【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅环加工，具体是一种加工硅环用平面磨床。
技术介绍
1、硅环是集成电路制造过程中的一种辅助材料，主要用在离子注入工序中，用于支撑和固定硅片。硅环的加工过程一般是利用立轴圆台平面磨床对硅环的端面进行磨削加工。
2、现有的立轴圆台平面磨床对无磁性的工件进行磨削时一般是通过手动调紧均匀分布在工件周围的多个手动平口钳对工件进行装夹，加工完后还需要再次调松所有的手动平口钳才能将工件取下，工件的装夹过程比较麻烦、费力。
技术实现思路
1、为了解决
技术介绍
中提到的至少一个技术问题，本专利技术的目的在于提供一种加工硅环用平面磨床，能够方便对工件进行装夹，提高了工件装夹过程的省力性和便捷性。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种加工硅环用平面磨床，包括机床本体、控制器、磨削机头、安装在磨削机头上的砂轮、安装在机床本体上的圆形的工作台以及设置在工作台上的夹持机构，所述夹持机构包括关于工作台轴线呈环形阵列的多个夹块以及驱动多个夹块移动的驱动结构；所述驱动结构包括支架，所述支架上转动连接有内螺纹套筒，所述工作台上安装有夹紧电机，所述夹紧电机与内螺纹套筒之间设置有同步传动结构，所述夹紧电机用于驱动所有的内螺纹套筒转动；所述支架上滑动连接有圆杆，所述圆杆与夹块固接，所述内螺纹套筒螺纹连接有丝杆，所述丝杆与夹块固接。
4、优选的，所述同步传动结构包括转动连接在工作台的多个驱动杆，所述驱动杆底部固接有从动齿轮，所述工作台内安装有夹
5、优选的，所述工作台包括放置台和支撑台，所述放置台底部固接有多个支撑柱，所述支撑台顶部开设有契合支撑柱的卡槽，所述驱动齿轮和从动齿轮安装于放置台和支撑台之间，所述夹紧电机安装于支撑台中部。
6、所述工作台上设置有防护壳，所述支架、内螺纹套筒以及齿轮组均位于防护壳内。
7、优选的，所述防护壳与夹块之间设置有压簧，所述压簧环套于圆杆外侧。
8、优选的，所述防护壳靠近夹块一侧安装有毛刷，所述毛刷与丝杆抵接。
9、优选的，所述夹块靠近硅环的一面固接有橡胶片，所述橡胶片开设有均匀的吸附孔。
10、优选的，所述丝杆上开设有限位槽，所述支架上远离夹块一侧固接有l形限位条，所述限位条的部分位于限位槽内，所述限位槽远离夹块的一侧安装有与控制器电性连接的碰撞开关。
11、优选的，所述限位槽开设于丝杆底部。
12、优选的，所述内螺纹套筒与支架之间通过两个双列深沟球轴承进行转动连接。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
14、1.通过夹紧电机的驱动和同步传动结构的传动能够同时控制多个内螺纹套筒转动，而通过内螺纹套筒、支架、丝杆、圆杆的配合使得多个夹块能够同步靠近并夹紧硅环或同步远离硅环，进而方便了对硅环的夹持以及硅环的取下，提高了硅环装夹的省力性和便捷性。
15、2.在对硅环进行打磨时，会磨削下很多废渣，这些废渣落在丝杆上后容易在丝杆与内螺纹套筒之间进行螺旋配合时，会加剧丝杆和内螺纹套筒的螺牙之间的磨损，进而影响丝杆的进给精度以及进给过程的稳定性，进一步影响磨削过程对工件的夹持稳定性。而通过在防护壳靠近夹块的一侧设置毛刷，这样能够在丝杆进入防护壳前及时将丝杆上磨削废渣清理掉，降低了丝杆与内螺纹套筒的螺牙磨损，进而保证了丝杆进给的精度，提高了对工件夹紧过程的稳定性，为硅环的磨削工作提供稳定的加持基础。
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1.一种加工硅环用平面磨床，包括机床本体（10)、控制器（11)、磨削机头（12)、安装在磨削机头（12）上的砂轮（13)、安装在机床本体（10）上的圆形的工作台（2）以及设置在工作台（2）上的夹持机构（3)，其特征在于，所述夹持机构（3）包括关于工作台（2）的轴线呈环形阵列的多个夹块（31）以及驱动多个夹块（31）移动的驱动结构；所述驱动结构包括支架（321)，所述支架（321）上转动连接有内螺纹套筒（322)，所述工作台（2）上安装有夹紧电机（323)，所述夹紧电机（323）与内螺纹套筒（322）之间设置有同步传动结构（324)，所述夹紧电机（323）用于驱动所有的内螺纹套筒（322）转动；所述支架（321）上滑动连接有圆杆（326)，所述圆杆（326）与夹块（31）固接，所述内螺纹套筒（322）螺纹连接有丝杆（325)，所述丝杆（325）与夹块（31）固接。
2.根据权利要求1所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述同步传动结构（324）包括转动连接在工作台（2）的多个驱动杆（3241)，所述驱动杆（3241）底部固接有从动齿轮（3242)，所述工作台（2
