石墨化炉制造技术

本发明专利技术涉及一种石墨化炉，采用了若干个石墨化装置；在若干个石墨化装置之间共同连接至真空装置；其中任意一个石墨化装置中设置坩埚装置；在坩埚装置中，沿着预设轴线设置所述平压装置；在真空装置创造的真空环境中，平压装置向放置在坩埚装置中的石墨，碳化

【技术实现步骤摘要】
石墨化炉


[0001]本专利技术的实施例涉及一种石墨烯散热膜制备装置，特别涉及一种石墨化炉
。

技术介绍

[0002]在现有技术中，石墨烯散热膜用于电子产品的散热，现在针对于，石墨烯散热膜的应用
。
平压
、
碳化
、
石墨化为石墨烯散热膜制备中关键烧结工艺，目前三种工艺需要配置三种设备进行材料处理，导致石墨烯散热膜的成本高
、
生产效率较低
、
需要消耗大量能源，间接的影响了石墨烯散热膜的大规模使用，是石墨烯散热膜的一个痛点，以此解决工艺衔接问题，提升生产效率
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的具体实施方式的目的在于提供一种平压
、
碳化
、
石墨化三合一的石墨化炉
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术的具体实施方式设计了一种石墨化炉，包括：若干个石墨化装置；真空装置，在若干个所述石墨化装置之间共同连接至所述真空装置；坩埚装置，其中任意一个所述石墨化装置中设置所述坩埚装置；平压装置，在所述坩埚装置中，沿着预设轴线设置所述平压装置；在所述真空装置创造的真空环境中，所述平压装置向放置在所述坩埚装置中的石墨，碳化
、
石墨化的过程中，进行平压
。
[0005]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，将所述坩埚装置沿着所述预设轴线设置在所述真空装置中；所述平压装置沿着所述预设轴线分别设置在所述坩埚装置的上面和所述坩埚装置的下面
。
[0006]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，每一个所述的石墨化装置均固定在设备支架上
。
[0007]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的石墨化装置，还包括：腔体，在所述石墨化装置中设置所述腔体；所述的坩埚装置设置在所述的腔体中；上封头，在所述腔体的上方固定所述上封头；其中一个所述平压装置的一端穿过所述上封头伸入到所述坩埚装置的一侧中；第一波纹管，在其中一个所述平压装置的外侧设置所述第一波纹管；所述第一波纹管的一端固定在所述上封头上；所述第一波纹管的一端固定在其中一个所述平压装置的外侧；连接法兰盘，在所述腔体的下方固定所述连接法兰盘的一侧；所述连接法兰盘的另一侧固定在设备支架上；坩埚支撑板，在所述坩埚装置与所述连接法兰盘之间固定所述坩埚支撑板；其中一个所述平压装置的一端穿过所述连接法兰盘
、
所述坩埚支撑板，设备支架，伸入到所述坩埚装置的另一侧中；
第二波纹管，在其中另一个所述平压装置的外侧设置所述第二波纹管；所述第二波纹管的一端固定在所述连接法兰盘上；所述第二波纹管的一端固定在其中另一个所述平压装置的外侧
。
[0008]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的真空装置与若干个所述的石墨化装置通过管道相连接
。
[0009]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的真空装置，还包括：真空泵，在所述的真空装置中设置所述真空泵；真空波纹管，所述真空泵通过管道连接至若干个所述的真空波纹管的一侧上的
T
型连管；真空接管，在所述的真空波纹管的另一侧上连接所述真空接管的一端；所述真空接管的另一端连接至真空装置的腔体上，对所述腔体进行抽取真空
。
[0010]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的坩埚装置，还包括：石墨坩埚，所述石墨化装置中的腔体内设置所述石墨坩埚；上保温层，在所述石墨坩埚的上方固定所述上保温层；底部保温层，在所述石墨坩埚的下方固定所述底部保温层；侧面保温层，在所述石墨坩埚的周围固定所述侧面保温层；感应线圈，在所述的侧面保温层的外侧固定所述感应线圈；所述平压装置贯穿于设置在所述石墨坩埚
、
所述上保温层
、
所述底部保温层的通孔中；绝缘砖，在所述感应线圈的外侧，环绕着所述感应线圈，纵向敷设所述绝缘砖；胶木支撑杆，在所述的绝缘砖的外侧，纵向在所述绝缘砖上用螺栓固定所述胶木支撑杆
。
[0011]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的上保温层，还包括：石墨毡支架，在所述的石墨坩埚的上方固定所述石墨毡支架；石墨毡，在所述的石墨毡支架上固定所述石墨毡；所述底部保温层，还包括：底部碳毡，在所述的石墨坩埚的下方固定所述底部碳毡；耐火砖，在所述的底部碳毡的下部固定所述耐火砖；炉底支撑架，在所述耐火砖的下方固定所述炉底支撑架；下盖，在所述炉底支撑架的下方固定所述下盖
。
