【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氧化亚硅生产设备相关，特别是涉及冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备。
技术介绍
1、国内生产氧化亚硅的主流方法是气相沉积法，将单质硅和二氧化硅近同摩尔比例混合后研磨成微米量级的粉末，再在真空环境下加热到1000℃以上的温度进行歧化反应，并形成氧化亚硅以蒸气的形式溢出，在压力扩散的作用下被带温度较低的地方并被冷凝成为氧化亚硅固体。
2、其中，高温室内产生的氧化亚硅蒸汽在通过过渡室后，会优先与冷头靠近过渡室一侧接触并沉积，从而导致冷头靠近过渡室一侧沉积有大量产物，而另一侧沉积产物较少，即沉积不均匀，影响沉积效率。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对目前冷头两侧沉积不均匀，影响沉积效率问题，提供一种沉积均匀且沉积效率较高的冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备。
2、一种冷凝收集结构，包括液循环组件、支架以及驱动组件；所述液循环组件包括进出接头以及液循环通路，所述液循环通路包括依次连通的内管、收集件以及外管，所述内管与所述外管同心设置；所述进出接头与所述外管转动连接，所述内管延伸至所述进出接头内，所述进出接头开设有分别与所述内管以及所述外管对应连通的内管口以及外管口，其中一者用于进液，另一者用于出液；所述液循环组件以所述内管的中轴线为转动中心转动连接于所述支架，所述驱动组件用于驱动所述液循环组件转动。
3、在其中一个实施例中，所述液循环组件还包括接头法兰，所述进出接头与所述接头法兰的一端固定，所述外管与所述接头法兰的另一端转动连接，以通过所述接头法
4、在其中一个实施例中，所述进出接头沿所述内管轴线方向开设有连接腔、沿所述内管径向方向开设有所述内管口以及所述外管口，其中，所述外管口与所述连接腔连通；所述内管口位于所述连接腔远离所述收集件的一侧，所述内管贯穿所述连接腔至所述内管口内。
5、在其中一个实施例中，所述驱动组件包括电机以及传动单元，所述电机相对于所述支架固定，所述电机的输出轴以及所述外管通过所述传动单元传动连接。
6、在其中一个实施例中，所述传动单元包括分别与所述电机的输出轴以及所述外管固定的两个链轮，以及传动连接两个所述链轮的链条，与所述外管固定的链轮位于所述进出接头与所述支架之间。
7、在其中一个实施例中，所述收集件呈桶状，且所述收集件内部具有同样呈桶状的循环腔，所述内管、所述循环腔以及所述外管依次连通，所述内管以及所述外管沿所述收集件的中轴线同心设置。
8、在其中一个实施例中，所述外管包括外主管和外支管，所述内管以及所述外主管沿所述收集件的中轴线同心设置，两者均穿过所述收集件的开口后延伸至所述收集件的内底壁位置，其中，所述内管的端部与内底壁位置的所述循环腔连通，所述外主管的端部与所述收集件的内底壁固定，所述外主管的端部还与所述内管转动连接，以阻隔所述外主管以及内底壁位置的所述循环腔，所述外支管一端与所述外主管固定且连通，另一端与所述收集件顶部位置固定且与所述循环腔连通。
9、在其中一个实施例中，所述内管用于进液，所述外管用于出液。
10、本申请第二方面提供一种氧化亚硅生产设备，包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，所述低温室包括低温炉体、低温炉盖以及上述的冷凝收集结构，所述支架相对于所述低温炉盖固定，所述外管与所述低温炉盖转动连接，所述收集件位于所述低温炉体内。
11、在其中一个实施例中，所述低温室还包括贯穿并固定于所述低温炉盖的磁流体密封件，所述磁流体密封件与所述外管转动连接。
12、上述冷凝收集结构，通过驱动组件驱动液循环组件以内管的中轴线为转动中心转动，能够保证氧化亚硅固体在收集件上沉积均匀，此外，通过将同心设置的内管以及外管分别用于进、出液，并配合与外管转动连接的进出接头，以使得液循环组件转动时，其进液端以及出液端（即内管以及外管用于进、出液的端部）的位置不发生改变，从而能够在进出接头静止、避免进出液路转动干涉的前提下，同时完成液循环组件的转动以及进、出液。
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1.一种冷凝收集结构，其特征在于，包括液循环组件（10）、支架（20）以及驱动组件（30）；
2.根据权利要求1所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述液循环组件（10）还包括接头法兰（15），所述进出接头（14）与所述接头法兰（15）的一端固定，所述外管（13）与所述接头法兰（15）的另一端转动连接，以通过所述接头法兰（15）连通所述外管（13）以及所述外管口（142）；