3.根据权利要求2所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述工作台（2）包括放置台（21）和支撑台（22)，所述放置台（21）底部固接有多个支撑柱（211)，所述支撑台（22）顶部开设有契合支撑柱（211）的卡槽，所述驱动齿轮（3243）和从动齿轮（3242）安装于放置台（21）和支撑台（22）之间，所述夹紧电机（323）安装于支撑台（22）中部。
4.根据权利要求2所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述工作台（2）上设置有防护壳（6)，所述支架（321)、内螺纹套筒（322)、齿轮组（3244）均位于防护壳（6）内。
5.根据权利要求4所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述防护壳（6）与夹块（31）之间设置有压簧（7)，所述压簧（7）环套于圆杆（326）外侧。
6.根据权利要求4所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述防护壳（6）靠近夹块（31）一侧安装有毛刷（8)，所述毛刷（8）与丝杆（325）抵接。
7.根据权利要求1所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述夹块（31）靠近硅环（9）的一面固接有橡胶片（4)，所述橡胶片（4）开设有均匀的吸附孔（41)。
8.根据权利要求1所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述丝杆（325）上开设有限位槽（51)，所述支架（321）远离夹块（31）的一侧固接有L形限位条（52)，所述限位条（52）的部分位于限位槽（51）内，所述限位槽（51）远离夹块（31）的一侧安装有与控制器（11）电性连接的碰撞开关（53)。
9.根据权利要求8所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述限位槽（51）开设于丝杆（325）底部。
10.根据权利要求1所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述内螺纹套筒（322）与支架（321）之间通过两个双列深沟球轴承（33）进行转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种加工硅环用平面磨床，包括机床本体（10)、控制器（11)、磨削机头（12)、安装在磨削机头（12）上的砂轮（13)、安装在机床本体（10）上的圆形的工作台（2）以及设置在工作台（2）上的夹持机构（3)，其特征在于，所述夹持机构（3）包括关于工作台（2）的轴线呈环形阵列的多个夹块（31）以及驱动多个夹块（31）移动的驱动结构；所述驱动结构包括支架（321)，所述支架（321）上转动连接有内螺纹套筒（322)，所述工作台（2）上安装有夹紧电机（323)，所述夹紧电机（323）与内螺纹套筒（322）之间设置有同步传动结构（324)，所述夹紧电机（323）用于驱动所有的内螺纹套筒（322）转动；所述支架（321）上滑动连接有圆杆（326)，所述圆杆（326）与夹块（31）固接，所述内螺纹套筒（322）螺纹连接有丝杆（325)，所述丝杆（325）与夹块（31）固接。
2.根据权利要求1所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述同步传动结构（324）包括转动连接在工作台（2）的多个驱动杆（3241)，所述驱动杆（3241）底部固接有从动齿轮（3242)，所述工作台（2）内安装有夹紧电机（323)，所述夹紧电机（323）轴端固接有与从动齿轮（3242）啮合的驱动齿轮（3243)，所述内螺纹套筒（322）与驱动杆（3241）之间安装有齿轮组（3244)。
3.根据权利要求2所述的一种加工硅环用平面磨床，其特征在于，所述工作台（2）包括放置台（21）和支撑台（22)，所述放置台（21）底部固接有多个支撑柱（211)，所述支撑台（22）顶部开设有契合支撑柱（211）的卡槽，所述驱动齿轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝建敏，郑小松，郭立华，
申请(专利权)人：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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