一种单晶炉用防护装置制造方法及图纸

技术编号:40290283 阅读:7 留言:0更新日期:2024-02-07 20:41
本申请提供一种单晶炉用防护装置,包括沿炉体周缘配置的环体,所述环体靠近所述炉体一侧配置有凹槽,所述凹槽沿所述环体的高度方向相对而置,且所述凹槽分置于所述炉体与炉盖接触面的两侧。本申请一种单晶炉用防护装置,本结构简单且易于安装,便于调节,配合强度高且安全效果好,可对炉体周缘任意可能喷液溢出的地方进行防护,有效控制溢出硅液沿特定环道进行流动,最大限度地保护操作人员的人身安全。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于直拉单晶硅棒用单晶炉,尤其是涉及一种单晶炉用防护装置


技术介绍

1、单晶炉是拉制单晶硅棒所用的装置,其安全性直接影响着硅棒质量。单晶炉的炉盖与炉体盖合处是单晶炉中靠近石英坩埚液面最近的缝隙。一旦单晶炉的炉内出现气压异常,就会有爆炸的风险;此时,炉内气压会瞬间扩张,并首先将炉盖顶开泄压,迫使炉盖与炉体分开,则炉体中石英坩埚内的热硅溶液会通过炉盖与炉体之间的配合缝隙处喷流溢出,而硅溶液温度较高,很容易烫伤员工,风险极大。


技术实现思路

1、本申请提供一种单晶炉用防护装置,解决了现有技术中如何在炉盖与炉体处设置一个防护装置,防止单晶炉异常发生爆炸时,炉体内的热硅溶液喷流时烫伤人员的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题,本申请采用的技术方案是:

3、一种单晶炉用防护装置,包括沿炉体周缘配置的环体,所述环体靠近所述炉体一侧配置有凹槽,所述凹槽沿所述环体的高度方向相对而置,且所述凹槽分置于所述炉体与炉盖接触面的两侧。

4、进一步的,所述环体沿所述炉体的高度方向绕置于所述炉体外侧并半包裹于所述炉体配置;所述环体首尾可拆卸连接,且其连接处避开置于所述炉体上的悬臂柱所在直径段的另一端。

5、进一步的,所述凹槽被构造为u型结构,位于所述环体的上端面和下端面,并沿所述环体周缘配置。

6、进一步的,所述凹槽被配置于所述炉体外壁的外侧,且其至所述炉体外壁的横向距离为20-50mm。

7、进一步的,在所述环体远离所述凹槽的一侧还配设有翼边,所述翼边沿所述环体的周缘向外延伸悬置,并分置于所述环体的上段部和下段部。

8、进一步的,在所述翼边之间还设有若干支杆,所述支杆沿所述环体的高度方向竖向设置,并分别与上下两个所述翼边连接。

9、进一步的,还包括固设于所述炉体外壁面上的固定架,所述固定架垂直于所述炉体并朝靠近所述环体一侧设置;所述固定架的悬空端贯穿所述环体的厚度并将所述环体卡固于所述固定架上的卡槽中。

10、进一步的,每个所述炉体上至少配置有两个所述固定架,所述固定架被分置于所述环体长度的两端;

11、每个所述固定架的悬空端还配置有螺帽,调整所述螺帽与所述固定架的端部旋紧或松开,以调整所述环体与所述卡槽的配合。

12、进一步的,在所述环体与每个所述固定架连接的位置处,均构造有若干互通设置的调节孔,所有所述调节孔形成一个可沿所述环体高度和/或周缘调节的互连通道。

13、进一步的,置于所述环体端部的所述互连通道的结构相对于所述环体端部的连接线对称设置。

14、采用本申请设计的一种单晶炉用防护装置,本结构简单且易于安装,便于调节,配合强度高且安全效果好,可对炉体周缘任意可能喷液溢出的地方进行防护,有效控制溢出硅液沿特定环道进行流动,最大限度地保护操作人员的人身安全。

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【技术保护点】

1.一种单晶炉用防护装置,其特征在于,包括沿炉体周缘配置的环体,所述环体靠近所述炉体一侧配置有凹槽,所述凹槽沿所述环体的高度方向相对而置,且所述凹槽分置于所述炉体与炉盖接触面的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述环体沿所述炉体的高度方向绕置于所述炉体外侧并半包裹于所述炉体配置;所述环体首尾可拆卸连接,且其连接处避开置于所述炉体上的悬臂柱所在直径段的另一端。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述凹槽被构造为U型结构,位于所述环体的上端面和下端面,并沿所述环体周缘配置。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述凹槽被配置于所述炉体外壁的外侧,且其至所述炉体外壁的横向距离为20-50mm。

5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,在所述环体远离所述凹槽的一侧还配设有翼边,所述翼边沿所述环体的周缘向外延伸悬置,并分置于所述环体的上段部和下段部。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,在所述翼边之间还设有若干支杆,所述支杆沿所述环体的高度方向竖向设置,并分别与上下两个所述翼边连接。

7.根据权利要求1-2、4、6任一项所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,还包括固设于所述炉体外壁面上的固定架,所述固定架垂直于所述炉体并朝靠近所述环体一侧设置;所述固定架的悬空端贯穿所述环体的厚度并将所述环体卡固于所述固定架上的卡槽中。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,每个所述炉体上至少配置有两个所述固定架,所述固定架被分置于所述环体长度的两端;

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,在所述环体与每个所述固定架连接的位置处,均构造有若干互通设置的调节孔,所有所述调节孔形成一个可沿所述环体高度和/或周缘调节的互连通道。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,置于所述环体端部的所述互连通道的结构相对于所述环体端部的连接线对称设置。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶炉用防护装置,其特征在于,包括沿炉体周缘配置的环体,所述环体靠近所述炉体一侧配置有凹槽,所述凹槽沿所述环体的高度方向相对而置,且所述凹槽分置于所述炉体与炉盖接触面的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述环体沿所述炉体的高度方向绕置于所述炉体外侧并半包裹于所述炉体配置;所述环体首尾可拆卸连接,且其连接处避开置于所述炉体上的悬臂柱所在直径段的另一端。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述凹槽被构造为u型结构,位于所述环体的上端面和下端面,并沿所述环体周缘配置。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,所述凹槽被配置于所述炉体外壁的外侧,且其至所述炉体外壁的横向距离为20-50mm。

5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种单晶炉用防护装置,其特征在于,在所述环体远离所述凹槽的一侧还配设有翼边,所述翼边沿所述环体的周缘向外延伸悬置,并分置于所述环体的上段部和下段部。

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【专利技术属性】
技术研发人员:任立铭李鹏飞侯志刚贾振
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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