【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆测试，具体涉及一种自动耦合稳定光源系统。
技术介绍
1、在晶圆测试领域，一般采用自动探针台对晶圆上的芯片进行批量测试。而光电传感器如pd、apd的晶圆测试，除了需要通过探针台进行供电以外，还需要提供可控、稳定且特定波段的光，用于测试其响应率。
2、由于光电传感器应用的领域不同，光电传感器的尺寸也有很大的差别，最小的光电传感器芯片受光面的尺寸仅有10μm不到，这在晶圆级测试中，测试用光源的照射精度有很高的要求。
3、申请号为2020103916918的中国专利公开了一种用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法。该晶圆测试系统包含一针测机台与一测试机台。该光源调校系统包含被设置在该晶圆测试系统中的一光源机以及分别与该针测机台、测试机台和该光源机电性连接的一主执行装置。该光源机提供测试一晶圆的光源。该主执行装置控制该针测机台，用以调整测试该晶圆的一测试高度，接着控制该测试机台，以从该测试机台取得该晶圆在该测试高度下的一影像测试数据。该主执行装置还分析该影像测试数据，以决定该光源机的光源设定参数，并且...
【技术保护点】
1.一种自动耦合稳定光源系统，其特征在于：包括稳定光源主机（1）、光纤（2）、XY丝杆模组（3）、光纤夹持装置（4）、反馈读取装置（5）和控制计算机（6），所述光纤（2）一端与稳定光源主机（1）连接，另一端由光纤夹持装置（4）进行夹持，所述光纤夹持装置（4）设于XY丝杆模组（3）上，所述光纤（2）的下方正对有晶圆承载盘（7），所述反馈读取装置（5）通过导线与晶圆承载盘（7）连接，读取晶圆承载盘（7）的反馈电流，所述稳定光源主机（1）、XY丝杆模组（3）和反馈读取装置（5）都与控制计算机（6）电连接。
2.根据权利要求1所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种自动耦合稳定光源系统，其特征在于：包括稳定光源主机（1）、光纤（2）、xy丝杆模组（3）、光纤夹持装置（4）、反馈读取装置（5）和控制计算机（6），所述光纤（2）一端与稳定光源主机（1）连接，另一端由光纤夹持装置（4）进行夹持，所述光纤夹持装置（4）设于xy丝杆模组（3）上，所述光纤（2）的下方正对有晶圆承载盘（7），所述反馈读取装置（5）通过导线与晶圆承载盘（7）连接，读取晶圆承载盘（7）的反馈电流，所述稳定光源主机（1）、xy丝杆模组（3）和反馈读取装置（5）都与控制计算机（6）电连接。
2.根据权利要求1所述的自动耦合稳定光源系统，其特征在于：所述xy丝杆模组（3）包括垂直设置的第一丝杆座（8）和第二丝杆座（9），所述第一丝杆座（8）上转动设有第一丝杆（10），所述第一丝杆（10）上连接有第一滑动载台（11），所述第一滑动载台（11）与第二丝杆座（9）连接，所述第二丝杆座（9）上转动设有第二丝杆（12），所述第二丝杆（12）上连接有第二滑动载台（13），所述第二滑动载台（13）与光纤夹持装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛斌，
申请(专利权)人：柯泰光芯常州测试技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。