【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅生长，具体而言，涉及一种组合型栅栏和碳化硅生长装置。
技术介绍
1、经专利技术人研究发现，在传统的pvt碳化硅长晶过程中，无论是感应加热还是电阻加热，经过对坩埚内部热分布检测均显示：坩埚壁温度最高，粉料中心温度最低。
2、由此，专利技术人发现，常规的生长坩埚结构，在长晶过程中，粉料中心结晶严重，导致物料传输通道堵塞，影响生长速率。另一方面，传统的装料方式，虽然装料量多，但是实际利用率只有20％左右，导致原料大量的浪费。
3、进一步地，现有技术中还出现了利用坩埚内的环形多孔石墨来阻挡原料进入中心区域，并预防碳化硅原料在传质过程中产生重结晶，但是，多孔石墨本身也是会产生石墨颗粒，且产生的石墨颗粒在气体路径上，这一部分的碳颗粒也会随着气相传输往上形成“碳包裹”，影响晶体质量。同时，多孔石墨价格贵、成型周期长，加工易碎，且多孔石墨是一次性的，大大增加了长晶的成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种组合型栅栏和碳化硅生长装置，其能够减少长晶过程中石墨颗粒跟随气相传输形成碳包裹，提升晶体质量，同时无需采用多孔石墨材料，成本低廉。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种组合型栅栏，用于设置在坩埚内，所述组合型栅栏包括第一定位板、第二定位板和多个条状隔板，所述第一定位板用于设置在所述坩埚的底壁上，多个所述条状隔板间隔环设在所述第一定位板上，并朝向远离所述第一定位板的方向延伸，所述第二定位板设置在多个所
4、在可选的实施方式中，多个所述条状隔板沿一圆周均匀分布，并共同围设形成一圆筒围栏，所述圆筒围栏用于阻挡所述物料。
5、在可选的实施方式中，所述第一定位板上设置有多个第一插槽，多个所述第一插槽呈环状分布，多个所述条状隔板的一端一一对应地插接在多个所述第一插槽中。
6、在可选的实施方式中，所述第二定位板上设置有多个第二插槽，多个所述第二插槽呈环状分布，多个所述条状隔板远离所述第一定位板的一端一一对应地插接在多个所述第二插槽中。
7、在可选的实施方式中，所述第一插槽贯穿所述第一定位板，所述第二插槽贯穿所述第二定位板，且所述条状隔板的两端分别过盈配合在所述第一插槽和所述第二插槽中。
8、在可选的实施方式中，每个所述条状隔板呈矩形板状、波浪板状或工字板状，且多个所述第一插槽与多个所述第二插槽一一对应设置。
9、在可选的实施方式中，所述第一定位板平行于所述第二定位板，以使多个所述条状隔板的延伸长度相同。
10、在可选的实施方式中，所述间隙的宽度小于3mm。
11、在可选的实施方式中，所述第一定位板和所述第二定位板均呈环板状。
12、第二方面，本技术提供一种碳化硅生长装置，包括坩埚和如前述实施方式任一项所述的组合型栅栏，所述第一定位板设置在所述坩埚的底壁上，多个所述条状隔板与所述坩埚的侧壁间隔设置并形成用于容纳物料的容置腔。
13、本技术实施例的有益效果包括：
14、本技术实施例提供的组合型栅栏和碳化硅生长装置，将第一定位板设置在坩埚的底壁上，多个条状隔板环设在第一定位板上，并朝向远离第一定位板的方向延伸，第二定位板设置在多个条状隔板远离第一定位板的一端，每个条状隔板的两端分别可拆卸地连接于第一定位板和第二定位板，且多个条状隔板用于与坩埚的侧壁间隔设置并形成用于容纳物料的容置腔，每相邻两个条状隔板之间形成间隙，间隙用于与容置腔连通，并阻挡物料通过间隙。相较于现有技术，本技术提供的组合型栅栏，一方面可以作为支撑结构形成容置腔，并保持环状装料的模式，另一方面，可以通过条状隔板之间的间隙来供气相通过，并阻挡物料，间隙中石墨颗粒较少，能够减少长晶过程中石墨颗粒跟随气相传输形成碳包裹，提升晶体质量，同时无需采用多孔石墨材质，可以多次使用，成本低廉，大大节约了长晶成本。
