一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔的光传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔的光传感器。至少包括一个带有内部增益的可发射等间隔梳状自发辐射谱或激光谱的有源谐振腔和一个具有等间隔梳状滤波谱的无源谐振腔，以及一个光接收器。所述有源谐振腔发射的光谱输入到无源谐振腔，经过无源谐振腔的滤波之后，出射光被光接收器所接收。所述无源谐振腔中设有一段光学长度能随外界环境改变而改变的传感区。本发明专利技术使用成本低廉的多模有源谐振腔作为输入光源。当两个腔光学长度相同时，只需要简单地用光功率探测器测量输出光强度的变化就能得到被测物理量的变化，测试简便，成本低；当两个腔光学长度不同时，通过外接光谱仪还能够扩展测量范围，提高测试精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光传感器，尤其是涉及一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔 的光传感器。
技术介绍
光传感技术作为信息科学技术的一个重要分支，在工业过程控制、环境监测、食品 安全和国家安全等方面有着十分重要的应用。光传感技术可解决电传感技术存在的灵敏度 低、易受干扰、感应时间较长、检测某些化学气体不安全等方面的问题。光传感器具有灵敏 度高、体积小、抗电磁干扰能力强、便于集成、可在线检测的优点，在传感领域占有越来越重 要的地位。光波导传感器件的基本原理是基于光纤或平面波导的界面/表面所出现的倏逝 波，由于倏逝波透出波导的表面(接触待测物质)并返回波导中，从而影响波导中传输光的 特性，因此探测波导中传输光的变化可实现光传感。如图 1，K. De Vos 等人在文献"Silicon-on-Insulat or microring resonator forsensitive and label-free biosensing，，，Optics Express 15，pp. 7610-7615 (2007)。 中提出利用环形谐振器作为光波导传感器的方案，环形谐振器是光谐振腔的一种，由于其 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔的光传感器，其特征在于：包括带有内部增益的可发射等间隔梳状自发辐射谱或激光谱的有源谐振腔和具有等间隔梳状滤波谱的无源谐振腔，以及一个光功率探测器（３）；有源谐振腔与无源谐振腔的光学长度相同，无源谐振腔中至少设有一段光学长度能随外界环境改变而改变的无源谐振腔传感区，有源谐振腔的一个输出端口发射的光谱输入到无源谐振腔，经过无源谐振腔的滤波之后再被一个光功率探测器（３）所接收。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋金岩，虞婷婷，何建军，寇庆丽，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86