟时间，采用本系统后，一次性检测50件，只要1分钟。……
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1.一种TO激光器微漏检测系统，其特征在于：包括检测夹具、压力缸、氦质谱检漏仪，所述检测夹具包括多个相同的器件盘、一个手提杆，所述器件盘包括多个可上下叠加的盘体，所述盘体包括盘体上开设的多个用于放置TO激光器的开孔、用于叠加的凸台和限位槽，所述开孔位于凸台上，包括避空孔、定位孔，所述避空孔用于放置TO激光器管脚，所述定位孔位于避空孔上方，其直径与TO激光器管座相匹配，所述凸台下方开设限位槽，所述限位槽横截面形状尺寸与凸台匹配，所述手提杆包括导杆及其下端的限位杆，所述导杆用于从叠加后的器件盘中心开孔中穿过，所述限位杆直径大于避空孔；所述压力缸用于将TO激光器压氦；所述氦质谱检漏仪用于对压氦完成的TO激光器微漏检测。
2.根据权利要求1所述的一种TO激光器微漏检测系统，其特征在于：所述压力缸包括压力缸体、压力缸盖、压力表、进气阀、排气阀、锁紧螺杆，所述压力缸盖通过多个锁紧螺杆连接压力缸体，所述压力缸盖上设置压力表、进气阀、排气阀。
3.根据权利要求1所述的一种TO激光器微漏检测系统，其特征在于：所述氦质谱检漏仪包括检测缸、检测缸盖，合格产品的标准是0.5×10
4.根据权利要求1所述的一种TO激光器微漏检测系统，其特征在于：所述器件盘为圆形，凸台高度2mm，限位槽深度0.8mm。
5.根据权利要求1所述的一种TO激光器微漏检测系统，其特征在于：所述导杆长度180mm，限位杆长度15mm。
...【技术特征摘要】
1.一种to激光器微漏检测系统，其特征在于：包括检测夹具、压力缸、氦质谱检漏仪，所述检测夹具包括多个相同的器件盘、一个手提杆，所述器件盘包括多个可上下叠加的盘体，所述盘体包括盘体上开设的多个用于放置to激光器的开孔、用于叠加的凸台和限位槽，所述开孔位于凸台上，包括避空孔、定位孔，所述避空孔用于放置to激光器管脚，所述定位孔位于避空孔上方，其直径与to激光器管座相匹配，所述凸台下方开设限位槽，所述限位槽横截面形状尺寸与凸台匹配，所述手提杆包括导杆及其下端的限位杆，所述导杆用于从叠加后的器件盘中心开孔中穿过，所述限位杆直径大于避空孔；所述压力缸用于将to激光器压氦；所述氦质谱检漏仪用于对压氦完成的to激光器微漏检测。
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【专利技术属性】
技术研发人员：洪振海，时伟，丁德强，朱春华，
申请(专利权)人：大连藏龙光电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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