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1.一种组合型栅栏，用于设置在坩埚(210)内，其特征在于，所述组合型栅栏包括第一定位板(110)、第二定位板(130)和多个条状隔板(150)，所述第一定位板(110)用于设置在所述坩埚(210)的底壁上，多个所述条状隔板(150)间隔环设在所述第一定位板(110)上，并朝向远离所述第一定位板(110)的方向延伸，所述第二定位板(130)设置在多个所述条状隔板(150)远离所述第一定位板(110)的一端，每个所述条状隔板(150)的两端分别可拆卸地连接于所述第一定位板(110)和所述第二定位板(130)，且多个所述条状隔板(150)用于与所述坩埚(210)的侧壁间隔设置并形成用于容纳物料的容置腔(230)，每相邻两个所述条状隔板(150)之间形成间隙(170)，所述间隙(170)用于与所述容置腔(230)连通，并阻挡所述物料通过所述间隙(170)。
2.根据权利要求1所述的组合型栅栏，其特征在于，多个所述条状隔板(150)沿一圆周均匀分布，并共同围设形成一圆筒围栏，所述圆筒围栏用于阻挡所述物料。
3.根据权利要求2所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第一定
4.根据权利要求3所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第二定位板(130)上设置有多个第二插槽(131)，多个所述第二插槽(131)呈环状分布，多个所述条状隔板(150)远离所述第一定位板(110)的一端一一对应地插接在多个所述第二插槽(131)中。
5.根据权利要求4所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第一插槽(111)贯穿所述第一定位板(110)，所述第二插槽(131)贯穿所述第二定位板(130)，且所述条状隔板(150)的两端分别过盈配合在所述第一插槽(111)和所述第二插槽(131)中。
6.根据权利要求4所述的组合型栅栏，其特征在于，每个所述条状隔板(150)呈矩形板状、波浪板状或工字板状，且多个所述第一插槽(111)与多个所述第二插槽(131)一一对应设置。
7.根据权利要求4所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第一定位板(110)平行于所述第二定位板(130)，以使多个所述条状隔板(150)的延伸长度相同。
8.根据权利要求1所述的组合型栅栏，其特征在于，所述间隙(170)的宽度小于3mm。
9.根据权利要求1所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第一定位板(110)和所述第二定位板(130)均呈环板状。
10.一种碳化硅生长装置，其特征在于，包括坩埚(210)和如权利要求1-9任一项所述的组合型栅栏，所述第一定位板(110)设置在所述坩埚(210)的底壁上，多个所述条状隔板(150)与所述坩埚(210)的侧壁间隔设置并形成用于容纳物料的容置腔(230)。
...【技术特征摘要】
1.一种组合型栅栏，用于设置在坩埚(210)内，其特征在于，所述组合型栅栏包括第一定位板(110)、第二定位板(130)和多个条状隔板(150)，所述第一定位板(110)用于设置在所述坩埚(210)的底壁上，多个所述条状隔板(150)间隔环设在所述第一定位板(110)上，并朝向远离所述第一定位板(110)的方向延伸，所述第二定位板(130)设置在多个所述条状隔板(150)远离所述第一定位板(110)的一端，每个所述条状隔板(150)的两端分别可拆卸地连接于所述第一定位板(110)和所述第二定位板(130)，且多个所述条状隔板(150)用于与所述坩埚(210)的侧壁间隔设置并形成用于容纳物料的容置腔(230)，每相邻两个所述条状隔板(150)之间形成间隙(170)，所述间隙(170)用于与所述容置腔(230)连通，并阻挡所述物料通过所述间隙(170)。
2.根据权利要求1所述的组合型栅栏，其特征在于，多个所述条状隔板(150)沿一圆周均匀分布，并共同围设形成一圆筒围栏，所述圆筒围栏用于阻挡所述物料。
3.根据权利要求2所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第一定位板(110)上设置有多个第一插槽(111)，多个所述第一插槽(111)呈环状分布，多个所述条状隔板(150)的一端一一对应地插接在多个所述第一插槽(111)中。
4.根据权利要求3所述的组合型栅栏，其特征在于，所述第二定位板(130)上设置有多个第二插槽...
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