【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片制备工艺的，尤其涉及一种mini-led焊盘开窗方法。
技术介绍
1、近年来led显示行业正在进行一番技术革新，led显示屏间距越来越小，mini/micro led显示市场进入爆发期。基于这种原因，mini-led背光技术应运而生。mini-led的背光源会给屏幕显示带来更大亮度对比和视觉体验。生产中，为保证p0.2的灯珠精准贴装在对应焊盘位置处，对阻焊开窗的精度及阻焊与光学点的精度提出了更高的需求。
2、现有技术中mini-led板的阻焊开窗工艺为：丝印油墨-曝光-显影，生产中易出现防焊曝光不良及偏位的问题。显影处理时存在侧蚀，焊盘周边的基材表面的油墨也会被侵蚀，最终开窗漏出的部位面积比焊盘的实际面积存大。同时，显影处理时，显影液是由外至内侵蚀阻焊油墨，导致开窗部位的阻焊油墨具有坡度，除焊盘表面外，其余多漏出的铜面也会反光，导致焊盘部位在mini-led工作时产生明暗度的差异，从而对显示效果造成影响，显示一致性差。
3、同时，随着mini-led显示屏中像素间距的缩小，相邻焊盘之间的间距已经缩小至50微米左右，若仍然采用现有技术中丝印油墨-曝光-显影的技术进行阻焊开窗，现有的显影技术只能确保油墨之间的开窗孔隙维持在70微米左右。阻焊开窗的尺寸大于焊盘之间的尺寸会导致后续工艺中存在间距渗金风险，影响mini-led显示屏的电连接性能，降低产品良率。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本专利技术
2、为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种mini-led焊盘开窗方法，丝印油墨之后采用激光开窗方法进行阻焊开窗。
3、进一步地，激光开窗包括：先采用纳秒激光初步去除油墨，再采用皮秒激光精细去除油墨。
4、初步去除油墨过程中，纳秒激光能量相对较大，能够使得油墨快速汽化蒸发，实现快速去除油墨的目的。初步去除油墨过程也可以理解为粗去除的过程，不需要精准定义油墨汽化的终点位置和边界，只需要快速汽化油墨，降低油墨厚度即可。
5、精细去除油墨过程中，皮秒激光能量相对较低，相比纳秒激光，降低了油墨汽化蒸发的速率。由于油墨汽化的速率降低，可以清晰定义阻焊开窗的边界位置。同时，较低的激光能量能够确保芯板表面不被激光损伤。精细去除油墨过程虽然降低了油墨去除速率，但是能够清晰定义开窗的边界位置，其与前期的初始去除油墨工艺结合起来使用，不仅能够提高阻焊开窗的效率，还能确保开窗边界清晰，且激光汽化油墨形成开窗的方式不会受到焊盘之间尺寸和间隙的影响，即使焊盘之间尺寸缩小至50微米也能清晰定义开窗边界，避免了现有技术中显影过程中油墨桥不低于70微米的缺陷，实现小尺寸小间距mini-led显示屏中阻焊开窗的精准操作，提高mini-led的产品稳定性和产品良率。
6、进一步地，所述纳秒激光的波长为540nm-620nm，所述皮秒激光的波长为300-400nm。
7、进一步地，纳秒激光初步去除油墨过程中，在纳秒激光作用下，油墨被汽化，随着纳秒激光的作用时间延长，油墨的颜色逐渐变浅。
8、进一步地，激光开窗过程中采用检测组件对油墨颜色进行检测，当检测组件检测到油墨颜色变化为至预设颜色时，更换为皮秒激光进行开窗。
9、本申请中纳秒激光初步去除油墨过程中，在纳秒激光作用下，油墨被汽化，随着纳秒激光的作用时间延长，油墨的颜色逐渐变浅。本申请通过对油墨颜色进行监测，可以精准获知剩余的油墨厚度，进而精准控制纳秒激光切换为皮秒激光的时刻。不管开窗的尺寸为多少，也不管丝印油墨的厚度为多少，油墨颜色与油墨厚度一一对应，通过对油墨颜色监测，能够准确获知纳秒激光和皮秒激光的切换时刻，同时实现油墨去除速度和去除精度的良好控制。
10、本申请激光开窗过程中采用检测组件对油墨颜色进行检测，检测组件可以为颜色传感器等对油墨颜色变化比较敏感的检测装置。检测装置固定在mini-led芯板顶部或侧方，且正对mini-led芯板中焊盘区域。检测装置能够实时监测油墨的变化，且预先在检测装置中设置预设颜色，只要检测装置检测到预设颜色，则输出控制信号，使得纳秒激光切换为皮秒激光。
11、进一步地，丝印油墨之前还包括磨板，磨板具体包括：
12、先在磨板溶液中用1000目的陶瓷刷进行磨板；再用4000目的不织布抛光铜面，磨板后铜面的粗糙度ra为0.3微米。
13、进一步地，丝印油墨之后还包括：预烤、曝光和烤板。
14、进一步地，激光开窗之后还包括等离子清洗，喷砂和沉金。
