薄膜热电堆热流传感器静态标定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，涉及传感器技术领域，其包括激光器、整形模块、分束器、光阑和处理器；激光器发射不同功率的激光束；整形模块对激光束进行整形，得到能量密度均匀的第一平行光；分束器按照设定百分比将第一平行光分成第二平行光和第三平行光；第二平行光作用至标准传感器；光阑对第三平行光进行限制，得到设定光斑大小的第四平行光；第四平行光作用至待标定传感器；处理器根据待标定传感器和标准传感器的输出得到待标定传感器的灵敏度。本发明专利技术热流上限高、操作简单、稳定性高、重复性好、精度高和可批量标定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，特别是涉及一种薄膜热电堆热流传感器静态标定装置。

技术介绍

1、热流测量技术在许多测温应用中十分重要，特别在航空、航天等领域，辐射热流密度是重要的测量参数。为了合理设计飞行器表面的热防护系统，需要研究高超声速流动的热效应，利用热流传感器测量飞行器表面各个位置的热流分布规律。对于热流测试传感器的精确校准一直是热工领域的难题之一。

2、现有的热流传感器静态校准方法如下：1)保护热板法，此标定系统由主热板、保护热板、底部保护热板、冷板、绝热材料构成，将传感器置于一个一维的均匀热流中，通过改变主加热板的电压，实现提升热流的目的。但是此方法的设备构造复杂、热流值较低、对传感器测试量程范围要求窄，且操作繁琐，无法快速实现多个热流传感器的静态标定；2)卤素灯法，利用石英灯加热，通过加热控制系统控制石英灯管功率，获得所需热流，采用对比校准法，将待标定热流传感器和标准热流传感器放置在石英灯中心对称位置，实现静态标定；此方法产生热流值上限低、重复性差，无法实现热流传感器的批量标定；3)黑体辐法，将黑体炉作为热流源，将黑体腔温度稳定在设定温度，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，其包括：激光器、整形模块、分束器、光阑和处理器；

2.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述静态标定装置还包括：水冷模块；

3.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述整形模块包括：准直器、平凹非球面镜和平凸非球面镜；

4.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述设定百分比为5％：95％。

5.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述静态标定装置还包括：第一步进电机；...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，其包括：激光器、整形模块、分束器、光阑和处理器；

2.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述静态标定装置还包括：水冷模块；

3.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述整形模块包括：准直器、平凹非球面镜和平凸非球面镜；

4.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标定装置，其特征在于，所述设定百分比为5％：95％。

5.根据权利要求1所述的薄膜热电堆热流传感器静态标...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘登，黄漫国，王高，梁海坚，李志玲，刘运东，周汉昌，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所，
类型：发明
国别省市：