【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光学加工，具体涉及一种光学参考腔的加工装置及加工方法。
技术介绍
1、面对我国未来空间时频科学工程的战略需求及潜在的军民品应用，自主研制超稳光学参考腔技术具有重要的意义。
2、超稳光学参考腔的精密制造涉及多方面的技术难题，其中腔体光学加工的关键技术是腔体两光胶面的秒级平行度要求，而运用一般的机械加工所制造的腔体，其两光胶面无法满足上述要求，为此我们提出了一种光学参考腔的加工装置及加工方法。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种光学参考腔的加工装置及加工方法。
2、第一方面，本申请提供了一种光学参考腔的加工装置，包括：
3、底座；
4、转盘，所述转盘可沿自身轴线转动的安装在所述底座上；
5、夹具，所述夹具通过调节机构安装在所述转盘上，所述调节机构用于调节所述夹具的水平度；所述夹具远离所述转盘一端设有用于固定所述光学参考腔的安装部；
6、研磨抛光设备，所述抛光设备用于对所述光学参考腔的抛光面进行研磨抛光。
7、根据本申请实施例提供的技术方案，所述调节机构包括：
8、多个转动槽，多个所述转动槽周向均匀开设在所述转盘上端面，螺栓底端转动连接在所述转动槽内，且所述螺栓和所述夹具螺纹连接，通过拧动任一所述螺栓，在螺纹相互作用力下，能够调节所述夹具上端面的水平度，从而改变所述光学参考腔的抛光面的倾斜角度。
9、根据本申请实施例提供的技术方案，所述夹具包括
10、连接盘，所述连接盘设置在所述转盘顶部，其上周向均匀开设多个螺孔，螺孔内螺纹连接所述螺栓；
11、所述安装部包括有安装底座和顶盖，所述安装底座同轴固定设置在所述连接盘顶部，其内部具有安装空间，用于固定所述光学参考腔；
12、所述顶盖可拆卸设置在所述安装底座顶部，其上贯穿开设有通过口，用于使所述抛光面暴露于所述顶盖上方。
13、根据本申请实施例提供的技术方案，还包括：驱动机构，驱动机构用于驱动所述转盘沿自身轴线转动，所述驱动机构具有工作轴，所述工作轴和所述转盘设置，且和所述转盘底部固定连接。
14、根据本申请实施例提供的技术方案，还包括检测机构，所述检测机构为自准直仪，其具有平行光管和工作台，平行光管能够发射光线，光线照射所述抛光面后能够发生反射，所述检测机构能够检测入射光线和反射光线的偏差值。
15、根据本申请实施例提供的技术方案，所述检测机构还具有光标和分划板，在平行光管发出光线后，经抛光面反射，反射光在分划板上显示出反射光标，其与检测机构自身的光标之间具有偏差，检测机构能够显示偏差值。
16、第二方面，本申请提供了一种加工方法，其应用有光学参考腔的加工装置，包括：
17、使用安装部装卡光学参考腔，光学参考腔沿其轴线设置有中心光路孔，入射光线平行于中心光路孔照射在抛光面上并被反射，通过检测机构检测入射光线和反射光线的偏移值，将安装部安装在连接盘上，根据偏移值通过调节机构调节夹具的水平度，从而对光学参考腔的抛光面进行调节，再通过研磨抛光设备对抛光面进行研磨抛光，研磨抛光过程中多次通过检测机构进行检测，以保证抛光面和入射光相垂直。
18、根据本申请实施例提供的技术方案，在将装卡光学参考腔的安装部放置在检测机构的工作台上后，调节平行光管发射的光线平行于中心光路孔，入射光照射在抛光面发生反射，观察反射的光标和检测机构自身的光标后在分划板上是否重合，若重合，表示中心光路孔和抛光面相垂直。
19、综上所述，本技术方案具体公开了光学参考腔的加工装置及加工方法，光学参考腔上沿其轴线设置有中心光路孔，加工装置包括底座，底座上通过驱动结构驱动的能够沿自身轴线转动的转盘，转盘顶部设置有夹具，且通过调节机构能够调节夹具的水平度，夹具远离转盘的一端设置有能够固定光学参考腔的安装部；还包括能够对光学参考腔的抛光面进行研磨抛光的研磨抛光设备；
20、加工装置还包括检测机构，其具有能够发射光线的平行光管、工作台、光标和能够显示光标的分划板；
21、加工方法应用有加工装置，将装卡有光学参考腔的安装部放置在检测机构的工作台上，通过平行光管向抛光面发射平行于中心光路孔的光线，被抛光面反射后反射光在分划板上形成反射光标，其与检测机构自身的光标之间存在偏移，并在安装部上进行标记，检测后将安装部安装在转盘上，通过调节机构对抛光面对标记处进行水平度调节，而后研磨抛光面，多次检测直至反射光标与检测机构自身的光标相重合，能够保证抛光面和中心光路孔相垂直，之后将光学参考腔翻面装卡，对另一个抛光面进行研磨抛光，保证两抛光面相平行。
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1.一种光学参考腔的加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，所述调节机构包括：
3.根据权利要求2所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，所述夹具包括：
4.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，还包括：驱动机构，驱动机构用于驱动所述转盘(1)沿自身轴线转动，所述驱动机构具有工作轴，所述工作轴和所述转盘(1)设置，且和所述转盘(1)底部固定连接。
5.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，还包括检测机构，所述检测机构为自准直仪，其具有平行光管和工作台，平行光管能够发射光线，光线照射所述抛光面后能够发生反射，所述检测机构能够检测入射光线和反射光线的偏差值。
6.根据权利要求5所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，所述检测机构还具有光标和分划板，在平行光管发出光线后，经抛光面反射，反射光在分划板上显示出反射光标，其与检测机构自身的光标之间具有偏差，检测机构能够显示偏差值。
7.一种加工方法，其应用有权利要求1-5任一项所述的光学参考
8.根据权利要求7所述的一种加工方法，其特征在于，在将装卡光学参考腔的安装部放置在检测机构的工作台上后，调节平行光管发射的光线平行于中心光路孔(5)，入射光照射在抛光面发生反射，观察反射的光标和检测机构自身的光标后在分划板上是否重合，若重合，表示中心光路孔(5)和抛光面相垂直。
...【技术特征摘要】
1.一种光学参考腔的加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，所述调节机构包括：
3.根据权利要求2所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，所述夹具包括：
4.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，还包括：驱动机构，驱动机构用于驱动所述转盘(1)沿自身轴线转动，所述驱动机构具有工作轴，所述工作轴和所述转盘(1)设置，且和所述转盘(1)底部固定连接。
5.根据权利要求1所述的光学参考腔的加工装置，其特征在于，还包括检测机构，所述检测机构为自准直仪，其具有平行光管和工作台，平行光管能够发射光线，光线照射所述抛光面后能够发生反射，所述检测机构能够检测...
【专利技术属性】
技术研发人员：回长顺，姬志鹏，白庆光，常伽陆，张洁，陆泽晃，
申请(专利权)人：天津津航技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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