【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光干涉测量装置，具体涉及一种多点激光干涉测量装置。
技术介绍
1、目前，激光干涉测量装置中，通常以一束光的一次往返和一束光的两次往返进行位移测量，常见的有keysight10715a差分干涉仪，利用测量光的两次往返，以实现4/λ的基本光分辨率。相比而言，为了获取更高的测量精细度，利用平行平板的特性，在测量结构基础上，形成双光路测量，使每条光路均形成四倍光学细分，而其中常用的平行平板，经常运用于横向剪切干涉测量进行多束光波的同一轴向光路偏折及倾斜量测量，或者用于多光束干涉进行间距调谐分光或波前叠加；但其测量精度依然较低，无法对测量基底进行高精准定位。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种多点激光干涉测量装置，以解决现有干涉测量装置的测量精准度较低，无法实现高精准定位的技术问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术提供了一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特殊之处在于：包括双频激光器、能量分束镜、偏振分光棱镜、第一波片、第一直角棱镜、第二直角棱镜以及光纤耦合器；
3、所述双频激光器发射具有频差的正交线偏振光；
4、所述能量分束镜设置在正交线偏振光所在光路上，用于将所述正交线偏振光进行分束；
5、所述偏振分光棱镜设置在分束后的光束所在光路上；所述偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧和第三侧相对，第二侧和第四侧相对；所述能量分束镜位于偏振分光棱镜的第一侧；
6、所述第一波片位于偏振分光棱镜第三侧和待测镜之间
7、所述第一直角棱镜和第二直角棱镜分别位于偏振分光棱镜第二侧和第四侧，用于通过两次反射改变光束路径，并使光束能够再次入射至偏振分光棱镜；
8、所述光纤耦合器位于偏振分光棱镜的第一侧，用于接收最终的出射光。
9、进一步地，所述能量分束镜朝向双频激光器的一面部分镀第一增透膜，另一部分镀内反射膜，其背向双频激光器的一面部分镀半透半反膜，另一部分镀第二增透膜；所述能量分束镜向偏振分光棱镜倾斜，使得第一增透膜与双频激光器的出射口对应，同时经第一增透膜透射的光束能够经半透半反膜反射至内反射膜，再经第二增透膜出射；
10、所述偏振分光棱镜为正交偏振分光棱镜，能够根据所述频差将正交线偏振光再分束。
11、进一步地，所述能量分束镜朝向双频激光器的一面镀增透膜，其背向双频激光器的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束。
12、进一步地，所述第一波片为四分之一波片。
13、本专利技术还提供了一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特殊之处在于：包括双频激光器、能量分束镜、偏振分光棱镜、第一波片、第二直角棱镜、光纤耦合器以及第二波片；
14、所述双频激光器发射具有频差的正交线偏振光；
15、所述能量分束镜设置在正交线偏振光所在光路上，用于将所述正交线偏振光进行分束；
16、所述偏振分光棱镜设置在分束后的光束所在光路上；所述偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧和第三侧相对，第二侧和第四侧相对；所述能量分束镜位于偏振分光棱镜的第一侧；
17、所述第一波片位于偏振分光棱镜第三侧和待测镜之间，能够接收偏振分光棱镜直接透射的光束；
18、所述第二直角棱镜位于偏振分光棱镜的第四侧，用于通过两次反射改变光束路径，并使光束能够再次入射至偏振分光棱镜；
19、所述第二波片位于偏振分光棱镜与第二直角棱镜之间的光路上；
20、所述光纤耦合器位于偏振分光棱镜的第二侧，用于接收最终的出射光。
21、进一步地，所述能量分束镜朝向双频激光器的一面部分镀第一增透膜，另一部分镀内反射膜，其背向双频激光器的一面部分镀半透半反膜，另一部分镀第二增透膜；所述能量分束镜向偏振分光棱镜倾斜，使得第一增透膜与双频激光器的出射口对应，同时经第一增透膜透射的光束能够经半透半反膜反射至内反射膜，再经第二增透膜透射而出；
22、所述偏振分光棱镜为正交偏振分光棱镜，能够根据所述频差将正交线偏振光再分束。
23、进一步地，所述能量分束镜朝向双频激光器的一面镀增透膜，其背向双频激光器的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束。
24、进一步地，所述第一波片和第二波片均为四分之一波片。
25、本专利技术还提供了一种多点激光干涉测量装置，用于气体检测，其特殊之处在于：包括双频激光器、能量分束镜、偏振分光棱镜、第一波片、反射镜、第二直角棱镜、光纤耦合器、第二波片、待测气腔体以及参考气腔体；
26、所述双频激光器发射具有频差的正交线偏振光；
27、所述能量分束镜设置在正交线偏振光所在光路上，用于将所述正交线偏振光进行分束；
28、所述偏振分光棱镜设置在分束后的光束所在光路上；所述偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧和第三侧相对，第二侧和第四侧相对；所述能量分束镜位于偏振分光棱镜的第一侧；
29、所述反射镜位于偏振分光棱镜的第三侧的透射光路上；
30、所述第一波片位于偏振分光棱镜第三侧和反射镜之间的光路上；
31、所述第二直角棱镜位于偏振分光棱镜的第四侧，用于通过两次反射改变光束路径，并使光束能够再次入射至偏振分光棱镜；
32、所述第二波片位于偏振分光棱镜与第二直角棱镜之间的光路上；
33、所述光纤耦合器位于偏振分光棱镜的第二侧，用于接收最终的出射光；
34、所述待测气腔体和参考气腔体均位于能量分束镜和偏振分光棱镜之间，且分别位于不同能量光束所在光路上。
35、进一步地，所述能量分束镜朝向双频激光器的一面镀增透膜，其背向双频激光器的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束；
36、所述第一波片和第二波片均为四分之一波片。
37、本专利技术的有益效果：
