【技术实现步骤摘要】
本申请涉及清洁，特别涉及电浆清洗装置及电浆清洗方法。
技术介绍
1、指纹识别技术目前已获得广泛的应用，其中指纹识别技术中的电容式指纹识别技术具有体积小及指纹识别速度快等优点。电容式指纹识别模块包括有电容式指纹识别芯片及保护基板，保护基板设置在电容式指纹识别芯片上方，并且保护基板上一般还会包括抗指纹镀膜，以减少手指上的皮屑或油脂等污渍附着，降低指纹识别芯片识别指纹时受到这些污渍干扰的机会。
2、一般在电容式指纹识别模块的工艺中会包括多次电浆清洗，目的是为了移除制备过程中残留在电容式指纹识别模块上的污染物，以利后续实施点胶工艺及贴合工艺。目前工艺中会将电容式指纹识别模块的保护基板上设置抗指纹镀膜的一面放置在镂空载具上，镂空载具会支撑保护基板的边缘，而镂空载具的镂空区域会暴露保护基板上设置的抗指纹镀膜的一面，因此后续在点胶工艺及贴合工艺中，即可以经由镂空载具的镂空区域以支撑模块对电容式指纹识别模块提供额外的支撑，或经由镂空载具的镂空区域以加热模块加热电容式指纹识别模块。
3、不过由于镂空载具的镂空区域暴露保护基板上设置的抗指纹镀膜，造成在电浆清洗中产生电浆侵蚀抗指纹镀膜的风险，容易造成抗指纹镀膜的破损，从而影响产品的良率，因此在实施电浆清洗时会使镂空载具的下表面与电浆清洗机的台面贴合以遮蔽镂空载具的镂空区域，但是由于镂空载具在长期使用过程中会有形变的问题，而电浆清洗机的台面也可能出现破损，导致镂空载具的下表面与电浆清洗机的台面的密合度不佳，导致电浆渗漏并侵蚀抗指纹镀膜，而为了避免前述结构形变或破损导致电浆渗漏的
4、为了对应前述问题，现行另一种方式为使用非镂空载具承载电容式指纹识别模块，以非镂空载具的底面遮蔽保护基板的抗指纹镀膜，后续实施点胶工艺及贴合工艺时再改以镂空载具承载电容式指纹识别模块，但此也导致必须针对电容式指纹识别模块分别设计非镂空载具及镂空载具，增加载具设计的复杂性，造成生产成本的增加。
技术实现思路
1、本申请的一目的在于解决
技术介绍
中所述的问题。
2、基于本申请的一目的，本申请提供一种电浆清洗装置，包括腔体、激发电极、避让电极及载具承载台，载具承载台设置在激发电极及避让电极之间，载具承载台用于承载载具，载具用于承载指纹识别模块，指纹识别模块包括贴合面及防护面，激发电极设置在腔体内且朝向指纹识别模块的贴合面，避让电极设置在腔体内且朝向指纹识别模块的防护面。
3、在本申请的一实施例中，腔体还包括进气管，进气管的一端与腔体连接，进气管的另一端与工作气体提供装置连接，工作气体提供装置内储存有工作气体。
4、在本申请的一实施例中，腔体还包括出气管，出气管的一端与腔体连接，出气管的另一端与泵连接。
5、在本申请的一实施例中，泵为真空泵。
6、在本申请的一实施例中，激发电极用于将腔体内的工作气体解离为电浆，电浆用于移除指纹识别模块的贴合面上的污染物，避让电极用于向指纹识别模块的防护面提供电子流。
7、在本申请的一实施例中，工作气体为氧气或氩气。
8、在本申请的一实施例中，载具为镂空载具，载具上包括镂空区域，镂空区域暴露指纹识别模块的防护面。
9、在本申请的一实施例中，指纹识别模块的贴合面为指纹识别模块上设置抗指纹镀膜的一面。
10、另外基于本申请的目的，本申请还提供一种电浆清洗方法，电浆清洗方法包括提供如前所述的电浆清洗装置；将承载有指纹识别模块的载具设置在载具承载台上，令指纹识别模块的贴合面朝向激发电极，指纹识别模块的防护面则朝向避让电极；通过激发电极使工作气体解离为电浆，并利用避让电极向载具承载台的方向提供电子流，电浆清洗指纹识别模块的贴合面，电子流则形成保护区域，保护区域至少涵盖指纹识别模块的防护面。
11、综上所述，本申请不仅可以降低电浆清洗过程中电浆对指纹识别模块的防护面的侵蚀，且还能节省人力及物力的成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电浆清洗装置，其特征在于，包括腔体、激发电极、避让电极及载具承载台，所述载具承载台设置在所述激发电极及所述避让电极之间，所述载具承载台用于承载载具，所述载具用于承载指纹识别模块，所述指纹识别模块包括贴合面及防护面，所述激发电极设置在所述腔体内且朝向所述指纹识别模块的所述贴合面，所述避让电极设置在所述腔体内且朝向所述指纹识别模块的所述防护面。
2.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述腔体还包括进气管，所述进气管的一端与所述腔体连接，所述进气管的另一端与工作气体提供装置连接，所述工作气体提供装置内储存有工作气体。
3.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述腔体还包括出气管，所述出气管的一端与所述腔体连接，所述出气管的另一端与泵连接。
4.如权利要求3所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述泵为真空泵。
5.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述激发电极用于将所述腔体内的工作气体解离为电浆，所述电浆用于移除所述指纹识别模块的所述贴合面上的污染物，所述避让电极用于向所述指纹识别模块的所述防护面提供电子流。
6.如权利要求5所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述工作气体为氧气或氩气。
7.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述载具为镂空载具，所述载具上包括镂空区域，所述镂空区域暴露所述指纹识别模块的所述防护面。
8.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述指纹识别模块的所述贴合面为所述指纹识别模块上设置抗指纹镀膜的一面。
9.一种电浆清洗方法，其特征在于，所述电浆清洗方法包括：
10.如权利要求9所述的电浆清洗方法，其特征在于，所述载具包括有至少一镂空区域，所述载具的所述镂空区域暴露所述指纹识别模块的所述防护面。
...【技术特征摘要】
1.一种电浆清洗装置，其特征在于，包括腔体、激发电极、避让电极及载具承载台，所述载具承载台设置在所述激发电极及所述避让电极之间，所述载具承载台用于承载载具，所述载具用于承载指纹识别模块，所述指纹识别模块包括贴合面及防护面，所述激发电极设置在所述腔体内且朝向所述指纹识别模块的所述贴合面，所述避让电极设置在所述腔体内且朝向所述指纹识别模块的所述防护面。
2.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述腔体还包括进气管，所述进气管的一端与所述腔体连接，所述进气管的另一端与工作气体提供装置连接，所述工作气体提供装置内储存有工作气体。
3.如权利要求1所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述腔体还包括出气管，所述出气管的一端与所述腔体连接，所述出气管的另一端与泵连接。
4.如权利要求3所述的电浆清洗装置，其特征在于，所述泵为真空泵。
5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨智超，
申请(专利权)人：业泓科技成都有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。