【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材加工领域，更具体的说是涉及一种靶材翻面机构。
技术介绍
1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材应用于微电子领域、显示器以及存储领域等；
2、其中，高纯铝靶材加工时，一般通过机械臂进行移动，靶材包括圆环以及一体成型的凸环，机械臂夹紧圆环以带动靶材移动，一般情况下，圆环位于凸环上方，便于机械臂夹取，在对凸环处进行加工、擦拭或者检测时，通过人工对靶材进行翻面，效率较低，另外，可能发生靶材脱离手的情况发生。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种靶材翻面机构，用于实现对靶材翻面的自动化。
2、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种靶材翻面机构，包括电动三爪卡盘、移动组件以及翻面组件，所述电动三爪卡盘包括盘体以及三个夹爪，所述夹爪上可拆卸连接有第一硅胶柱，所述盘体上可拆卸连接有多个第二硅胶柱，所述第一硅胶柱的位置高度高于所述第二硅胶柱的位置高度，所述移动组件用于带动所述电动三爪卡盘沿竖直方向移动，所述翻面组件用于带动所述电动三爪卡盘转动。
3、作为本技术的进一步改进，所述第一硅胶柱以及第二硅胶柱均沿所述电动三爪卡盘的中心轴线周向均匀分布。
4、作为本技术的进一步改进，所述第一硅胶柱上开设有第一沉孔，所述夹爪上开设有第一螺纹孔，所述第一沉孔与所述第一螺纹孔之间连接有第一螺栓，所述第二硅胶柱上开设有第二沉孔，所述盘体上开设
5、作为本技术的进一步改进，所述第一硅胶柱周向开设有环槽。
6、作为本技术的进一步改进，所述移动组件包括两个相对的移动部，所述移动部包括支架以及无杆气缸，所述无杆气缸固定连接于所述支架上，并且所述无杆气缸的输出端上固定连接有移动架，所述翻面组件包括两个相对的翻面部，所述翻面部分别设置于对应的所述移动架上。
7、作为本技术的进一步改进，所述移动架上开设有多个通孔，所述支架上固定连接有多个与所述通孔对应的支杆，并且所述支杆穿过对应的所述通孔。
8、作为本技术的进一步改进，所述翻面组件包括旋转电机以及旋转架，所述旋转电机的输出端与所述旋转架固定连接，所述旋转架与所述电动三爪卡盘固定连接。
9、本技术的有益效果：本技术中通过移动组件带动盘体上下移动，从而形成对靶材的翻面空间，以使得靶材能够正常翻面，不会与其它零部件发生干涉，并且通过翻面组件实现对靶材的翻面，并且在翻面后，移动组件带动盘体向下移动，将靶材置于输送带上，使得靶材可以进入下一工位，无需人工对靶材进行翻面，实现了翻面的自动化，提高了工作效率，也提高了翻面的安全性。
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1.一种靶材翻面机构，其特征在于：包括电动三爪卡盘(1)、移动组件以及翻面组件，所述电动三爪卡盘(1)包括盘体(11)以及三个夹爪(12)，所述夹爪(12)上可拆卸连接有第一硅胶柱(4)，所述盘体(11)上可拆卸连接有多个第二硅胶柱(5)，所述第一硅胶柱(4)的位置高度高于所述第二硅胶柱(5)的位置高度，所述移动组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)沿竖直方向移动，所述翻面组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)转动。
2.根据权利要求1所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)以及第二硅胶柱(5)均沿所述电动三爪卡盘(1)的中心轴线周向均匀分布。
3.根据权利要求2所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)上开设有第一沉孔(41)，所述夹爪(12)上开设有第一螺纹孔，所述第一沉孔(41)与所述第一螺纹孔之间连接有第一螺栓(42)，所述第二硅胶柱(5)上开设有第二沉孔(51)，所述盘体(11)上开设有多个与所述第二硅胶柱(5)对应的第二螺纹孔，所述第二沉孔(51)与所述第二螺纹孔之间连接有第二螺栓(52)。
4.根据权利要求3
5.根据权利要求1所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述移动组件包括两个相对的移动部(2)，所述移动部(2)包括支架(21)以及无杆气缸(22)，所述无杆气缸(22)固定连接于所述支架(21)上，并且所述无杆气缸(22)的输出端上固定连接有移动架(23)，所述翻面组件包括两个相对的翻面部，所述翻面部分别设置于对应的所述移动架(23)上。
6.根据权利要求5所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述移动架(23)上开设有多个通孔，所述支架(21)上固定连接有多个与所述通孔对应的支杆(24)，并且所述支杆(24)穿过对应的所述通孔。
7.根据权利要求5所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述翻面组件包括旋转电机(31)以及旋转架(32)，所述旋转电机(31)的输出端与所述旋转架(32)固定连接，所述旋转架(32)与所述电动三爪卡盘(1)固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种靶材翻面机构，其特征在于：包括电动三爪卡盘(1)、移动组件以及翻面组件，所述电动三爪卡盘(1)包括盘体(11)以及三个夹爪(12)，所述夹爪(12)上可拆卸连接有第一硅胶柱(4)，所述盘体(11)上可拆卸连接有多个第二硅胶柱(5)，所述第一硅胶柱(4)的位置高度高于所述第二硅胶柱(5)的位置高度，所述移动组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)沿竖直方向移动，所述翻面组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)转动。
2.根据权利要求1所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)以及第二硅胶柱(5)均沿所述电动三爪卡盘(1)的中心轴线周向均匀分布。
3.根据权利要求2所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)上开设有第一沉孔(41)，所述夹爪(12)上开设有第一螺纹孔，所述第一沉孔(41)与所述第一螺纹孔之间连接有第一螺栓(42)，所述第二硅胶柱(5)上开设有第二沉孔(51)，所述盘体(11)上开设有多个与所述第二硅胶柱(5)对应的第二螺纹孔，所述第二沉孔(51)与所述第二螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：张瑾，叶翔，周建波，
申请(专利权)人：宁波锦越新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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