38、1、本专利技术相对于测量基底的两个入射点，能够扩展为四个测量点，保证在线性面上和垂直线性面上，测量面的定位精准度更加准确，而且相对于目前的单入射方式，本专利技术在双频入射下，可以保证具有频差的两路光束同步入射，且能够实现单次入射四倍光学细分，获取更加稳定可靠的测量数据，其不仅能够兼顾高精度和高对准性的测量需求，而且也可实现同光路对照测量和参考测量分路调整。
39、2、本专利技术提供的多点激光干涉测量装置，能够以不同的激光波长形成多个测量点进行标定和检测，通过对测量面内不同点的干涉信息进行分析来获取测量面内的拟合面形变化，多次检测可实现整个检测面内的面形检测，能够广泛应用于像差波前的横向剪切干涉仪和多光束干涉仪。
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1.一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特征在于：包括双频激光器(1)、能量分束镜(2)、偏振分光棱镜(3)、第一波片(4)、第一直角棱镜(6)、第二直角棱镜(7)以及光纤耦合器(8)；
2.根据权利要求1所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面部分镀第一增透膜，另一部分镀内反射膜，其背向双频激光器(1)的一面部分镀半透半反膜，另一部分镀第二增透膜；所述能量分束镜(2)向偏振分光棱镜(3)倾斜，使得第一增透膜与双频激光器(1)的出射口对应，同时经第一增透膜透射的光束能够经半透半反膜反射至内反射膜，再经第二增透膜出射；
3.根据权利要求1所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面镀增透膜，其背向双频激光器(1)的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜(2)能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束。
4.根据权利要求1或2或3所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述第一波片(4)为四分之一波片。
5.一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特
6.根据权利要求5所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面部分镀第一增透膜，另一部分镀内反射膜，其背向双频激光器(1)的一面部分镀半透半反膜，另一部分镀第二增透膜；所述能量分束镜(2)向偏振分光棱镜(3)倾斜，使得第一增透膜与双频激光器(1)的出射口对应，同时经第一增透膜透射的光束能够经半透半反膜反射至内反射膜，再经第二增透膜透射而出；
7.根据权利要求5所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面镀增透膜，其背向双频激光器(1)的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜(2)能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束。
8.根据权利要求5或6或7所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述第一波片(4)和第二波片(9)均为四分之一波片。
9.一种多点激光干涉测量装置，用于气体检测，其特征在于：包括双频激光器(1)、能量分束镜(2)、偏振分光棱镜(3)、第一波片(4)、反射镜(12)、第二直角棱镜(7)、光纤耦合器(8)、第二波片(9)、待测气腔体(10)以及参考气腔体(11)；
10.根据权利要求9所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面镀增透膜，其背向双频激光器(1)的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜(2)能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束；
...【技术特征摘要】
1.一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特征在于：包括双频激光器(1)、能量分束镜(2)、偏振分光棱镜(3)、第一波片(4)、第一直角棱镜(6)、第二直角棱镜(7)以及光纤耦合器(8)；
2.根据权利要求1所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面部分镀第一增透膜，另一部分镀内反射膜，其背向双频激光器(1)的一面部分镀半透半反膜，另一部分镀第二增透膜；所述能量分束镜(2)向偏振分光棱镜(3)倾斜，使得第一增透膜与双频激光器(1)的出射口对应，同时经第一增透膜透射的光束能够经半透半反膜反射至内反射膜，再经第二增透膜出射；
3.根据权利要求1所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述能量分束镜(2)朝向双频激光器(1)的一面镀增透膜，其背向双频激光器(1)的一面镀线偏振分光膜，使得能量分束镜(2)能够根据所述频差将正交线偏振光进行分束。
4.根据权利要求1或2或3所述的多点激光干涉测量装置，其特征在于：所述第一波片(4)为四分之一波片。
5.一种多点激光干涉测量装置，用于位移测量，其特征在于：包括双频激光器(1)、能量分束镜(2)、偏振分光棱镜(3)、第一波片(4)、第二直角棱镜(7)、光纤耦合器(8)以及第二波片(9)；
6.根据权利要求5所述的多点激光干涉测量装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李朝辉，尹云飞，赵建科，马臻，朱辉，魏紫薇，刘勇，刘金博，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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