一种高效气相沉积工艺及其产品和应用制造技术

技术编号:40141359 阅读:30 留言:0更新日期:2024-01-23 23:40
本发明专利技术公开了一种高效气相沉积工艺,以多孔碳材料为基底,以含硅气体、含磷气体、含氮气体、含硫气体、含硼气体、含锂气体为原料气,经分阶段气相沉积后在多孔碳材料孔穴内部沉积纳米颗粒;第一阶段,控制反应器内温度为300~800℃,初始压强为10~100Kpa,通入原料气的流速为2~15L/min;当反应器内压强开始下降时进入下一阶段;第二阶段,将反应器内初始压强调整为5~25Kpa,调整通入原料气的流速为8~50L/min;当反应器内压强开始升高则结束沉积。本发明专利技术的沉积工艺可显著提高多孔碳基底的孔结构利用率,降低其比表面积;制备产物中纳米颗粒具有高的沉积量,且存在于多孔碳的孔道内部并分散均匀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学气相沉积的,尤其涉及一种高效气相沉积工艺及其产品和应用


技术介绍

1、近年来,随着科学技术的不断发展,多孔碳材料作为一类具有独特结构和性能的新型材料,受到了广泛的关注和研究。多孔碳材料以其高比表面积、优异的化学稳定性和导电性,在许多领域具有广泛的应用潜力。

2、多孔碳材料具有高比表面积和良好的导电性,可以作为电池和超级电容器的电极材料,因其高电容和可逆充放电特性,可用于高性能电池和超级电容器的储能和能量释放;多孔碳材料具有大量的孔隙结构,能够吸附和分离气体,如co2、甲烷等,其高比表面积和良好的选择性,可用于环境污染治理和天然气储备等领域;多孔碳材料可作为优良的催化剂载体,提供良好的活性表面和孔道结构,有助于提高催化反应的效率和选择性。其化学稳定性和可调控孔隙结构,使其在催化领域具有潜力。理想的多孔碳材料应具有均匀的孔径分布和可调控的孔隙结构,以满足不同应用的需求。目前,尽管许多研究致力于开发新的合成策略和控制条件,期望实现对多孔碳材料孔隙结构的高度调控,但绝大部分多孔碳材料依旧具有孔径分布不均匀的问题,且过大或过小的孔结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效气相沉积工艺,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

6.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

7.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于,所述多孔碳材料的比表面积为300~3000m2/g,平均孔径为1~50nm,孔容为0.4~2.0cm3/g。>

8.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种高效气相沉积工艺,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

6.根据权利要求1所述的高效气相沉积工艺,其特征在于:

...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜宁王振孙宁胡昊杨德仁岳敏
申请(专利权)人:碳一新能源杭州有限责任公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1