【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体而言，涉及一种钢线清洁装置和切割机。
技术介绍
1、碳化硅是继第一代半导体si、第二代半导体gaas之后发展起来的重要的第三代半导体材料，它具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高载流子饱、高抗辐射能力及良好的化学稳定性等的优越特性，因其本身具有的特性，第三代半导体技术将应用在节能减排、信息技术、国防科技三大领域，近年来迅速渗透到照明、电子电力器件、微波射频等领域的各个角落，市场规模快速提升，在新能源汽车、汽车灯照、通用照明、电动车、5g通讯应用等领域有着广泛的应用市场，将成为未来新能源发展的方向之一。
2、碳化硅生产过程中，成形后的多晶硅片通过切割机被切割为预设的尺寸。切割机是利用高速移动的切割钢线对硅片进行切割，切割钢线通过输送辊往复使用，切割完成后的切割钢线上有切削液、粉尘等杂物，为保障晶面的品质需要保持切割钢线的洁净。
3、然而现有技术中仅采用气嘴朝向切割钢线喷出气体的方式进行清洁，这种清洁方式的清洁效果欠佳。
技术实现思路
1、本技术的目的包括，例如，提供了一种钢线清洁装置和切割机，其能够通过产生圆锥形的吹扫气流以实现对切割钢线周向表面的高效清洁。
2、本技术的实施例可以这样实现：
3、第一方面，本技术提供一种钢线清洁装置包括：
4、吹扫方向一致且沿吹扫方向依次间隔设置的至少两个环形风刀；
5、沿吹扫方向，任意相邻的两个环形风刀中的前一个环形风刀吹扫出来的气流至少部分进入后一个环形风
6、这样的钢线清洁装置通过设置至少两个环形风刀。环形风刀具有进气口、环形腔、环形喷嘴，以及科恩达侧壁。环形风刀的工作原理是：压缩空气经进气口进入环形腔，压缩空气被环形腔进行节流并以高速度经由环形喷嘴朝向中心通孔的方向喷出。由于科恩达效应，这时的压缩空气气流一开始沿着科恩达侧壁高速泻出以形成高压泻出气流，且这股高压泻出气流顺着空气环侧壁以一个斜角喷射。这样在中心通孔远离压缩孔喷射的方向的一侧就会产生一个低压区域，这个低压区域就会迫使周围大量空气同高压泻出气流一起流向中心通孔的另一侧。当高压泻出气流离开中心通孔时，会产生一个360°圆锥形的吹扫气流，这股均匀强大的吹扫气流就可以持续稳定的吹抹通过中心通孔的物品上的污物、水等杂质。本方案设置的至少两个环形风刀通过相互配合，能够形成以中心通孔为中心的连续高压吹扫区域，且吹扫强度逐级增强，从而能够对穿设中心通孔的切割钢线有较强的清洁效果。相较于现有技术，钢线清洁装置的至少两个环形风刀能够显著增强对切割钢线上的砂浆和水分的吹扫效果；且随着切割钢线的移动，还能够实现至少两个环形风刀对切割钢线同一部位多次吹扫，以提升对切割钢线的吹扫效果。综上，钢线清洁装置具有结构简单、改进方便，且吹扫效果提升显著的优点。
7、在可选的实施方式中，任意相邻的两个所述环形风刀之间相互平行且至少部分相对。
8、在可选的实施方式中，任意相邻的两个所述环形风刀同轴设置。
9、在可选的实施方式中，所述环形风刀的内径为30-120毫米，所述环形风刀的出气角度为20-60度，任意相邻的两个所述环形风刀之间的间距为20-100毫米。
10、在可选的实施方式中，还包括支架；
11、各所述环形风刀均设置在所述支架上。
12、在可选的实施方式中，各所述环形风刀可移动地设置在所述支架上；所述支架上设置有多个安装槽，多个安装槽沿所述吹扫方向依次且间隔分布于所述支架上；
13、各所述环形风刀分别与相应的所述安装槽可移动连接；
14、所述安装槽的个数多于所述环形风刀的个数，和/或，每个所述安装槽在所述吹扫方向上的宽度均大于相应的所述环形风刀在所述吹扫方向上的宽度。
15、在可选的实施方式中，所述支架上设置有多个排浆孔，多个排浆孔中的至少部分所述排浆孔沿所述吹扫方向依次且间隔分布于所述支架上。
16、在可选的实施方式中，所述支架包括相互连接的安装板和固定板；
17、所述环形风刀设置在所述安装板上，所述固定板上设置有固定安装孔；
18、所述安装板与所述固定板之间具有夹角。
19、在可选的实施方式中，所述安装板和所述固定板为相互垂直。
20、在可选的实施方式中，所述安装板为弧形板，且所述安装板的弧度与所述环形风刀的外侧壁的弧度匹配。
21、第二方面，本技术提供一种切割机，包括切割钢线和前述实施方式中任一项所述的钢线清洁装置；
22、所述切割钢线依次穿设于所述钢线清洁装置中的各所述环形风刀的中心通孔内。
23、本技术实施例的有益效果包括，例如：
24、本方案的钢线清洁装置包括至少两个依次布置的环形风刀。至少两个环形风刀的吹扫方向一致，且任意相邻的两个所述环形风刀中的前一个所述环形风刀吹扫出来的气流至少部分进入后一个所述环形风刀的中心通孔内，如此就能够形成以中心通孔为中心的连续的、且逐级增强的高压吹扫区域；这样，当使用钢线清洁装置清扫切割钢线时，切割钢线依次穿设至少两个环形风刀的中心通孔，即切割钢线位于吹扫区域中，每个环形风刀均能够形成高速的气流对切割钢线表面的砂浆和水分进行清扫，且至少两个环形风刀相互配合能够使得吹扫力逐级增强，从而能够大大提高对切割钢线表面的吹扫效率。
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1.一种钢线清洁装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钢线清洁装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的钢线清洁装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的钢线清洁装置，其特征在于：
5.根据权利要求1-3中任一项所述的钢线清洁装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的钢线清洁装置，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的钢线清洁装置，其特征在于：
8.根据权利要求5所述的钢线清洁装置，其特征在于：
9.根据权利要求5所述的钢线清洁装置，其特征在于：
10.一种切割机，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种钢线清洁装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的钢线清洁装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的钢线清洁装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的钢线清洁装置，其特征在于：
5.根据权利要求1-3中任一项所述的钢线清洁装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡新超，张洁，高辉，赵作霖，彭佳，
申请(专利权)人：湖南三安半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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