15、进一步地，所述等离子清洗包括：通过等离子将孔壁残留的树脂和玻纤丝清除干净，所述等离子体为cf4气体分解的cf-、cf2-、cf3-等离子体。
16、进一步地，采用4000目金刚砂进行喷砂处理。
17、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请在丝印油墨之后采用激光开窗方法进行阻焊开窗，通过控制激光的波长可以控制油墨汽化的速度，通过激光光束的位置可以精准定义开窗边界。本申请中激光开窗方法不会受到焊盘之间尺寸的限制，即使焊盘之间尺寸缩小至50微米也能清晰定义开窗边界，避免了现有技术中显影过程中油墨桥不低于70微米的缺陷，实现小尺寸小间距mini-led显示屏中阻焊开窗的精准操作，提高mini-led的产品稳定性和产品良率。
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1.一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，丝印油墨之后采用激光开窗方法进行阻焊开窗。
2.根据权利要求1所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，激光开窗包括：先采用纳秒激光初步去除油墨，再采用皮秒激光精细去除油墨。
3.根据权利要求2所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，所述纳秒激光的波长为540nm-620nm，所述皮秒激光的波长为300-400nm。
4.根据权利要求2所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，纳秒激光初步去除油墨过程中，在纳秒激光作用下，油墨被汽化，随着纳秒激光的作用时间延长，油墨的颜色逐渐变浅。
5.根据权利要求4所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，激光开窗过程中采用检测组件对油墨颜色进行检测，当检测组件检测到油墨颜色变化为至预设颜色时，更换为皮秒激光进行开窗。
6.根据权利要求1所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，丝印油墨之前还包括磨板，磨板具体包括：
7.根据权利要求1所述的一种mini-led焊盘开窗方法
8.根据权利要求1所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，激光开窗之后还包括等离子清洗，喷砂和沉金。
9.根据权利要求8所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，所述等离子清洗包括：通过等离子将孔壁残留的树脂和玻纤丝清除干净，所述等离子体为CF4气体分解的CF-、CF2-、CF3-等离子体。
10.根据权利要求9所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，采用4000目金刚砂进行喷砂处理。
...【技术特征摘要】
1.一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，丝印油墨之后采用激光开窗方法进行阻焊开窗。
2.根据权利要求1所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，激光开窗包括：先采用纳秒激光初步去除油墨，再采用皮秒激光精细去除油墨。
3.根据权利要求2所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，所述纳秒激光的波长为540nm-620nm，所述皮秒激光的波长为300-400nm。
4.根据权利要求2所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，纳秒激光初步去除油墨过程中，在纳秒激光作用下，油墨被汽化，随着纳秒激光的作用时间延长，油墨的颜色逐渐变浅。
5.根据权利要求4所述的一种mini-led焊盘开窗方法，其特征在于，激光开窗过程中采用检测组件对油墨颜色进行检测，当检测组件检测到油墨...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜怡锋，徐华胜，陈洋，
申请(专利权)人：深圳明阳电路科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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