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本技术公开了一种自动耦合稳定光源系统，包括稳定光源主机、光纤、XY丝杆模组、光纤夹持装置、反馈读取装置和控制计算机，所述光纤一端与稳定光源主机连接，另一端由光纤夹持装置进行夹持，所述光纤夹持装置设于XY丝杆模组上，所述光纤的下方正对有晶圆承...
该专利属于柯泰光芯（常州）测试技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过柯泰光芯（常州）测试技术有限公司授权不得商用。

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