下载薄膜热电堆热流传感器静态标定装置的技术资料

文档序号:40151158

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本发明提供一种薄膜热电堆热流传感器静态标定装置,涉及传感器技术领域,其包括激光器、整形模块、分束器、光阑和处理器;激光器发射不同功率的激光束;整形模块对激光束进行整形,得到能量密度均匀的第一平行光;分束器按照设定百分比将第一平行光分成第二平...
该专利属于中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所授权不得商用。

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