【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅舟沟棒加工，特别地，涉及一种硅舟切槽机。
技术介绍
1、硅舟主要由顶板、底板、若干沟棒以及限位档杆组成，其中顶板和底板相对设置，若干个沟棒绕着顶板的周向安装在顶板和底板之间，其中沟棒上设有若干个用于存放晶圆的沟槽，晶圆放置完毕后，将限位挡杆安装在顶板和底板之间对晶圆进行固定。方便晶圆的搬运和后续的加工。
2、其中，沟棒在进行加工过程中，需要利用切槽机在沟棒上切割出若干个沟槽，现有的切槽机上安装有一个对沟棒进行切槽的锯片，单独加工一根沟棒需要耗时二十个小时左右，沟棒的加工效率较为低下。倘若在切槽机的同轴线上安装有多组锯片，以提高沟槽的切割效率。此时锯片需要逐个从转轴的端部向内安装，当中间的锯片出现损坏时，需要将转轴上锯片逐个拆下，然后才能将损坏锯片取出进行更换，锯片的更换较为复杂，不利于提高沟棒的加工效率。
3、因此，如何设计一种方便锯片安装且能够提高沟槽切割效率的切槽机，成为本领域人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、为了解决
技术介绍
中提到的至少一个技术问题，本专利技术的目的在于提供一种硅舟切槽机，解决沟槽切割效率低以及锯片不方便更换的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种硅舟切槽机，包括梁架，梁架的底壁一侧固定安装有第一支撑座，梁架底壁的另一侧滑动安装有第二支撑座，梁架上设有对第二支撑座进行锁止的锁止组件，第一支撑座和第二支撑座上分别转动连接有主传动轴以及顶推轴，主传动轴与顶推轴同轴
4、进一步的，梁架的底壁固定设有支撑座，所述支撑座上固定设有沿着主传动轴轴向设置的导向滑轨，所述第二支撑座上设有导向孔，所述导向滑轨插入所述导向孔内，导向滑轨的外壁与所述导向孔的内壁抵接。
5、进一步的，所述梁架上设有沿着主传动轴轴向设置的滑槽，所述第二支撑座上设有延伸至所述滑槽内的限位块，锁止组件包括位于限位块两侧的定位板以及定位气缸，定位气缸固定在梁架上，定位气缸的气缸杆与所述定位板固定连接，定位板与限位块抵接用以实现第二支撑座的锁止。
6、进一步的，主传动轴、顶推轴以及安装模组的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板，锯切组件包括与限位板抵接的锯片，锯片远离限位板的一侧设有挡环，锯片通过定位螺栓固定在限位板与挡环之间。
7、进一步的，安装模组包括转轴，所述转轴的端壁设有沿着转轴轴向设置的安装槽，所述转轴的周壁设有与所述安装槽连通的螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺柱，所述安装槽内设有沿着转轴轴向滑动连接的顶推杆，所述螺柱的底壁设有沿着转轴径向滑动的顶推块，所述顶推杆靠近顶推块一侧设有第一顶推斜面，所述顶推块上设有与第一顶推斜面抵接的第二顶推斜面，所述主传动轴、转轴远离安装槽的一端均设有插接槽，所述顶推杆的端部延伸出安装槽并插接至相邻的插接槽内，顶推杆的端壁与插接槽的底壁抵接，转轴的一端以及顶推轴的端部均设有插块，主传动轴与转轴的另一端均设有插槽，主传动轴、安装模组以及顶推轴上的插块与插槽依次插接。
8、进一步的，所述螺纹孔的内壁设有沿着转轴径向设置的第一槽，所述顶推块上固定设有延伸至第一槽的拨动板，所述第一槽内安装有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与第一槽固定连接，第二弹簧的另一端与所述拨动板固定连接。
9、进一步的，所述转轴上设有沿着转轴轴向设置的安装环槽，所述转轴上设有将安装槽与安装环槽连通的第二槽，所述顶推杆上固定设有穿过第二槽延伸至安装环槽的顶推板，安装环槽内安装有第三弹簧，第三弹簧的一端与安装环槽的内壁固定连接，第三弹簧的另一端与所述顶推板固定连接。
10、进一步的，所述转轴的外侧套设有滑套，所述转轴的周壁设有若干个沿着转轴周向均匀分布的第三槽，所述第三槽沿着转轴的轴向设置，所述滑套上固定设有插接至所述第三槽的第一卡块，所述第一卡块的侧壁与第三槽的侧壁滑动连接。
11、进一步的，所述转轴的侧壁设有沿着转轴轴向设置的第五槽，所述第五槽内安装有第一弹簧，所述滑套上固定设有延伸至第五槽内的第二卡块，第二卡块的侧壁与第五槽的侧壁抵接，第一弹簧的一端与第五槽的内壁固定连接，另一端与所述第二卡块固定连接，所述滑套上设有调节孔，调节孔的轴线与螺纹孔的轴线位于同一平面，初始状态下，调节孔与螺纹孔错位，顶推杆调节状态下，调节孔与螺纹孔对正。
12、进一步的，所述转轴的一端周壁上设有第四槽，转轴、主传动轴的端部周壁上均设有第六槽，所述滑套的内壁设有插接肋，安装模组未安装状态下，插接肋插接至第四槽内，安装模组组装状态下，滑套套设至相邻转轴或主传动轴的外侧，插接肋同时插接至第四槽以及第六槽内。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过在梁架上安装有多组锯切组件用于对沟棒的沟槽同时切割，缩短了沟槽切割的时间，提高了沟棒的加工效率；
14、利用主传动轴、顶推轴以及转轴上插块与插槽的依次插接，能够将驱动机构的动力向后输出，实现主传动轴、顶推轴以及安装模组的同步转动，进而实现多个锯切组件的同时作业；
