一种高增益微通道板及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种高增益微通道板(1)，其由多个微通道主体(2)组成，其中，每个所述微通道主体(2)包括：微通道壁(3)；微通道(4)，其由所述微通道壁(3)形成，用于提供电子倍增空间；以及微通道异形口(5)其用于收集电子，所述微通道异形口(5)的管壁相对于所述微通道(4)的管口倾斜。本发明专利技术的高增益微通道板(1)在同等外界条件下，可以获得更高的增益，并且其制备过程更简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电领域，更具体地涉及一种高增益微通道板及其制备方法。

技术介绍

1、微通道板(mcp)是一块通道内壁具有良好二次电子发射性能的微细空心通道玻璃纤维板，其由上百万根紧密排列的空心通道管组成的薄板，广泛用于微光像增强器、光子探测器、光电倍增管和空间粒子探测等领域。其工作原理为粒子轰击微通道板的内壁时，将产生二次电子。二次电子被微通道板两端施加的电压加速，再次轰击微通道板内壁，从而形成更多二次电子。这一过程在微通道板内重复多次，在其出口端形成大量的倍增电子。这样，每一个通道就是一个光电倍增管，可以得到上万倍的电流增益，而整个微通道板就可以将微光图像变成高亮度、高清晰度图像了。

2、增益，也称为放大系数，是微通道板的一个重要性能指标，增益大小以及电子倍增过程中信噪比分布特性对光子探测器的成像具有很大影响，微通道板的输出电流与输入电流之比为mpc的增益。

3、为了达到特别高的效果，现有技术中经常使用两个或三个微通道板的组合，这些微通道板是面对面安装的(但通常没有关于开口的对齐)，并且是串联电连接的(在板的接口处没有金属涂层)。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高增益微通道板(1)，其由多个微通道主体(2)组成，其中，

2.根据权利要求1所述的高增益微通道板，其中，所述微通道异形口(5)的管壁相对于所述微通道(4)的管口的夹角为87.3°。

3.根据权利要求1所述的高增益微通道板，其中，所述微通道异形口(5)的管壁相对于所述微通道(4)的管口的夹角为83.2°。

4.根据权利要求1所述的高增益微通道板，其中，所述微通道异形口(5)的管壁沿径向的变化长度为13.5um。

5.一种具有高增益微通道板的装置(6)，其包括：

6.一种高增益微通道板的制备方法，其包括：

7....

【技术特征摘要】

1.一种高增益微通道板(1)，其由多个微通道主体(2)组成，其中，

2.根据权利要求1所述的高增益微通道板，其中，所述微通道异形口(5)的管壁相对于所述微通道(4)的管口的夹角为87.3°。

3.根据权利要求1所述的高增益微通道板，其中，所述微通道异形口(5)的管壁相对于所述微通道(4)的管口的夹角为83.2°。

4.根据权利要求1所述的高增...

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠山，杨海方，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：