[0012]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的平压装置，还包括：上压头结构，在所述的坩埚装置的上方的中心位置贯穿入所述的上压头结构；所述的上压头结构向下平压；下压头结构，在所述的坩埚装置的下方的中心位置贯穿入所述的下压头结构；所述的下压头结构向上平压；所述的上压头结构与所述下压头结构沿着横向中心线对称设置；所述上压头结构与所述下压头结构镜像相同
。
[0013]进一步，在本专利技术中的石墨化炉，所述的上压头结构与所述下压头结构，均包括：压头，在所述坩埚装置的纵向中轴线位置贯穿入压头；
压头杆，在所述压头杆的一端螺纹连接固定所述压头；压头盖，在所述压头杆的一端用螺栓固定所述的压头盖
。
[0014]本专利技术的具体实施方式同现有技术相比，采用了若干个石墨化装置；在若干个石墨化装置之间共同连接至真空装置；其中任意一个石墨化装置中设置坩埚装置；在坩埚装置中，沿着预设轴线设置所述平压装置；在真空装置创造的真空环境中，平压装置向放置在坩埚装置中的石墨，碳化
、
石墨化的过程中，进行平压；本专利技术中的石墨化炉，将真空热压炉的结构，与感应式石墨化炉相结合，在对新材料进行石墨化的同时，提供一定的压力，促进新材料的石墨化进程，降低石墨化所需要的反应温度
。
以外还能够在完成石墨化工艺后，直接进行平压，形成最终的石墨烯散热膜
。
与现有技术中的石墨烯散热膜制备设备相比较，具有更大的优势
。 能够实现多工艺融合，做到减少设备用地，减少生产时间，提高生产效率，提高产品良品率
。
通过仿真模拟，进行温场设计，提高设备腔体内的温度均匀性
。
一拖多的设计，同一套真空系统，对应两台腔体
。
在不影响生产效率的情况下，降低了设备成本
。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的主视方向的结构示意图；图2为图1的剖切结构示意图；图3为本专利技术的俯视方向的结构示意图；图4为本专利技术的坩埚装置和平压装置的立体结构示意图；图5为本专利技术的图4的全剖结构示意图
。
[0016] 具体实施方式
[0017]为使本专利技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的各实施方式进行详细的阐述
。
然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本专利技术各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节
。
但是，即使没有这些技术细节和基于以下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种石墨化炉，其特征在于，包括：若干个石墨化装置；真空装置，在若干个所述石墨化装置之间共同连接至所述真空装置；坩埚装置，其中任意一个所述石墨化装置中设置所述坩埚装置；平压装置，在所述坩埚装置中，沿着预设轴线设置所述平压装置；在所述真空装置创造的真空环境中，所述平压装置向放置在所述坩埚装置中的石墨，碳化
、
石墨化的过程中，进行平压
。2.
根据权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，将所述坩埚装置沿着所述预设轴线设置在所述真空装置中；所述平压装置沿着所述预设轴线分别设置在所述坩埚装置的上面和所述坩埚装置的下面
。3.
根据权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，每一个所述的石墨化装置均固定在设备支架上
。4.
根据权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，所述的石墨化装置，还包括：腔体，在所述石墨化装置中设置所述腔体；所述的坩埚装置设置在所述的腔体中；上封头，在所述腔体的上方固定所述上封头；其中一个所述平压装置的一端穿过所述上封头伸入到所述坩埚装置的一侧中；第一波纹管，在其中一个所述平压装置的外侧设置所述第一波纹管；所述第一波纹管的一端固定在所述上封头上；所述第一波纹管的一端固定在其中一个所述平压装置的外侧；连接法兰盘，在所述腔体的下方固定所述连接法兰盘的一侧；所述连接法兰盘的另一侧固定在设备支架上；坩埚支撑板，在所述坩埚装置与所述连接法兰盘之间固定所述坩埚支撑板；其中一个所述平压装置的一端穿过所述连接法兰盘
、
所述坩埚支撑板，设备支架，伸入到所述坩埚装置的另一侧中；第二波纹管，在其中另一个所述平压装置的外侧设置所述第二波纹管；所述第二波纹管的一端固定在所述连接法兰盘上；所述第二波纹管的一端固定在其中另一个所述平压装置的外侧
。5.
根据权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，所述的真空装置与若干个所述的石墨化装置通过管道相连接
。6.
根据权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，所述的真空装置，还包括：真空泵，在所述的真空装置中设置所述真空泵；真空波纹管，所述真空泵通过管道连接至若干个所述的真空波纹管...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈智雨，周贝尔，李迎春，高光平，倪狄，
申请(专利权)人：杭州嘉悦智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：