【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆测试，具体涉及一种自动耦合稳定光源系统。
技术介绍
1、在晶圆测试领域，一般采用自动探针台对晶圆上的芯片进行批量测试。而光电传感器如pd、apd的晶圆测试，除了需要通过探针台进行供电以外，还需要提供可控、稳定且特定波段的光，用于测试其响应率。
2、由于光电传感器应用的领域不同，光电传感器的尺寸也有很大的差别，最小的光电传感器芯片受光面的尺寸仅有10μm不到，这在晶圆级测试中，测试用光源的照射精度有很高的要求。
3、申请号为2020103916918的中国专利公开了一种用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法。该晶圆测试系统包含一针测机台与一测试机台。该光源调校系统包含被设置在该晶圆测试系统中的一光源机以及分别与该针测机台、测试机台和该光源机电性连接的一主执行装置。该光源机提供测试一晶圆的光源。该主执行装置控制该针测机台，用以调整测试该晶圆的一测试高度，接着控制该测试机台，以从该测试机台取得该晶圆在该测试高度下的一影像测试数据。该主执行装置还分析该影像测试数据，以决定该光源机的光源设定参数，并且根据该光源设定参数，调校该光源机。
4、上述专利具有提升调校速率的效果，但是上述专利在进行调校时，主要是通过控制该针测机台来实现侧视时的光耦合，但是这种方式需要使用移动精度较高的针测机台，这种针测机台价格昂贵，企业的测试的设备成本较高。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本技术提供一种自动耦合稳定光源系统，包括稳定光源主机、光纤、xy丝杆
2、较佳的，所述xy丝杆模组包括垂直设置的第一丝杆座和第二丝杆座，所述第一丝杆座上转动设有第一丝杆，所述第一丝杆上连接有第一滑动载台，所述第一滑动载台与第二丝杆座连接，所述第二丝杆座上转动设有第二丝杆，所述第二丝杆上连接有第二滑动载台，所述第二滑动载台与光纤夹持装置连接，所述第一丝杆和第二丝杆的一侧均连接有伺服电机。
3、较佳的，所述光纤夹持装置包括驱动气缸，所述驱动气缸的底部输出端连接有活塞杆，所述活塞杆的底部连接有连接块，所述驱动气缸的两侧分别设有铰接块，两个所述铰接块铰接有夹臂，所述连接块的两边各铰接有一个驱动臂，两个所述驱动臂分别与两个夹臂的中间位置相铰接。
4、较佳的，所述第一丝杆座和第二丝杆座上分别设有第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑动载台和第二滑动载台分别与第一滑轨和第二滑轨滑动连接。
5、较佳的，所述控制计算机与稳定光源主机、xy丝杆模组和反馈读取装置之间均连接有usb线。
6、本技术的优点为：
7、1.通过本装置，可以实现不依赖探针台本身的精度和功能，实现pd测试时的光耦合，大幅减小pd也就是光电传感器，尤其是微型pd检测的设备投入成本。采用普通精度的探针台即可进行pd的量产测试。
8、2.通过本装置，如果测试期间光纤产生了偏移，可以自动重新耦合到正确位置。
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1.一种自动耦合稳定光源系统，其特征在于：包括稳定光源主机（1）、光纤（2）、XY丝杆模组（3）、光纤夹持装置（4）、反馈读取装置（5）和控制计算机（6），所述光纤（2）一端与稳定光源主机（1）连接，另一端由光纤夹持装置（4）进行夹持，所述光纤夹持装置（4）设于XY丝杆模组（3）上，所述光纤（2）的下方正对有晶圆承载盘（7），所述反馈读取装置（5）通过导线与晶圆承载盘（7）连接，读取晶圆承载盘（7）的反馈电流，所述稳定光源主机（1）、XY丝杆模组（3）和反馈读取装置（5）都与控制计算机（6）电连接。
2.根据权利要求1所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述XY丝杆模组（3）包括垂直设置的第一丝杆座（8）和第二丝杆座（9），所述第一丝杆座（8）上转动设有第一丝杆（10），所述第一丝杆（10）上连接有第一滑动载台（11），所述第一滑动载台（11）与第二丝杆座（9）连接，所述第二丝杆座（9）上转动设有第二丝杆（12），所述第二丝杆（12）上连接有第二滑动载台（13），所述第二滑动载台（13）与光纤夹持装置（4）连接，所述第一丝杆（10）和第二丝杆（12）的一侧均连接有
3.根据权利要求2所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述光纤夹持装置（4）包括驱动气缸（15），所述驱动气缸（15）的底部输出端连接有活塞杆（16），所述活塞杆（16）的底部连接有连接块（17），所述驱动气缸（15）的两侧分别设有铰接块（18），两个所述铰接块（18）铰接有夹臂（19），所述连接块（17）的两边各铰接有一个驱动臂（20），两个所述驱动臂（20）分别与两个夹臂（19）的中间位置相铰接。
4.根据权利要求3所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述第一丝杆座（8）和第二丝杆座（9）上分别设有第一滑轨（21）和第二滑轨（22），所述第一滑动载台（11）和第二滑动载台（13）分别与第一滑轨（21）和第二滑轨（22）滑动连接。
5.根据权利要求4所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述控制计算机（6）与稳定光源主机（1）、XY丝杆模组（3）和反馈读取装置（5）之间均连接有USB线。
...【技术特征摘要】
1.一种自动耦合稳定光源系统，其特征在于：包括稳定光源主机（1）、光纤（2）、xy丝杆模组（3）、光纤夹持装置（4）、反馈读取装置（5）和控制计算机（6），所述光纤（2）一端与稳定光源主机（1）连接，另一端由光纤夹持装置（4）进行夹持，所述光纤夹持装置（4）设于xy丝杆模组（3）上，所述光纤（2）的下方正对有晶圆承载盘（7），所述反馈读取装置（5）通过导线与晶圆承载盘（7）连接，读取晶圆承载盘（7）的反馈电流，所述稳定光源主机（1）、xy丝杆模组（3）和反馈读取装置（5）都与控制计算机（6）电连接。
2.根据权利要求1所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述xy丝杆模组（3）包括垂直设置的第一丝杆座（8）和第二丝杆座（9），所述第一丝杆座（8）上转动设有第一丝杆（10），所述第一丝杆（10）上连接有第一滑动载台（11），所述第一滑动载台（11）与第二丝杆座（9）连接，所述第二丝杆座（9）上转动设有第二丝杆（12），所述第二丝杆（12）上连接有第二滑动载台（13），所述第二滑动载台（13）与光纤夹持装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛斌，
申请(专利权)人：柯泰光芯常州测试技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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