【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别涉及一种半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置。
技术介绍
1、半导体制备晶圆输送机械手是在半导体制造过程中扮演重要角色的关键设备之一。它被广泛应用于半导体工厂中，用于自动化地处理和传送薄而脆弱的晶圆。这种机械手的设计和功能都经过精心优化，以确保高效、准确和可靠地完成晶圆的传送任务。
2、在传统技术中，晶圆输送机械手的设计需要考虑到对晶圆的极其敏感性。晶圆是半导体芯片制造的基础，它们通常由硅材料制成，具有高度脆弱的特性。因此，机械手必须具备精确的控制能力和轻柔的操作方式，以避免对晶圆造成损伤。晶圆输送机械手通常采用多关节结构，以提供灵活的运动和操作能力。这些关节由高精度的电机和传感器驱动，以实现精确的位置控制和力量感应。机械手还配备了各种传感器和视觉系统，以便实时监测晶圆的位置、姿态和表面缺陷，确保传送过程中的安全性和质量控制。在晶圆的传送过程中，机械手还需要与其他设备和系统进行紧密的协作。它可能与载具、转台、清洁装置等设备进行交互，以实现晶圆的装载、卸载、定位和转移。这种协调性和集成性需要机械手具...
【技术保护点】
1.一种半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，包括用于晶圆输送的机械臂(1)，其特征在于：所述机械臂(1)的末端执行器位置处设有驱动机构(2)；
2.根据权利要求1所述的半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，其特征在于：所述调节机构(3)包括两个相互相对但不直接接触的盘体(301)，所述盘体(301)以其中轴线为基准、环形阵列式布置有六个用于输出所述线性自由度的直线执行器(302)；
3.根据权利要求2所述的半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，其特征在于：所述直线执行器(302)为伺服电缸；
4.根据权利要求3所...
【技术特征摘要】
1.一种半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，包括用于晶圆输送的机械臂(1)，其特征在于：所述机械臂(1)的末端执行器位置处设有驱动机构(2)；
2.根据权利要求1所述的半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，其特征在于：所述调节机构(3)包括两个相互相对但不直接接触的盘体(301)，所述盘体(301)以其中轴线为基准、环形阵列式布置有六个用于输出所述线性自由度的直线执行器(302)；
3.根据权利要求2所述的半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，其特征在于：所述直线执行器(302)为伺服电缸；
4.根据权利要求3所述的半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，其特征在于：两两相邻的所述伺服电缸呈v形或倒v形布置。
5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆生，王聪，王康飞，
申请(专利权)人：苏州盛拓半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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