3.根据权利要求2所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述进出接头（14）沿所述内管（11）轴线方向开设有连接腔（143）、沿所述内管（11）径向方向开设有所述内管口（141）以及所述外管口（142），其中，所述外管口（142）与所述连接腔（143）连通；所述内管口（141）位于所述连接腔（143）远离所述收集件（12）的一侧，所述内管（11）贯穿所述连接腔（143）至所述内管口（141）内。
4.根据权利要求1所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述驱动组件（30）包括电机以及传动单元，所述电机相对于所述支架（20）固定，所述电机的输出轴以及所述外管（13）通过所述传动单元传动连接。
5.根据权利要求4所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述传动单元包括分别与所述电机的输出轴以及所述外管（13）固定的两个链轮（31），以及传动连接两个所述链轮（31）的链条，与所述外管（13）固定的链轮（31）位于所述进出接头（14）与所述支架（20）之间。
6.根据权利要求1所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述收集件（12）呈桶状，且所述收集件（12）内部具有同样呈桶状的循环腔（121），所述内管（11）、所述循环腔（121）以及所述外管（13）依次连通，所述内管（11）以及所述外管（13）沿所述收集件（12）的中轴线同心设置。
7.根据权利要求6所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述外管（13）包括外主管（131）和外支管（132），所述内管（11）以及所述外主管（131）沿所述收集件（12）的中轴线同心设置，两者均穿过所述收集件（12）的开口后延伸至所述收集件（12）的内底壁位置，其中，
8.根据权利要求6或权利要求7所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述内管（11）用于进液，所述外管（13）用于出液。
9.一种氧化亚硅生产设备，其特征在于，包括依次连通的高温室（100）、过渡室（200）以及低温室（300），所述低温室（300）包括低温炉体（310）、低温炉盖（320）以及如权利要求1~权利要求8中任意一项所述的冷凝收集结构，所述支架（20）相对于所述低温炉盖（320）固定，所述外管（13）与所述低温炉盖（320）转动连接，所述收集件（12）位于所述低温炉体（310）内。
10.根据权利要求9所述的氧化亚硅生产设备，其特征在于，所述低温室（300）还包括贯穿并固定于所述低温炉盖（320）的磁流体密封件（330），所述磁流体密封件（330）与所述外管（13）转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种冷凝收集结构，其特征在于，包括液循环组件（10）、支架（20）以及驱动组件（30）；
2.根据权利要求1所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述液循环组件（10）还包括接头法兰（15），所述进出接头（14）与所述接头法兰（15）的一端固定，所述外管（13）与所述接头法兰（15）的另一端转动连接，以通过所述接头法兰（15）连通所述外管（13）以及所述外管口（142）；
3.根据权利要求2所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述进出接头（14）沿所述内管（11）轴线方向开设有连接腔（143）、沿所述内管（11）径向方向开设有所述内管口（141）以及所述外管口（142），其中，所述外管口（142）与所述连接腔（143）连通；所述内管口（141）位于所述连接腔（143）远离所述收集件（12）的一侧，所述内管（11）贯穿所述连接腔（143）至所述内管口（141）内。
4.根据权利要求1所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述驱动组件（30）包括电机以及传动单元，所述电机相对于所述支架（20）固定，所述电机的输出轴以及所述外管（13）通过所述传动单元传动连接。
5.根据权利要求4所述的冷凝收集结构，其特征在于，所述传动单元包括分别与所述电机的输出轴以及所述外管（13）固定的两个链轮（31），以及传动连接两个所述链轮（31）的链条，与所述外管（13）固定的链轮（31）位于所述进出接头（14）与所述支架（20）之间。
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【专利技术属性】
技术研发人员：高光平，李迎春，王岳琴，倪狄，何川，
申请(专利权)人：杭州嘉悦智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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