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本发明公开了一种高效气相沉积工艺，以多孔碳材料为基底，以含硅气体、含磷气体、含氮气体、含硫气体、含硼气体、含锂气体为原料气，经分阶段气相沉积后在多孔碳材料孔穴内部沉积纳米颗粒；第一阶段，控制反应器内温度为300～800℃，初始压强为10～1...
该专利属于碳一新能源（杭州）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过碳一新能源（杭州）有限责任公司授权不得商用。

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