一种晶棒货架配套手推车制造技术

技术编号:40222485 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-02 22:27
本申请涉及半导体晶片制造领域,公开了一种晶棒货架配套手推车,包括手推车车体,小车顶端设有手推装置,推车平面安装无动力滚筒,上面可放置活动底托,在活动底托后方安装限位装置,在活动底托前方安装防滑装置,在手推车车体的前端安装推车定位块,在手推车车体的后端安装自锁防脱钩,手推车车体下方正中央安装地刹装置,手推车车体底端安装车轮;本申请的装置可以实现晶棒的存储和转运,能满足各种类型、各规格定长棒、非定长棒和拼接棒转运需求,有利于防止晶棒在转运过程中碰撞产生裂纹,有利于晶棒安全转运和入库,且能够低成本制造,节省人力成本并实现安全生产。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶片制造领域,尤其涉及一种晶棒货架配套手推车


技术介绍

1、晶棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,在晶棒加工的过程中涉及不同的工序,以及不同的机台,各工序分布在工厂不同的区域或不同的楼层,产出的晶棒需在各工序区域进行流转,在此过程中存在晶棒的转运,由于晶棒分量重且品质要求高,故在晶棒转运至其他工序的过程中,易产生装卸问题、安全问题和质量问题,另外晶棒的存储也是一个非常麻烦的事情,晶棒种类有不同,大小、长短、所处工序也各不相同,需分别存储,通常晶棒质量较大,使用人力搬运具有较高人力成本,同时存在安全隐患。

2、当前,大部分晶棒制造企业用的晶棒转运车主要有两种类型:半成品晶棒转运车和成品晶棒转运车,实际操作中,作业员转运工序繁琐,作业方式一般是先将晶棒用专用吊具吊装在晶棒转运小车专用工位上,再将晶棒转运车转运至开方区域或反切区域,最后再用专业吊具将晶棒吊装在开方上料工位或反切工位。

3、但是,这种转运小车存在的问题有:可存放晶棒种类单一、仓储效率低、作业方式繁琐劳动强度高、安全系数低、易造成磕碰等质量问题以及作用单一不易操控。

4、为了解决既要满足大量仓储问题,还要解决方便运转,公司研发了另外一个技术多功能晶棒收容转运货架和本技术的配套推车两个装置配套使用来解决以上问题,本技术也可以单独使用,灵活转运晶棒;以下是配套推车的
技术实现思路


技术实现思路

1、本技术目的就是为了解决现有转运小车功能单一、操作繁琐、耗时耗力、安全性差和易磕碰的问题,提供了一种简单可靠的晶棒货架配套手推车,可以实现单晶制造企业机加各工序之间的转运,在转运过程中优化开方工序上料流程,减少晶棒磕碰和划伤,保证转运过程中晶棒品质,降低劳动强度,提高安全系数和工作效率,并且与本企业专利技术的多功能晶棒收容转运货架配合使用,便于更多的储存和运输。

2、为了达到上述目的,本技术的基础方案提供一种晶棒货架配套手推车,包括手推车车体,小车顶端设有手推装置,推车平面安装无动力滚筒,上面可放置活动底托,在活动底托后方安装限位装置,在活动底托前方安装防滑装置,在手推车车体的前端安装推车定位块,在手推车车体的后端安装自锁防脱钩,手推车车体下方正中央安装地刹装置,手推车车体底端安装车轮。

3、可选地,所述活动底托为弧型槽,表面填有pp材质内填缓冲层。

4、可选地,所述无动力滚筒为条形传送滚轮,可用于承载活动底托并进行传送。

5、可选地,所述手推车车体底部车轮前端一组为定向轮,后一组为带刹车的万向轮。

6、可选地,所述防滑装置,具有双重防滑的防呆设计,并安装在无动力滚筒的外侧上。

7、可选地,所述手推车车体底部设置有脚踩式地刹装置,以便于存放于自动仓库或者临时地点时,固定位置,防止移动导致上下料操作失误。

8、可选地,所述自锁防脱钩是脚踏式,并横跨手推车车体的前后端,前端防脱钩可以稳定的钩住多功能晶棒收容转运货架。

9、本基础方案的原理和有益效果在于:

10、与现有技术相比,本技术的技术方案的优点具体在于:

11、(1)本技术的晶棒货架配套手推车可以适用于各类型各种规格单晶硅棒的转运,该配套手推车可循环长时间使用,且结构强度高、使用寿命长,适用各工序转运,且转运过程中不会产生晶棒磕碰、划伤,转运时间降低达50%。

12、(2)本技术的晶棒货架配套手推车能满足自动仓库存储功能的需求。

13、(3)本技术的晶棒货架配套手推车与本公司的多功能晶棒收容转运货架并排连接在一起,可将下层活动底托中的晶棒轻松移动到方便本公司的机械夹持结构可操作的地方进行晶棒移动操作,实现大容量存储功能,存储量增大了80%。

14、(4)本技术的晶棒货架配套手推车上下料时通过与本公司的机械夹持结构配合使用,能轻松快速准确的与各种机台进行上下料工作,简化了单晶硅棒转运流程,减少了各工序的上料时间,有效降低了作业员劳动强度,作业效率提高30%。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:包括手推车车体,小车顶端设有手推装置,推车平面安装无动力滚筒,上面可放置活动底托,在活动底托后方安装限位装置,在活动底托前方安装防滑装置,在手推车车体的前端安装推车定位块,在手推车车体的后端安装自锁防脱钩,手推车车体下方后部中央位置安装地刹装置,手推车车体底端安装车轮。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述活动底托为弧型槽,表面填有PP材质内填缓冲层。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述无动力滚筒为条形传送滚轮,可用于承载活动底托并进行传送。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述手推车车体底部车轮前端一组为定向轮,后一组为带刹车的万向轮。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述防滑装置,包括自动防滑和手动防滑,具有双重防滑的防呆设计,并安装在无动力滚筒的外侧上。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述地刹装置为脚踩式地刹装置,以便于存放于自动仓库或者临时地点时,固定位置,防止移动导致上下料操作失误。

7.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述自锁防脱钩是脚踏式,并横跨手推车车体的前后端,前端防脱钩可以稳定的钩住多功能晶棒收容转运货架。

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【技术特征摘要】

1.一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:包括手推车车体,小车顶端设有手推装置,推车平面安装无动力滚筒,上面可放置活动底托,在活动底托后方安装限位装置,在活动底托前方安装防滑装置,在手推车车体的前端安装推车定位块,在手推车车体的后端安装自锁防脱钩,手推车车体下方后部中央位置安装地刹装置,手推车车体底端安装车轮。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述活动底托为弧型槽,表面填有pp材质内填缓冲层。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒货架配套手推车,其特征在于:所述无动力滚筒为条形传送滚轮,可用于承载活动底托并进行传送。

4.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:李显元聂环陈正礼
申请(专利权)人:上海超硅半导体股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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