15、由于锯切组件安装在安装模组、主传动轴、顶推轴上，且安装模组为可拆卸连接，当需要安装模组进行更换时，锁止组件解除对第二支撑座的限制，使第二支撑座向远离第一支撑座一侧移动，解除对安装模组的顶推，可以快速的将锯切组件损坏的安装模组从切槽机上拆下，从而提高锯切组件的更换效率。
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1.一种硅舟切槽机，包括梁架(1)，其特征在于：梁架(1)的底壁一侧固定安装有第一支撑座(12)，梁架(1)底壁的另一侧滑动安装有第二支撑座(13)，梁架(1)上设有对第二支撑座(13)进行锁止的锁止组件，第一支撑座(12)和第二支撑座(13)上分别转动连接有主传动轴(2)以及顶推轴(3)，主传动轴(2)与顶推轴(3)同轴设置，梁架(1)上设有驱动主传动轴(2)转动的驱动机构，主传动轴(2)与顶推轴(3)之间安装有若干组可拆卸的安装模组(5)，所述安装模组(5)、主传动轴(2)以及顶推轴(3)上均安装有用于沟槽锯切的锯切组件，工作时，锁止组件处于锁止状态用以限制第二支撑座(13)的轴向移动。
2.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：梁架(1)的底壁固定设有支撑座(105)，所述支撑座(105)上固定设有沿着主传动轴(2)轴向设置的导向滑轨(106)，所述第二支撑座(13)上设有导向孔(131)，所述导向滑轨(106)插入所述导向孔(131)内，导向滑轨(106)的外壁与所述导向孔(131)的内壁抵接。
3.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其
4.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：主传动轴(2)、顶推轴(3)以及安装模组(5)的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板(51)，锯切组件包括与限位板(51)抵接的锯片(4)，锯片(4)远离限位板(51)的一侧设有挡环(52)，锯片(4)通过定位螺栓(53)固定在限位板(51)与挡环(52)之间。
5.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：安装模组(5)包括转轴(503)，所述转轴(503)的端壁设有沿着转轴(503)轴向设置的安装槽(55)，所述转轴(503)的周壁设有与所述安装槽(55)连通的螺纹孔(54)，所述螺纹孔(54)内部螺纹连接有螺柱(75)，所述安装槽(55)内设有沿着转轴(503)轴向滑动连接的顶推杆(7)，所述螺柱(75)的底壁设有沿着转轴(503)径向滑动的顶推块(74)，所述顶推杆(7)靠近顶推块(74)一侧设有第一顶推斜面(72)，所述顶推块(74)上设有与第一顶推斜面(72)抵接的第二顶推斜面(742)，所述主传动轴(2)、转轴(503)远离安装槽(55)的一端均设有插接槽(585)，所述顶推杆(7)的端部延伸出安装槽(55)并插接至相邻的插接槽(585)内，顶推杆(7)的端壁与插接槽(585)的底壁抵接，转轴(503)的一端以及顶推轴(3)的端部均设有插块(592)，主传动轴(2)与转轴(503)的另一端均设有插槽(591)，主传动轴(2)、安装模组(5)以及顶推轴(3)上的插块(592)与插槽(591)依次插接。
6.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述螺纹孔(54)的内壁设有沿着转轴(503)径向设置的第一槽(541)，所述顶推块(74)上固定设有延伸至第一槽(541)的拨动板(741)，所述第一槽(541)内安装有第二弹簧(68)，所述第二弹簧(68)的一端与第一槽(541)固定连接，第二弹簧(68)的另一端与所述拨动板(741)固定连接。
7.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)上设有沿着转轴(503)轴向设置的安装环槽(56)，所述转轴(503)上设有将安装槽(55)与安装环槽(56)连通的第二槽(57)，所述顶推杆(7)上固定设有穿过第二槽(57)延伸至安装环槽(56)的顶推板(71)，安装环槽(56)内安装有第三弹簧(69)，第三弹簧(69)的一端与安装环槽(56)的内壁固定连接，第三弹簧(69)的另一端与所述顶推板(71)固定连接。
8.根据权利要求5所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)的外侧套设有滑套(6)，所述转轴(503)的周壁设有若干个沿着转轴(503)周向均匀分布的第三槽(581)，所述第三槽(581)沿着转轴(503)的轴向设置，所述滑套(6)上固定设有插接至所述第三槽(581)的第一卡块(65)，所述第一卡块(65)的侧壁与第三槽(581)的侧壁滑动连接。
9.根据权利要求8所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述转轴(503)的侧壁设有沿着转轴(5...
