一种防划伤硅片架制造技术

本技术涉及一种防划伤硅片架，包括硅片架本体、硅片架支脚和下部漏空，所述的硅片架本体下部中间位置设置有下部漏空，所述的硅片架本体下部被下部漏空分隔，形成两个对称布置的硅片架支脚，所述的硅片架本体上端中部设置有中部漏空的硅片放置槽，所述的硅片放置槽两端对称安装有海绵存放架，所述的海绵存放架下端插入到硅片架支脚处，所述的海绵存放架相对一侧设置有若干硅片卡接槽。本技术具有减小了硅片在片架卡槽内运动空间，增大的硅片之间的空间距离，有效的避免了硅片之间相互碰撞，进而减少了硅片划伤不良等特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片架，特别是涉及一种防划伤硅片架。

技术介绍

1、实际硅片抛光清洗生产中使用英特格标准5寸pfa片架，规格为a182-50mu，由于半导体行业为节省成本，将硅片厚度做得越来越薄，之前英特格片架卡槽间距已经不满足于现在薄硅片的生产加工，薄硅片使用英特格片架加工时，容易产生划伤等问题，这主要是由于片架的间距太大，导致薄硅片在其中运动空间变大，硅片之间更容易发生碰撞，从而引起划伤，为了解决上述问题需要重新设计硅片架。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是提供一种防划伤硅片架，具有减小了硅片在片架卡槽内运动空间，增大的硅片之间的空间距离，有效的避免了硅片之间相互碰撞，进而减少了硅片划伤不良等特点。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种防划伤硅片架，包括硅片架本体、硅片架支脚和下部漏空，所述的硅片架本体下部中间位置设置有下部漏空，所述的硅片架本体下部被下部漏空分隔，形成两个对称布置的硅片架支脚，所述的硅片架本体上端中部设置有中部漏空的硅片放置槽，所述的硅片放置槽两端对称安装有海绵存放架，所述的海绵存放架下端插入到硅片架支脚处，所述的海绵存放架相对一侧设置有若干硅片卡接槽。

3、本技术方案中，通过设置下部漏空用来使得硅片架本体内部漏空，方便硅片悬空式布置，使得硅片能够外露，方便工人对硅片进行直观的观察，通过设置两个硅片架支脚，方便海绵存放架的插入，通过海绵存放架用来方便硅片排列存放，通过设置硅片卡接槽对硅片进行卡接，使得硅片能够形成固定。

4、作为对本技术方案的一种补充，所述的硅片架本体上端四角处设置有定位延边，所述的定位延边上设置有定位孔，通过增加定位延边用来提高硅片架本体结构强度，通过定位孔方便硅片架存放时进行堆叠存储。

5、作为对本技术方案的一种补充，所述的硅片架本体的前侧两端布置有竖直支撑筋，两根竖直支撑筋之间设置有横向支撑筋，通过竖直支撑筋和横向支撑筋提高硅片架本体整体结构强度。

6、作为对本技术方案的一种补充，所述的硅片架本体的后侧左右对称安装有后侧支撑筋，两根后侧支撑筋的中部之间设置有拱桥形支撑筋，通过设置拱桥形支撑筋和后侧支撑筋提高硅片架本体整体结构强度。

7、作为对本技术方案的一种补充，所述的硅片架本体前侧中部设置有倒梯形开口，所述的硅片架本体后侧中部设置有遮挡面板，通过设置倒梯形开口和遮挡面板，确保硅片的存放方向，有遮挡面板一侧为后侧，安装时硅片反面朝向遮挡面板。

8、有益效果：本技术涉及一种防划伤硅片架，通过设置下部漏空用来使得硅片架本体内部漏空，方便硅片悬空式布置，使得硅片能够外露，方便工人对硅片进行直观的观察，通过设置两个硅片架支脚，方便海绵存放架的插入，通过海绵存放架用来方便硅片排列存放，通过设置硅片放置槽对硅片进行卡接，使得硅片能够形成固定，具有减小了硅片在片架卡槽内运动空间，增大的硅片之间的空间距离，有效的避免了硅片之间相互碰撞，进而减少了硅片划伤不良等特点。

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【技术保护点】

1.一种防划伤硅片架，其特征在于：包括硅片架本体(1)、硅片架支脚(5)和下部漏空(7)，所述的硅片架本体(1)下部中间位置设置有下部漏空(7)，所述的硅片架本体(1)下部被下部漏空(7)分隔，形成两个对称布置的硅片架支脚(5)，所述的硅片架本体(1)上端中部设置有中部漏空的硅片放置槽(10)，所述的硅片放置槽(10)两端对称安装有海绵存放架(9)，所述的海绵存放架(9)下端插入到硅片架支脚(5)处，所述的海绵存放架(9)相对一侧设置有若干硅片卡接槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种防划伤硅片架，其特征在于：所述的硅片架本体(1)上端四角处设置有定位延边(4)，所述的定位延边(4)上设置有定位孔(12)。

3.根据权利要求1所述的一种防划伤硅片架，其特征在于：所述的硅片架本体(1)的前侧两端布置有竖直支撑筋(14)，两根竖直支撑筋(14)之间设置有横向支撑筋(3)。

4.根据权利要求1所述的一种防划伤硅片架，其特征在于：所述的硅片架本体(1)的后侧左右对称安装有后侧支撑筋(6)，两根后侧支撑筋(6)的中部之间设置有拱桥形支撑筋(8)。p>

5.根据权利要求1所述的一种防划伤硅片架，其特征在于：所述的硅片架本体(1)前侧中部设置有倒梯形开口(2)，所述的硅片架本体(1)后侧中部设置有遮挡面板(13)。

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【技术特征摘要】

1.一种防划伤硅片架，其特征在于：包括硅片架本体(1)、硅片架支脚(5)和下部漏空(7)，所述的硅片架本体(1)下部中间位置设置有下部漏空(7)，所述的硅片架本体(1)下部被下部漏空(7)分隔，形成两个对称布置的硅片架支脚(5)，所述的硅片架本体(1)上端中部设置有中部漏空的硅片放置槽(10)，所述的硅片放置槽(10)两端对称安装有海绵存放架(9)，所述的海绵存放架(9)下端插入到硅片架支脚(5)处，所述的海绵存放架(9)相对一侧设置有若干硅片卡接槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种防划伤硅片架，其特征在于：所述的硅片架本体(1)上端四角处设置有定位延边(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅，卢飞红，许峰，刘建刚，卢锋，何剑鸣，
申请(专利权)人：金瑞泓微电子嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：