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本技术公开了一种半导体制备晶圆输送机械手用机械视觉检测装置，包括用于晶圆输送的机械臂，所述机械臂的末端执行器位置处设有驱动机构；所述驱动机构包括转动自由度，所述转动自由度连接作用于调节机构作所述末端执行器中轴向的整周角度调节；提高定位精度：...
该专利属于苏州盛拓半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州盛拓半导体科技有限公司授权不得商用。

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