【技术特征摘要】
1.一种硅舟切槽机，包括梁架(1)，其特征在于：梁架(1)的底壁一侧固定安装有第一支撑座(12)，梁架(1)底壁的另一侧滑动安装有第二支撑座(13)，梁架(1)上设有对第二支撑座(13)进行锁止的锁止组件，第一支撑座(12)和第二支撑座(13)上分别转动连接有主传动轴(2)以及顶推轴(3)，主传动轴(2)与顶推轴(3)同轴设置，梁架(1)上设有驱动主传动轴(2)转动的驱动机构，主传动轴(2)与顶推轴(3)之间安装有若干组可拆卸的安装模组(5)，所述安装模组(5)、主传动轴(2)以及顶推轴(3)上均安装有用于沟槽锯切的锯切组件，工作时，锁止组件处于锁止状态用以限制第二支撑座(13)的轴向移动。
2.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：梁架(1)的底壁固定设有支撑座(105)，所述支撑座(105)上固定设有沿着主传动轴(2)轴向设置的导向滑轨(106)，所述第二支撑座(13)上设有导向孔(131)，所述导向滑轨(106)插入所述导向孔(131)内，导向滑轨(106)的外壁与所述导向孔(131)的内壁抵接。
3.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：所述梁架(1)上设有沿着主传动轴(2)轴向设置的滑槽(10)，所述第二支撑座(13)上设有延伸至所述滑槽(10)内的限位块(132)，锁止组件包括位于限位块(132)两侧的定位板(102)以及定位气缸(101)，定位气缸(101)固定在梁架(1)上，定位气缸(101)的气缸杆与所述定位板(102)固定连接，定位板(102)与限位块(132)抵接用以实现第二支撑座(13)的锁止。
4.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：主传动轴(2)、顶推轴(3)以及安装模组(5)的周壁均固定设有沿着径向设置的限位板(51)，锯切组件包括与限位板(51)抵接的锯片(4)，锯片(4)远离限位板(51)的一侧设有挡环(52)，锯片(4)通过定位螺栓(53)固定在限位板(51)与挡环(52)之间。
5.根据权利要求1所述的一种硅舟切槽机，其特征在于：安装模组(5)包括转轴(503)，所述转轴(503)的端壁设有沿着转轴(503)轴向设置的安装槽(55)，所述转轴(503)的周壁设有与所述安装槽(55)连通的螺纹孔(54)，所述螺纹孔(54)内部螺纹连接有螺柱(75)，所述安装槽(55)内设有沿着转轴(503)轴向滑动连接的顶推杆(7)，所述螺柱(75)的底壁设有沿着转轴(503)径向滑动的顶推块(74)，所述顶推杆(7)靠近顶推块(74)一侧设有第一顶推斜面(72)，所述顶推块(74)上设有与第一顶推斜面(72)抵接的第二顶推斜面(742)，所述主传动轴(2)、转轴(503)远离安装槽(55)的一端均设有插接槽(585)，所述顶推杆(7)的端部延伸出安装槽(55)并插接至相邻的插接槽(585)内，顶推杆(7)的端壁与插接槽(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝建敏，王双玉，刘志彪，
申请(专利权)人：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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